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公开(公告)号：CN117031878A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310522141.9
申请日：2023-05-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明提供一种化学增幅正型抗蚀剂组成物，可形成具有极高分辨性，LER小、矩形性优异、抑制了显影负载的影响的图案的抗蚀剂膜，并提供使用该化学增幅正型抗蚀剂组成物的抗蚀剂图案形成方法。一种化学增幅正型抗蚀剂组成物，包含由酸不稳定基团保护且因酸的作用变成碱可溶性的基础聚合物，该基础聚合物包含含有下式(A1)表示的含苯酚性羟基的单元及下式(A2)表示的羧基被酸不稳定基团保护的重复单元的聚合物，该基础聚合物中含有的聚合物的全部重复单元中，具有芳香环骨架的重复单元为65摩尔％以上。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN117031872A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310522173.9
申请日：2023-05-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及空白掩膜、抗蚀剂图案形成方法及化学增幅正型抗蚀剂组成物。本发明提供一种空白掩膜，具备能形成具有极高分辨性且LER小、矩形性优异、图案忠实性优异的图案的抗蚀剂膜，并提供抗蚀剂图案形成方法、及化学增幅正型抗蚀剂组成物。一种空白掩膜，具备涂布化学增幅正型抗蚀剂组成物而获得的抗蚀剂膜，该化学增幅正型抗蚀剂组成物包含：基础聚合物，含有含下式(A1)表示的含苯酚性羟基的单元及下式(A2)表示的羧基被酸不稳定基团保护的重复单元的聚合物；及有机溶剂。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN116909093A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310054083.1
申请日：2023-02-03
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题是提供为高感度且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料、以及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料，含有：包含具有由键结于聚合物主链的磺酸阴离子与下式(1)表示的锍阳离子构成的盐结构的重复单元a的基础聚合物。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN116500861A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310061625.8
申请日：2023-01-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题提供为高感度且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料、以及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料，含有：包含下式(1)表示的锍盐的酸产生剂。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116165845A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202211476999.8
申请日：2022-11-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及正型抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题是提供酸的扩散受到控制，具有优于已知的正型抗蚀剂材料的分辨率，边缘粗糙度、尺寸偏差小，且曝光后的图案形状良好的正型抗蚀剂材料及图案形成方法。该课题的解决手段为一种正型抗蚀剂材料，含有末端被连接于硫醚基的含碘原子的酸的铵盐封端而成的基础聚合物。
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公开(公告)号：CN116136648A
公开(公告)日：2023-05-19
申请号：CN202211445494.5
申请日：2022-11-18
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 畠山润
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , C08F220/18 , C08F212/14 , C08F220/38
Abstract: 本发明涉及正型抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题是提供酸的扩散受到控制，具有优于已知的正型抗蚀剂材料的分辨率，边缘粗糙度、尺寸偏差小，且曝光后的图案形状良好的正型抗蚀剂材料及图案形成方法。该课题的解决手段为一种正型抗蚀剂材料，含有末端被下式(a)‑1～(a)‑3中任一者表示的基团封端而成的基础聚合物。
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公开(公告)号：CN114181530B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202111075986.5
申请日：2021-09-14
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C08L83/04 , C08K3/08 , C08K3/04 , C08K5/435 , C08K3/36 , C08K9/06 , A61B5/0533 , A61B5/28 , A61B5/265 , A61B5/263
Abstract: 本发明涉及生物体电极组成物、生物体电极、生物体电极的制造方法、及硅材料粒子。本发明的课题为提供一种生物体电极组成物，含有(A)表面具有N‑羰基磺酰胺盐的粒子，其特征为：该N‑羰基磺酰胺盐为下述通式(1)表示者。[化1]式中，R1为碳数1～20的直链状、分支状、环状的亚烷基，且也可具有芳香族基、醚基、酯基，或为碳数6～10的亚芳基。Rf为碳数1～4的直链状、分支状、环状的烷基、碳数6～10的芳基，且也可具有氟原子。M+为选自锂离子、钠离子、钾离子、银离子的离子。
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公开(公告)号：CN115397916A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202180026714.8
申请日：2021-03-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C08L65/00 , C08G61/12 , C08G73/02 , C08F212/14 , C08F220/22 , C08F220/38 , C08L25/18 , C08L33/14 , C08L101/12 , H01B1/12 , H01B1/20 , H01B5/14
Abstract: 本发明为一种导电性高分子组合物，其特在于，其是将π共轭类聚合物(A)及下述通式(2)所表示的聚合物(B)的复合物分散在H2O(D)中而成且含有水溶性的有机溶剂(C)的组合物。由此，可提供一种组合物，其过滤性良好、成膜性良好、可缓解酸性度、且能够形成具有高透明性的导电膜，通过向该导电性高分子组合物的H2O分散液中混合有机溶剂，可因表面张力、接触角的降低而提供基板上的流平性，并可用于基于液滴的涂布法，通过使用沸点高于H2O的有机溶剂作为所述有机溶剂，可避免在喷嘴周边析出固体成分或从喷嘴前端排出液体材料后至液体到达基板之前的期间因干燥而析出固体成分。
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公开(公告)号：CN114350154A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111186934.5
申请日：2021-10-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C08L83/04 , C08L83/07 , C08L83/05 , C08L33/08 , C08L33/16 , C08K3/24 , C08K3/08 , C08K3/04 , C08K3/36 , A61B5/263 , A61B5/265 , A61B5/268 , A61B5/28
Abstract: 本发明涉及生物体电极组成物、生物体电极、生物体电极的制造方法、高分子化合物及复合体。本发明的课题提供可形成导电性及生物相容性优异，轻量且能以低成本制造，被水润湿抑或干燥时导电性均不会大幅降低的生物体电极用的生物体接触层的生物体电极组成物、以该生物体电极组成物形成生物体接触层的生物体电极、及其制造方法。一种生物体电极组成物，含有(A)离子性高分子材料与粒子的复合体，前述(A)成分含有与聚合物键结的粒子，该聚合物含有具有选自氟磺酸、氟磺酰亚胺、及N‑羰基氟磺酰胺中的任一者的铵盐、锂盐、钠盐、钾盐、银盐的结构的重复单元。
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