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公开(公告)号：CN105180845A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510562822.3
申请日：2015-09-07
Applicant: 上海理工大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明涉及一种基于闪耀光栅的高精度滚转角干涉测量装置，包含双频激光源、随被测件一起运动的闪耀光栅楔形平板、光干涉装置及相位检测装置。双频激光器输出包含两个频率不同且线偏振方向互相正交的分量的入射光束到光干涉装置，入射光束在光干涉装置的作用下，经闪耀光栅楔形平板两次反射，形成空间平行的四束测量光束，最后在干涉装置内形成干涉光束输出到相位检测装置，由相位检测装置检测测量光束的相位移，根据相位移与楔形平板的滚转角之间的关系确定滚转角。本发明抗干扰能力强，测量精度高；光学结构简单，光学元件少，测角分辨率可达亚微弧度，且通过采用不同光栅常数的光栅可满足不同精度测量要求。
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公开(公告)号：CN103424878A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201210509053.7
申请日：2012-12-02
Applicant: 上海理工大学
IPC: G02B27/28
Abstract: 本发明的一种偏振分光装置，其特征在于，具有平行的第一平面和第二平面；包括：两个规格相同的三角棱镜和两个规格相同的四角棱镜，三角棱镜的第二斜面与四角棱镜的第一斜面胶合，形成具有两个平行面的梯形棱镜，梯形棱镜两两间在第一直角面胶合，该直角面镀有偏振分光膜。本发明的偏振分光装置可完成正交线偏振光的分束和合并。可将输入光分成两束相互正交的线偏振光并平行出射；也可将两束平行输入相互正交的线偏振光合并为一束光，并平行出射。采用该偏振分光装置使得激光外差干涉系统体积减小，测量臂和干涉臂共光路，减少误差。本发明的优点是：结构简单、控制稳定且不改变光传输方向的一种偏振分光装置。
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公开(公告)号：CN102519356A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110419049.7
申请日：2011-12-15
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于全反射的光路互换装置。它由8个规格相同的等腰直角棱镜组成；8个棱镜构成形成于入射光束和出射光束之间的光路结构控制系统，平行入射的两束光线经该系统四次全反射后平行出射，实现位置互换，但并不改变两光线的间隔及光学特性。它是一种体积小、结构简单、控制稳定且对光束偏振态无影响的光路互换装置。
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公开(公告)号：CN102506764A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110310757.7
申请日：2011-10-14
Applicant: 上海理工大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明涉及一种用于位移直线度测量的激光干涉系统，包含激光源、随被测件一起运动的楔角棱镜、位于该楔角棱镜一侧的光反射装置、位于所述楔角棱镜的另一侧与所述激光源之间的光干涉装置以及相位检测装置。其中，激光源产生频率稳定的入射光束，入射光束在光干涉装置的作用下，两次通过楔角棱镜，并相应两次被楔角和光反射装置反射，最后被输入相位检测装置，以相位差的变化量确定被测件的直线度。本发明的优点是：结构简单、测量精度高，可广泛应用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。
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公开(公告)号：CN109781034A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910056987.1
申请日：2019-01-22
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明提出了一种微小滚转角与直线度同步高精度测量干涉仪以及测量方法，其通过采用双频激光光源发出的光经Koster棱镜将其分为两束频率不同、振动方向不同的光，两束光通过四分之一波片、楔面棱镜、楔面反射镜后汇聚从Koster棱镜另一面射出后，经角隅棱镜反射的光束经过分光棱镜BS，其中一束直接进入Koster棱镜返回测量系统中，另一束经直角棱镜和二分之一波片后进入Koster棱镜返回测量系统中。同时，将滚转角的旋转转化为光路的旋转，计算通过楔面棱镜的六束光的关系获得滚转角误差和直线度误差。本发明提供的方法，能够实现微小滚转角与直线度同步高精度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105180845B
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201510562822.3
申请日：2015-09-07
Applicant: 上海理工大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明涉及一种基于闪耀光栅的高精度滚转角干涉测量装置，包含双频激光源、随被测件一起运动的闪耀光栅楔形平板、光干涉装置及相位检测装置。双频激光器输出包含两个频率不同且线偏振方向互相正交的分量的入射光束到光干涉装置，入射光束在光干涉装置的作用下，经闪耀光栅楔形平板两次反射，形成空间平行的四束测量光束，最后在干涉装置内形成干涉光束输出到相位检测装置，由相位检测装置检测测量光束的相位移，根据相位移与楔形平板的滚转角之间的关系确定滚转角。本发明抗干扰能力强，测量精度高；光学结构简单，光学元件少，测角分辨率可达亚微弧度，且通过采用不同光栅常数的光栅可满足不同精度测量要求。
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公开(公告)号：CN104808323B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201510252658.6
申请日：2015-05-18
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明公开了一种同面反射的光路互换装置，包括一五角棱镜、第一等腰直角棱镜和第二等腰直角棱镜，所述五角棱镜的两个互成直角的两个面分别为第一入射面、第一出射面，所述第一出射面与第一等腰直角棱镜的斜边面相互平行，所述第一入射面设置于所述五角棱镜的左侧，所述第二等腰直角棱镜的两个互成直角的两个面分别为第二入射面、第二出射面，所述第二入射面与所述第一等腰直角棱镜的斜边面相互平行，所述第二出射面设置于所述第二等腰直角棱镜的右侧，且所述五角棱镜、第二等腰直角棱镜分别设置于所述第一等腰直角棱镜的左右两侧。本发明在交换两光束空间位置的同时，具有无任何光程差和抗干扰能力强以及使用方便的优点。
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公开(公告)号：CN105571529A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610039628.1
申请日：2016-01-21
Applicant: 上海理工大学
IPC: G01B11/26
CPC classification number: G01B11/26
Abstract: 本发明公开了一种用于角度测量无非线性误差的激光外差干涉系统，包括单频激光源、声光频移单元、光干涉装置、随被测件运动的平面反射镜以及相位检测装置。其中，单频激光源结合声光频移单元可产生无频率混叠、具有一定频差、空间分离的入射光束，入射光束在光干涉装置的作用下，两次被平面镜反射，最后输入到相位检测装置，以相位差的变化量确定被测件的偏摆角。具有一定频差的测量光束从声光频移单元产生到干涉前，传输路径分开，空间独立。本发明避免了干涉光路中两种频率的偏振光不能完全分开导致的周期性非线性误差的产生，从而有效提高测量精度。本发明可广泛用于数控机床、军工及航天等领域的几何量精密测量。
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公开(公告)号：CN104808323A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510252658.6
申请日：2015-05-18
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明公开了一种同面反射的光路互换装置，包括一五角棱镜、第一等腰直角棱镜和第二等腰直角棱镜，所述五角棱镜的两个互成直角的两个面分别为第一入射面、第一出射面，所述第一出射面与第一等腰直角棱镜的斜边面相互平行，所述第一入射面设置于所述五角棱镜的左侧，所述第二等腰直角棱镜的两个互成直角的两个面分别为第二入射面、第二出射面，所述第二入射面与所述第一等腰直角棱镜的斜边面相互平行，所述第二出射面设置于所述第二等腰直角棱镜的右侧，且所述五角棱镜、第二等腰直角棱镜分别设置于所述第一等腰直角棱镜的左右两侧。本发明在交换两光束空间位置的同时，具有无任何光程差和抗干扰能力强以及使用方便的优点。
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公开(公告)号：CN101650166A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200910167309.9
申请日：2009-08-13
Applicant: 上海理工大学
CPC classification number: G01B9/02007 , G01B9/02003 , G01B9/02018 , G01B9/02019 , G01B11/26 , G01B2290/15 , G01B2290/70
Abstract: 一种用于测量围绕线位移方向微旋转角度的激光干涉系统，由激光源、偏振分光棱镜、两个四分之一波片、角隅棱镜、楔角棱镜、楔角反射镜、偏振器、光电检测器和相位计构成；激光源产生频率稳定的入射光束，同时给出一个稳定的参考信号源；入射光束在分光棱镜、四分之一波片和角隅棱镜作用下，两次通过楔角棱镜，并相应两次被楔角反射镜反射，最后由偏振分光棱镜射出；通过起偏器的干涉，由光电检测器接收并产生电测量信号，通过相位计与电参考信号进行比相，即可测出与被测件固定连接的楔角反射镜的微旋转角度。本发明的优点是：结构简单、测量精度高，可广泛应用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。
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