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公开(公告)号：CN102158794A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110027606.0
申请日：2011-01-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H04R31/00
CPC classification number: B06B1/0292 , H04R19/005
Abstract: 本发明涉及电容型机电变换器。提供可动区域中的电极不太可能影响可动区域的机械特性并且可动区域中的电极的表面的不均匀电势分布受到抑制的变换器。所述变换器包含第一电极和与第一电极相对的第二电极，在它们之间插入间隙。第一电极的单位面积的电阻在相对于第二电极的可动区域和相对于第二电极的不可动区域中不同。可动区域中的第一电极和不可动区域中的第一电极具有不同的厚度。
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公开(公告)号：CN102128641A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110002540.X
申请日：2011-01-07
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G01D5/241
CPC classification number: G01R27/2605 , B06B1/0292 , B81C1/00246 , G01D5/24 , G01N29/2406 , G01N29/2412 , G01R27/26
Abstract: 本发明涉及电容检测型机电变换器。所述电容检测型机电变换器包括：由被布置在基板上的第一电极和被布置在振动膜上的第二电极形成的单元；和用于基于第一电极和第二电极之间的电容变化来检测振动膜的位移的检测电路，其中，多个单元被分成多个组，每个组包含至少两个单元，并且，同一组的单元的第一电极或第二电极与同一个检测电路共同连接，并且，将加法电路和针对检测器中的每一个的电容负载构造为被分散地布置，所述加法电路用于将来自与多个组对应的多个检测电路的信号相加成单个信息并用于输出该信息。
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公开(公告)号：CN1876393A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610091718.1
申请日：2006-06-07
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明致力于一种压印装置，包括：用于保持模子的第一保持部分(100)；用于保持待加工部件的第二保持部分(1040)；以及用于在一位置部分地支承待加工部件的支承部分(1050)，该位置与由所述第一保持部分所保持的模子相对。所述模子和所述支承部分确定了用于给待加工部件加压的加压轴线。所述支承部分和所述第二保持部分可以沿一方向彼此相对移动，该移动与所述第一保持部分无关，该方向平行于所述加压轴线，以便移动所述支承部分离开待加工部件。
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公开(公告)号：CN105170434B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201510504147.9
申请日：2010-11-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: H02N1/006 , B06B1/0246 , B06B1/0292 , G01S3/8083
Abstract: 提供了电容式机电变换器的控制设备及其控制方法。该设备具有多个单元，每个单元包括经由空隙而彼此面对的第一电极和第二电极；该设备包括驱动/检测部件和外部应力施加部件。所述驱动/检测部件执行如下操作中的至少一个：通过在电极之间产生AC静电引力来使得第二电极振动和发送弹性波，以及检测电极之间的电容的变化，所述变化是由在接收弹性波时振动的第二电极引起的。该外部应力施加部件改变施加到第二电极的外部应力。该驱动/检测部件通过与外部应力的改变对应地改变限定在发送/接收操作中使用的频率区域的参数来调整频率特性。
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公开(公告)号：CN102458693B
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201080026731.3
申请日：2010-06-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: B06B1/0292 , B06B1/0261
Abstract: 一种机电变换器包括：多个元件，每个元件包含第一电极和第二电极，在所述第一电极和第二电极之间具有间隙；电压施加单元，被配置为向第一电极施加AC电压；以及灵敏度变化计算单元，被配置为使用由于AC电压的施加而从元件中的每一个的第二电极输出的信号来计算对于该元件的灵敏度变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105170434A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510504147.9
申请日：2010-11-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: H02N1/006 , B06B1/0246 , B06B1/0292 , G01S3/8083
Abstract: 提供了电容式机电变换器的控制设备及其控制方法。该设备具有多个单元，每个单元包括经由空隙而彼此面对的第一电极和第二电极；该设备包括驱动/检测部件和外部应力施加部件。所述驱动/检测部件执行如下操作中的至少一个：通过在电极之间产生AC静电引力来使得第二电极振动和发送弹性波，以及检测电极之间的电容的变化，所述变化是由在接收弹性波时振动的第二电极引起的。该外部应力施加部件改变施加到第二电极的外部应力。该驱动/检测部件通过与外部应力的改变对应地改变限定在发送/接收操作中使用的频率区域的参数来调整频率特性。
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公开(公告)号：CN102639258B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201080055218.7
申请日：2010-11-16
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H02N1/006 , B06B1/0246 , B06B1/0292 , G01S3/8083
Abstract: 提供了具有发送/接收效率方面的较小的减少并且具有不同频率范围的发送/接收特性的集合的用于电容式机电变换器的控制设备和控制方法。该设备具有多个单元，每个单元包括经由空隙而彼此面对的第一电极和第二电极；该设备包括驱动/检测部件和外部应力施加部件。所述驱动/检测部件执行如下操作中的至少一个：通过在电极之间产生AC静电引力来使得第二电极振动和发送弹性波，以及检测电极之间的电容的变化，所述变化是由在接收弹性波时振动的第二电极引起的。该外部应力施加部件改变施加到第二电极的外部应力。该驱动/检测部件通过与外部应力的改变对应地改变限定在发送/接收操作中使用的频率区域的参数来调整频率特性。
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公开(公告)号：CN101566795A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200910203848.3
申请日：2006-06-07
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/768
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明涉及用于生产芯片的加工设备、加工方法和工艺。其中，包括一种压印方法，用于通过采用具有图形的模子在刚性衬底或刚性衬底上的图形形成材料上形成压印的图形，该方法包括：通过能沿与地心引力方向相反的方向移动的支承部分、向上推压被保持以致能够由于自身重量而弯曲的衬底，以便减小沿着地心引力方向的弯曲量，从而在衬底上形成压印的图形。
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公开(公告)号：CN100503265C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200610091716.2
申请日：2006-06-07
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 一种用于形成图案的图案形成方法，包括：制备模子104，该模子104具有包括图案区域1000的第一表面、与第一表面相对的第二表面以及被设在远离第二表面并靠近第一表面的位置处的对准标记2070；使模子104的图案区域1000与设在衬底5000上的涂覆材料接触；在涂覆材料被设于衬底5000上的对准标记2070和衬底5000彼此相对的部分处的情况下，通过利用对准标记2070和在衬底5000上设置的标记5300，来获得关于模子104和衬底5000的位置信息；以及在所述信息的基础上，实施衬底5000与模子104的高精度对准。
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公开(公告)号：CN1876395A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610091716.2
申请日：2006-06-07
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 一种用于形成图案的图案形成方法，包括：制备模子104，该模子104具有包括图案区域1000的第一表面、与第一表面相对的第二表面以及被设在远离第二表面并靠近第一表面的位置处的对准标记2070；使模子104的图案区域1000与设在衬底5000上的涂覆材料接触；在涂覆材料被设于衬底5000上的对准标记2070和衬底5000彼此相对的部分处的情况下，通过利用对准标记2070和在衬底5000上设置的标记5300，来获得关于模子104和衬底5000的位置信息；以及在所述信息的基础上，实施衬底5000与模子104的高精度对准。
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