层积体、阻隔膜及其制造方法

    公开(公告)号:CN105050808B

    公开(公告)日:2018-12-28

    申请号:CN201480018402.2

    申请日:2014-03-20

    Abstract: 层积体(1)包括:具有表面的基材(4),在所述基材(4)的所述表面上的至少一部分上形成的、含有具有OH基的有机高分子的膜状或薄膜状的底涂层(3),以及将前体作为原料形成的、以覆盖所述底涂层(3)的暴露面的方式形成为膜状的原子层沉积膜(2),其中所述前体的至少一部分键合于所述有机高分子的所述OH基。

    卷绕成膜装置
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103459665B

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201280015471.9

    申请日:2012-03-28

    CPC classification number: C23C16/545 B65H20/16 B65H23/025 C23C16/45551

    Abstract: 本发明的卷绕成膜装置(1)具备:导入第一前驱体气体的第一真空室(21);导入第二前驱体气体的第二真空室(22);导入用于排出第一前驱体和第二前驱体的吹扫气体的第三真空室(23);以及搬运设备(41a(41b)),该搬运设备将可卷绕的基材(15)搬运到第一真空室(21)、第二真空室22)和第三真空室(23)中,并且具有保持基材15)的宽度方向的两端部的保持部。

    卷取成膜装置
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104364420A

    公开(公告)日:2015-02-18

    申请号:CN201380027869.9

    申请日:2013-05-23

    Abstract: 本发明提供一种卷取成膜装置,具备:被导入有第一前体的第一真空气室;被导入有第二前体的第二真空气室;被导入有用于将上述第一前体及上述第二前体清洗的清洗气体的第三真空气室;以及搬运辊部,将可卷取的基材向上述第一真空气室、上述第二真空气室及上述第三真空气室搬运,具有一对辊对,每个辊对在上述基材的厚度方向上夹持上述基材且具有第一辊及第二辊,在上述第一辊及上述第二辊中的至少一方的外周面上形成有凹凸形状,使用上述搬运辊部,使上述基材在上述第一真空气室及上述第二真空气室中往复,由此在上述基材的表面上沉积原子层而形成原子层沉积膜。

    层叠体及其制造方法
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113897594A

    公开(公告)日:2022-01-07

    申请号:CN202111158968.3

    申请日:2016-04-15

    Inventor: 佐藤尽 加纳满

    Abstract: 提供一种阻气性高且耐久性优异的层叠体。层叠体(1)具备:由具有含有氧原子或氮原子的官能团的有机高分子材料构成的基材(2);与基材(2)所含的有机高分子的官能团结合并由原子层沉积法形成的功能层(3);以覆盖功能层(3)的方式而设置并且包含过渡金属原子的外覆层(4)。由于在基材(2)与功能层(3)的密合性优异的同时,功能层(3)也通过外覆层而受到保护,因而可以兼具高阻气性以及对于热或湿度等环境应力的优异的耐久性。

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