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公开(公告)号：CN112880973A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110041338.1
申请日：2021-01-13
摘要： 本发明公开了一种提高光栅周期测量精度的装置和方法，所述装置包括：激光器、第一隔离器、第二隔离器、多个反射镜、转台和探测器，激光器用于发出预设波长的激光；第一隔离器上设置有第一通孔，激光穿射第一通孔，第一隔离器用于防止激光反射至激光器；第二隔离器上设置有第二通孔，激光经第一通孔后穿射第二通孔；多个反射镜用于反射改变激光的方向；转台上设置有光栅，激光经过反射镜反射至光栅，并经由光栅衍射后原路返回；探测器用于在第二通孔处对衍射后的光斑进行取样。根据本发明的提高光栅周期测量精度的装置，简单易实现，可以有效地降低测量不确定度，提高测量精度。
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公开(公告)号：CN111399206A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010331853.9
申请日：2020-04-24
申请人： 中国计量科学研究院
摘要： 本发明公开一种落射式紫外光学显微镜光源多维调节机构，主要包括用于转换光路的落射照明盒、支撑零部件用的笼杆、安装各种透镜的笼板、光圈可调的可变光阑以及安装并调节紫外光源用的光学调整架。通过调节安装透镜的笼板和安装紫外光源的光学调整架在笼杆上的位置，能够实现成像要求的紫外光源的消色差、扩束和准直，通过移动可变光阑上的拨杆，能够调节紫外光源入射到落射照明盒的光束范围，通过调节安装紫外光源的光学调整架上面的旋转调节螺钉，能够实现紫外光源在俯仰、偏摆方向的微调，紫外光学显微镜在三种紫外光源调节方式下，互相配合，共同作用，从而达到高分辨率成像的显微镜光源需求。
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公开(公告)号：CN105252505A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201510851125.X
申请日：2015-11-30
申请人： 中国计量科学研究院
摘要： 一种精密气浮位移平台，在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨，两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上；矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上；一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接，在封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置，通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接；在该基座的上面装有摩擦轮纵向驱动装置，通过纵向推杆与一根横向导轨的外侧中部连接；在横向滑块的下面与基座之间设有卸载气浮装置。本发明的优点是：运动机构采用井字形高精度气浮导轨实现XY轴精密导向，在平台负载主体与大理石之间设置卸载气浮装置，减小导轨负载，增大平台的承载能力；同时加入摩擦轮驱动机构，提高驱动平稳性。
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公开(公告)号：CN101839686B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010135331.8
申请日：2010-03-26
申请人： 中国计量科学研究院
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本发明公开了一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法、装置及应用其的干涉仪，本发明的方法是利用谐波分离修正法对所述干涉仪非线性误差进行修正，包括：步骤一，建立修正方程，以依据该修正方程，从干涉仪的两路干涉信号中获取干涉信号的相位角；步骤二，对干涉信号中的基波成分进行修正，获取初始相位角；步骤三，对所述干涉信号中的谐波成分进行修正，获取相位角的修正值；步骤四，依据所述初始相位角及所述相位角的修正值获取补偿修改后的精确相位角，并据此获取所述干涉仪测量镜位移以实现对干涉仪的非线性误差修正。本发明可消除干涉信号中引起非线性误差的各种谐波成分，使单频激光干涉仪的非线性误差修正达到最优化。
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公开(公告)号：CN102353816A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110270933.9
申请日：2011-09-14
申请人： 中国计量科学研究院
摘要： 本发明公开了一种测头扫描式原子力显微镜，包括：位移台，在XYZ方向移动以进行扫描，固定设置有跟踪透镜以及微悬臂探针，该跟踪透镜用于对入射光进行汇聚，该微悬臂探针对该跟踪透镜的出射光进行反射，该微悬臂探针的顶端始终位于该跟踪透镜的焦点处，使得在该位移台移动时，该跟踪透镜的出射光始终汇聚在该微悬臂探针上的同一位置；测头基座，该测头基座上设置有汇聚透镜以及位置灵敏探测器，该汇聚透镜用于接收该微悬臂探针的反射光并进行汇聚，使得该汇聚透镜的出射光线形成的光斑的中心始终位于位置灵敏探测器上的同一位置。本发明的技术效果在于，实现扫描面为平面，在扫描过程中消除测头横向移动时对光斑位置产生的影响，减少测量误差。
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公开(公告)号：CN117430079A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311464577.3
申请日：2023-11-07
申请人： 中国计量科学研究院
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 本发明公开了一种基于自组装材料图案化微纳关键尺寸及其制备方法，硫醇SAM制备条件简单、结构稳定有序，在表面改性、电化学、生物传感器、分子电子学等诸多领域均有应用，且研究较为深入，本发明也因其稳定有序的结构特点，将其作为自组装单层物质的制备材料，硫醇分子由巯基、碳链、官能团组成，以正烷硫醇为例，官能团为甲基，使其具有疏水性；巯基对衬底产生吸附作用，在自组装过程中最为重要；碳链的长度决定了最终形成的SAM层的厚度，碳原子成“之”字形排列，形成全反式构象，使其具有热力学稳定性，且链之间的相互吸引力有助于稳定自组装膜结构，所制备的自组装材料具有均匀性和稳定性好的特点。
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公开(公告)号：CN113418453B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202110721179.X
申请日：2021-06-28
申请人： 中国计量科学研究院
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 本发明公开了一种双激光干涉纳米级定位测量系统，包括：光源、第一分束棱镜、第一直角棱镜、第二直角棱镜、第二分束棱镜、标量干涉光采集模块、矢量干涉光采集模块和位移计算模块。本发明中的光电探测器采集待测物体位置移动过程中的反射干涉光的光强，并生成周期性的光强变化曲线，CCD相机采集待测物体位置移动前后的涡旋干涉光电的图像，根据光强变化曲线的整数周期与待测物体位置移动前后的涡旋干涉光的图像的变化的角度计算待测问题的位移量，光电探测器采集的反射干涉光为标量信号，CCD相机采集的涡旋干涉光为矢量信号，将二者综合计算位移量，在提高测量的分辨率的同时实现了干涉信号的快速采集与解调。
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公开(公告)号：CN113405469A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110723170.2
申请日：2021-06-28
申请人： 中国计量科学研究院
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 本发明公开了一种光学多倍程纳米级位移测量系统，该系统包括：包括：光源、偏振分束棱镜、第一相位改变模块、第二相位改变模块、第一直角棱镜、第二直角棱镜和位移测量模块；在设置光源、偏振分束棱镜、第一相位改变模块、第二相位改变模块和位移测量模块的基础上增设第一直角棱镜和第二直角棱镜，实现了光束在第一平面反射镜(即测量镜)与第二平面反射镜(即参考镜)间的多次反射，和现有的基于矢量涡旋光场干涉的位移测量相比，增加了信号光与参考光之间的光程差，提高了位移测量的分辨力。
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公开(公告)号：CN108444416A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810606901.3
申请日：2018-06-13
申请人： 中国计量科学研究院
IPC分类号： G01B15/00
摘要： 本发明公开了一种用于长度测量校准的标准器组，其包括底座、支撑棒和标准球，所述底板上设置有若干通孔，所述支撑棒的一端设置在所述通孔中，所述支撑棒的另一端设置有一球窝，所述标准球设置在所述球窝内，所述标准球与所述球窝底面之间设置有粘接剂。本发明中采用在棒的顶端加工球窝，并通过粘接剂将标准球进行固定的方式，使得不对标准球进行任何破坏性加工，避免了标准球上破损导致测量结果准确性降低的问题，使得CT测量过程中可以充分利用整个球面，提高了测量结果的准确性。
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公开(公告)号：CN104567693B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201510012759.6
申请日：2015-01-09
申请人： 中国计量科学研究院
摘要： 本发明公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本发明的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用粗细两级位移扫描系统，压电陶瓷驱动的纳米位移台可在微米级扫描范围内实现亚纳米级步进；压电陶瓷驱动的升降台可在毫米级扫描范围内实现亚微米级步进；Z向测量范围最大可达200微米。显微干涉测头采用白光光源(即采用白光显微测头)，基于白光干涉原理，可实现0.1nm的Z向分辨率，同时可直接获得被测表面的三维形貌。采用激光干涉仪组成计量系统，将位移直接溯源到国际单位制中米定义的波长基准。
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