公开(公告)号：CN114608494A

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202210330679.5

申请日：2022-03-30

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 刘世元 ,  陈修国 ,  杨天娟 ,  马健源 ,  刘章勇 ,  张家豪

IPC: G01B15/04 ,  G01B15/00

Abstract: 本发明属于半导体测量技术领域，具体涉及一种纳米结构三维形貌小角X射线散射测量方法及装置，包括：对待测样品的纳米结构周期单元的三维形貌进行描述，并用以建立三维形貌的透射小角X射线散射场模型；对三维形貌进行透射小角X射线散射场测量，得到散射图谱，其中采用的定位系统能够大范围变化入射角和方位角，能够实现多角度散射图谱测量，在此基础上在参数提取中通过特定公式在图谱中直接提取三维形貌周期信息，提取方式高效、准确，上述公式是通过将不同旋转角度ω下的Δqxz用余弦函数进行拟合得到。本发明方法是一种全新的高效实现复杂IC纳米结构三维形貌快速、非破坏性、精确测量的方法。

公开(公告)号：CN114593700A

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN202210272322.6

申请日：2022-03-18

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈修国 ,  张家豪 ,  杨天娟 ,  马健源 ,  刘世元

IPC: G01B15/00 ,  G01B15/04 ,  G06F17/14 ,  G06F17/18

Abstract: 本发明属于X射线关键尺寸测量方法领域，具体涉及一种用于X射线关键尺寸测量的纳米结构散射场计算方法，包括：将位于XOZ坐标系中的曲线与XOZ坐标系的X坐标轴所围成的区域，描述为纳米结构周期单元的截面轮廓，X坐标轴代表纳米结构周期单元在实体空间周期性排布的方向，Z坐标轴代表与纳米结构所位于的基底平面相垂直的方向；上述曲线通过在XOZ坐标系中选点计算生成；通过非均匀快速傅里叶变换计算截面轮廓在倒易空间中特定坐标位置处的倒易空间数值，作为纳米结构的形状因子以计算纳米结构散射场。本发明适用于任意截面面型的纳米结构，解决了现有只能通过简单几何形状叠加来描述截面轮廓所存在的建模困难和拟合程度差问题。