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公开(公告)号：CN109069107A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780026177.0
申请日：2017-04-26
申请人： 皇家飞利浦有限公司
发明人： H·J·W·贝尔特 , F·J·G·哈肯斯 , G·A·哈克斯 , G·H·M·海斯贝斯 , K·G·威克莱恩 , L·J·A·M·贝克尔斯
CPC分类号： A61B8/429 , A61B8/0883 , A61B8/12 , A61B8/4218 , A61B8/4281 , A61B8/4483 , A61B8/483 , A61B8/54 , A61B8/546 , A61B17/2251 , A61B2090/065 , A61N7/00 , A61N7/02 , B06B1/0292 , G01L1/142 , G01L1/18 , G01L1/186 , G01L9/0058
摘要： 公开了一种超声设备(10)，包括换能器布置(110)和所述布置上方的声学透射窗口(150)，所述窗口包括具有散布在弹性体中的导电颗粒的弹性体层(153)，所述弹性体层具有压力敏感的导电性，所述超声设备还包括被耦接到所述弹性体层并且适于测量所述压力敏感的导电性的电极布置(160)。还公开了一种超声系统以及包括这样的超声设备的布置。
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公开(公告)号：CN108366774A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680069783.6
申请日：2016-12-01
申请人： 蝴蝶网络有限公司
发明人： 苏珊·A·阿列 , 海梅·斯科特·扎霍里安 , 陈凯亮
IPC分类号： A61B8/00
CPC分类号： B06B1/02 , B06B1/0292
摘要： 描述了对超声器件的超声换能器的电偏置。超声换能器可以是电容式微机械超声换能器(CMUT)。超声换能器可以被分组在一起，其中不同的组接收不同的偏置电压。可以选择用于各组超声换能器的偏置电压以产生各组之间的差异。
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公开(公告)号：CN108348217A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680063958.2
申请日：2016-11-02
申请人： 皇家飞利浦有限公司
CPC分类号： A61B8/4494 , A61B8/4483 , B06B1/0215 , B06B1/0292 , B06B2201/40 , B06B2201/51 , B06B2201/76
摘要： 本发明提供一种超声换能器阵列，包括多个CMUT(电容式微加工超声换能器)单元(100)，每一CMUT单元包括承载第一电极布置结构的第一电极(110)的衬底(300)，该衬底与包括第二电极布置结构的第二电极(120)的柔性膜片在空间上间隔开一间隙(130)，所述第一电极和所述第二电极中的至少一个通过至少一个电介质层(311、313)与所述间隙电绝缘，其中所述第一电极布置结构和所述第二电极布置结构中的至少一个被分割成通过各自的熔丝部分(112、122)互连的多个区段。本发明还公开包括此类超声换能器阵列的一种超声探头和一种超声系统。
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公开(公告)号：CN107735032A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201680039206.2
申请日：2016-06-20
申请人： 皇家飞利浦有限公司
发明人： D·安德森
CPC分类号： A61B8/12 , A61B8/04 , A61B8/06 , A61B8/4416 , A61B8/4477 , A61B8/4483 , B06B1/0292
摘要： 提供了多模式电容式微加工超声换能器(CMUT)以及相关联的设备、系统和方法。在实施例中，一种血管内设备包括：柔性细长构件，所述柔性细长构件具有近侧部分和远侧部分；以及第一传感器组件，所述第一传感器组件被设置在所述柔性细长构件的所述远侧部分处，所述第一传感器组件包括电容式微加工超声换能器(CMUT)的第一阵列；其中，所述第一传感器组件包括压力传感器、流量传感器或成像传感器中的至少两个。在一些实施例中，所述血管内设备还包括第二传感器组件，所述第二传感器组件包括CMUT的第二阵列。
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公开(公告)号：CN105122488B
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201480014925.X
申请日：2014-03-14
申请人： 火山公司
发明人： P·D·科尔
IPC分类号： H01L41/23 , H01L41/332
CPC分类号： A61B8/4494 , A61B8/12 , B06B1/0292 , B06B1/0629 , H01L41/0533 , H01L41/098 , H01L41/23 , H01L41/332
摘要： 一种制造微型超声换能器的方法包括接收晶片，在所述晶片上形成多个微型超声换能器。微型超声换能器的每个包括：换能器膜，其含有压电材料；以及第一接合盘和第二接合盘，每个被电耦合到换能器膜。从晶片的前侧在多个微型超声换能器上共形地沉积保护层。执行第一蚀刻过程以形成从前侧延伸到晶片中的多个第一沟槽。第一沟槽被蚀刻通过保护层。第一沟槽被设置在相邻的微型超声换能器之间。执行第二蚀刻过程以去除保护层的设置在第一接合盘和第二接合盘上的部分，由此暴露出第一接合盘和第二接合盘。
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公开(公告)号：CN107615777A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680030344.4
申请日：2016-05-26
申请人： 怀斯迪斯匹有限公司
发明人： 厄兹·加拜
CPC分类号： H04R19/04 , B06B1/0292 , G01H11/06 , H04R19/005 , H04R31/006 , H04R2201/003
摘要： 本发明提供了一种电容式传声器，所述电容式传声器包括：导电材料的刚性板；与所述刚性板平行放置的可移动板，所述可移动板与所述刚性板电气分离且所述可移动板相对于所述刚性板被牢固地保持在所述可移动板的至少一个位置中，其中，所述可移动板和/或所述刚性板根据下列条件而被划分成多个区域：所述区域与另一个板之间的最小距离、和/或所述区域相对于另一个板的运动程度，其中，各个所述区域都包括导电材料，而且所述区域利用所述区域之间的非导电材料隔开，并且各个所述区域与单独的连接器电气连接，所述连接器被配置成与电压源和放大器输入端连接，且提供给各个所述区域的电压适应于该区域的所述最小距离和/或所述运动程度。
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公开(公告)号：CN105025802B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201480010856.5
申请日：2014-02-27
申请人： 德克萨斯仪器股份有限公司
CPC分类号： B06B1/0292 , A61B8/4483 , B06B2201/76 , H02N1/002 , H02N1/006 , H02N1/008
摘要： 一种电容式微加工超声换能器(CMUT)器件100，该器件包括至少一个CMUT单元101a，其包括具有顶部的第一衬底101，该顶部上包括图案化介电层，该图案化介电层包括厚介电区106和薄介电区107。隔膜层120b接合在该厚介电区上并且在薄介电区上方以在微机电系统(MEMS)腔114上方提供可移动隔膜。穿透衬底通孔(TSV)111包括介电衬垫，其从第一衬底的底部延伸到所述隔膜层的顶部表面。顶部金属层161包括TSV上方、可移动隔膜上方的第一部分，并且将TSV耦合到可移动隔膜。图案化的金属层167在第一衬底的底部表面上，包括与对TSV侧向的第一衬底的底部接触的第一图案化的层部分。
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公开(公告)号：CN106999984A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580067115.5
申请日：2015-11-30
申请人： 皇家飞利浦有限公司
发明人： F·P·M·布德泽拉 , A·W·格伦兰德 , A·C·范伦斯
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： B06B1/0292 , A61B8/06 , A61B8/4483 , A61B8/488 , B06B2201/20 , B06B2201/76
摘要： 本发明涉及一种超声系统，包括：超声阵列，其包括至少一个电容性微机械超声换能器设备，所述至少一个电容性微机械超声换能器设备包括：薄膜，所述薄膜被耦合到第一电极；衬底，所述衬底与所述薄膜相对并且被耦合到第二电极和第三电极，在所述衬底与所述薄膜之间存在气体或真空腔，其中，所述第二电极在外围区域中与所述第一电极相对，并且所述第三电极在中心区域中与所述第一电极相对；至少一个驱动电路，其被耦合到所述阵列。所述系统还包括：高阻抗电阻器，当所述CMUT设备的所述薄膜处在所述塌陷状态中并且所述CMUT设备在操作频率处被激活时，所述高阻抗电阻器被电气地耦合到所述第二电极与所述第三电极并且具有比所述第一电极与所述第二电极之间的AC阻抗更高的阻抗值。
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公开(公告)号：CN106999150A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580064051.3
申请日：2015-11-24
申请人： 皇家飞利浦有限公司
发明人： S·A·W·福肯鲁德 , L·施特鲁肯 , H·J·W·贝尔特 , A·F·科伦 , N·米哈伊洛维奇
CPC分类号： A61B8/4438 , A61B8/12 , A61B8/4477 , A61B8/4483 , A61B8/52 , A61B8/565 , B06B1/0207 , B06B1/0292 , B06B1/06 , B06B2201/40 , B06B2201/76 , G01S7/5205 , G01S15/8909
摘要： 本发明提供了一种用于确定承载至少超声发射器/传感器元件(321)的医学设备(3)的识别特性的系统(1)。所述识别特性基于根据驱动信号的来自超声发射器/传感器元件(321)的探测信号。所述系统(1)能够识别来自已知医学设备的数据库(211、511)的医学设备。另外，所述系统(1)能够更新医学设备(3)的使用的持续时间和频率，并且当超过使用的预定限制时，其能够禁止医学设备(3)的进一步使用。
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公开(公告)号：CN106925496A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201710009206.4
申请日：2017-01-06
申请人： 中北大学
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： B06B1/0292 , B06B2201/76
摘要： 本发明公开了一种微机电超声探头，包括硅衬底（1），所述硅衬底（1）的上表面为氧化层（2），所述氧化层（2）的上表面开设有若干空腔（3），若干空腔（3）成排、列布置，所述氧化层（2）的上表面键合振动薄膜（4），所述振动薄膜（4）的上表面设隔离层（5），围绕隔离层（5）的四周边缘处及其内部开设有下沉的隔离槽（6），所述隔离槽（6）贯穿隔离层（5）和振动薄膜（4）后，其槽底开设于氧化层（2）上；所述隔离层（5）的上表面上正对每个空腔（3）的中心位置处设有上电极（7）。本发明设计合理，该超声探头结构新颖、体积小、频带宽、灵敏度高，噪声低，稳定性好。
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