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公开(公告)号：CN101839686A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN201010135331.8
申请日：2010-03-26
申请人： 中国计量科学研究院
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本发明公开了一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法、装置及应用其的干涉仪，本发明的方法是利用谐波分离修正法对所述干涉仪非线性误差进行修正，包括：步骤一，建立修正方程，以依据该修正方程，从干涉仪的两路干涉信号中获取干涉信号的相位角；步骤二，对干涉信号中的基波成分进行修正，获取初始相位角；步骤三，对所述干涉信号中的谐波成分进行修正，获取相位角的修正值；步骤四，依据所述初始相位角及所述相位角的修正值获取补偿修改后的精确相位角，并据此获取所述干涉仪测量镜位移以实现对干涉仪的非线性误差修正。本发明可消除干涉信号中引起非线性误差的各种谐波成分，使单频激光干涉仪的非线性误差修正达到最优化。
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公开(公告)号：CN101693365B
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200910236484.9
申请日：2009-10-22
申请人： 中国计量科学研究院
摘要： 本发明公开了一种空气轴承结构及其实现气膜厚度补偿的方法，该空气轴承结构安装于一气浮工作台与一基座之间形成支撑，空气轴承结构包括：微位移传递机构，装设于气浮工作台与基座之间；补偿气浮垫，面向气浮工作台的底面，装设于微位移传递机构形成的杠杆的一端，工作时该补偿气浮垫与气浮工作台之间形成润滑气膜；工作气浮垫，面向基座的表面，装设于微位移传递机构形成杠杆的另一端，工作时该工作气浮垫与基座表面之间形成润滑气膜；加载机构，用于对空气轴承结构进行加载，使补偿气浮垫与工作气浮垫的工作状态相同；当供气压力变化时，通过微位移传递机构将补偿气浮垫润滑气膜的变化反向叠加到工作气浮垫上，补偿工作气浮垫气膜厚度的变化。
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公开(公告)号：CN101693365A
公开(公告)日：2010-04-14
申请号：CN200910236484.9
申请日：2009-10-22
申请人： 中国计量科学研究院
摘要： 本发明公开了一种空气轴承结构及其实现气膜厚度补偿的方法，该空气轴承结构安装于一气浮工作台与一基座之间形成支撑，空气轴承结构包括：微位移传递机构，装设于气浮工作台与基座之间；补偿气浮垫，面向气浮工作台的底面，装设于微位移传递机构形成的杠杆的一端，工作时该补偿气浮垫与气浮工作台之间形成润滑气膜；工作气浮垫，面向基座的表面，装设于微位移传递机构形成杠杆的另一端，工作时该工作气浮垫与基座表面之间形成润滑气膜；加载机构，用于对空气轴承结构进行加载，使补偿气浮垫与工作气浮垫的工作状态相同；当供气压力变化时，通过微位移传递机构将补偿气浮垫润滑气膜的变化反向叠加到工作气浮垫上，补偿工作气浮垫气膜厚度的变化。
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公开(公告)号：CN101839686B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010135331.8
申请日：2010-03-26
申请人： 中国计量科学研究院
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本发明公开了一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法、装置及应用其的干涉仪，本发明的方法是利用谐波分离修正法对所述干涉仪非线性误差进行修正，包括：步骤一，建立修正方程，以依据该修正方程，从干涉仪的两路干涉信号中获取干涉信号的相位角；步骤二，对干涉信号中的基波成分进行修正，获取初始相位角；步骤三，对所述干涉信号中的谐波成分进行修正，获取相位角的修正值；步骤四，依据所述初始相位角及所述相位角的修正值获取补偿修改后的精确相位角，并据此获取所述干涉仪测量镜位移以实现对干涉仪的非线性误差修正。本发明可消除干涉信号中引起非线性误差的各种谐波成分，使单频激光干涉仪的非线性误差修正达到最优化。
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公开(公告)号：CN102353816A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110270933.9
申请日：2011-09-14
申请人： 中国计量科学研究院
摘要： 本发明公开了一种测头扫描式原子力显微镜，包括：位移台，在XYZ方向移动以进行扫描，固定设置有跟踪透镜以及微悬臂探针，该跟踪透镜用于对入射光进行汇聚，该微悬臂探针对该跟踪透镜的出射光进行反射，该微悬臂探针的顶端始终位于该跟踪透镜的焦点处，使得在该位移台移动时，该跟踪透镜的出射光始终汇聚在该微悬臂探针上的同一位置；测头基座，该测头基座上设置有汇聚透镜以及位置灵敏探测器，该汇聚透镜用于接收该微悬臂探针的反射光并进行汇聚，使得该汇聚透镜的出射光线形成的光斑的中心始终位于位置灵敏探测器上的同一位置。本发明的技术效果在于，实现扫描面为平面，在扫描过程中消除测头横向移动时对光斑位置产生的影响，减少测量误差。
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