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公开(公告)号：CN103551696A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310556204.9
申请日：2013-11-11
Applicant: 厦门大学
IPC: B23K3/06
Abstract: 一种利用安培力驱动的喷射式焊料分配装置，涉及一种焊料分配装置。设有基体、焊料加热器、螺旋形绝缘管、微孔喷嘴、电源、励磁线圈、铁芯、供料仓和焊丝固定柱；基体设有中空腔，励磁线圈套在铁芯上，铁芯设中心通孔，励磁线圈和铁芯设于基体内，焊料加热器设于铁芯的中空孔内，螺旋形绝缘管套在焊料加热器上，螺旋形绝缘管下端设有焊料喷嘴，螺旋形绝缘管上端伸入供料仓中，螺旋形绝缘管上部设有上导线接线端子，螺旋形绝缘管下部设有下导线接线端子，电源正负两极分别与螺旋形绝缘管上导线接线端子和下导线接线端子连接，焊丝固定柱设于供料仓内，供料仓腔壁设有气体输入口。尺寸可小型化，可明显节省焊料，有效提高焊接质量及自动控制程度。
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公开(公告)号：CN104085852B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201410326803.6
申请日：2014-07-10
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种多环微纳光纤谐振腔制备装置及其制备方法，涉及光纤谐振腔的制备。所述制备装置设有注射泵、注射器、注射针头、谐振腔基底、XY运动平台、计算机和高压电源。所述制备方法：将溶液灌入注射器并设定注射泵的供液速度，随后注射针头的尖端处出现液滴；将谐振腔基底固定于XY运动平台上，调整注射针头的尖端到谐振腔基底的竖直距离；开启高压电源，设定电压输出值，注射针头处的液滴在静电场作用下形成泰勒锥并产生射流，射流沉积在注射针头的针尖正下方的XY运动平台的锡纸上；通过计算机控制XY运动平台，带动谐振腔基底以设定的XY运动平台的直线运动速度经过注射针头正下方，即在谐振腔基底上形成多环串联结构的多环微纳光纤谐振腔。
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公开(公告)号：CN103668488B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201310653271.2
申请日：2013-12-05
Applicant: 厦门大学
IPC: D01D5/00
Abstract: 纤维喷射装置，涉及一种纤维制造装置。设有转轮、甩绳、旋转轴、溶液槽、驱动电机、升降台、电刷、储液箱、供液管、计量泵、联轴器、纤维收集传送装置、高压电极网、高压电源和控制电路。采用甩绳进行静电纺丝喂液，可避免针头式静电纺丝技术中喷头容易堵塞、装置难清理、纺丝效率较低、纺丝质量差的弊端，同时避免多喷头静电纺丝过程中出现的边缘效应等电场干扰现象。通过改变甩绳的材料、直径、长度、截面积形状来控制纤维的形貌、排列和产量。还可控制甩绳的浸没长度、转轮的转速、转轮与纤维收集传送装置之间的距离、电场强度等电纺工艺参数，提高静电纺丝的效率和纤维质量，能快速均匀制备纳米纤维，有利于纳米纤维的大规模工业化生产。
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公开(公告)号：CN104085852A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201410326803.6
申请日：2014-07-10
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种多环微纳光纤谐振腔制备装置及其制备方法，涉及光纤谐振腔的制备。所述制备装置设有注射泵、注射器、注射针头、谐振腔基底、XY运动平台、计算机和高压电源。所述制备方法：将溶液灌入注射器并设定注射泵的供液速度，随后注射针头的尖端处出现液滴；将谐振腔基底固定于XY运动平台上，调整注射针头的尖端到谐振腔基底的竖直距离；开启高压电源，设定电压输出值，注射针头处的液滴在静电场作用下形成泰勒锥并产生射流，射流沉积在注射针头的针尖正下方的XY运动平台的锡纸上；通过计算机控制XY运动平台，带动谐振腔基底以设定的XY运动平台的直线运动速度经过注射针头正下方，即在谐振腔基底上形成多环串联结构的多环微纳光纤谐振腔。
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公开(公告)号：CN103413780A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310365926.6
申请日：2013-08-20
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L21/768
Abstract: 一种基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构制作方法，涉及硅通孔互联技术。在硅层上刻蚀出沟槽，形成硅柱；将带有图案的丝网版与硅层刻蚀后的图案对准；将玻璃粉置于丝网版上，在竖直方向挤压使玻璃粉填充沟槽，移走丝网版；去除硅柱顶部表面玻璃粉；将填充有玻璃粉硅层加热熔融，内部无气泡，冷却后得熔融玻璃结构，将得到熔融玻璃结构的硅层置于腐蚀液中，采用湿法腐蚀工艺去除硅柱顶部表面残留的熔融玻璃结构，得到沟槽内的熔融玻璃骨架；采用机械研磨方式，将硅层下部减薄加工至暴露出硅柱底部，再采用化学机械抛光方式修复研磨损伤，从而获得所述基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103335751A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310220870.5
申请日：2013-06-05
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种双谐振子硅微压力传感器及其制作方法，涉及传感器。提供一种具有高品质因子、良好热匹配性和低残余应力的双谐振子硅微压力传感器及其制作方法。所述传感器由下至上依次设有应力隔离块、压力敏感座、谐振体、真空封装帽和电极。由于设有双谐振子，双谐振子在工作时两者反向振动，使谐振结构在振动时有固定的重心，沿每个支承连接轴线的力矩总和为零，每个振动周期消耗的能量会大大减小，谐振结构的品质因子得到较大提高。硅材料的使用使整个传感器主体结构的热膨胀相匹配，大大降低了谐振频率的温度系数，为传感器获得高测量精度奠定基础。由于在压力敏感座底部设有带导气孔的应力隔离块，显著降低了封装过程中产生的残余应力。
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公开(公告)号：CN103551696B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310556204.9
申请日：2013-11-11
Applicant: 厦门大学
IPC: B23K3/06
Abstract: 一种利用安培力驱动的喷射式焊料分配装置，涉及一种焊料分配装置。设有基体、焊料加热器、螺旋形绝缘管、微孔喷嘴、电源、励磁线圈、铁芯、供料仓和焊丝固定柱；基体设有中空腔，励磁线圈套在铁芯上，铁芯设中心通孔，励磁线圈和铁芯设于基体内，焊料加热器设于铁芯的中空孔内，螺旋形绝缘管套在焊料加热器上，螺旋形绝缘管下端设有焊料喷嘴，螺旋形绝缘管上端伸入供料仓中，螺旋形绝缘管上部设有上导线接线端子，螺旋形绝缘管下部设有下导线接线端子，电源正负两极分别与螺旋形绝缘管上导线接线端子和下导线接线端子连接，焊丝固定柱设于供料仓内，供料仓腔壁设有气体输入口。尺寸可小型化，可明显节省焊料，有效提高焊接质量及自动控制程度。
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公开(公告)号：CN103413780B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201310365926.6
申请日：2013-08-20
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L21/768
Abstract: 一种基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构制作方法，涉及硅通孔互联技术。在硅层上刻蚀出沟槽，形成硅柱；将带有图案的丝网版与硅层刻蚀后的图案对准；将玻璃粉置于丝网版上，在竖直方向挤压使玻璃粉填充沟槽，移走丝网版；去除硅柱顶部表面玻璃粉；将填充有玻璃粉硅层加热熔融，内部无气泡，冷却后得熔融玻璃结构，将得到熔融玻璃结构的硅层置于腐蚀液中，采用湿法腐蚀工艺去除硅柱顶部表面残留的熔融玻璃结构，得到沟槽内的熔融玻璃骨架；采用机械研磨方式，将硅层下部减薄加工至暴露出硅柱底部，再采用化学机械抛光方式修复研磨损伤，从而获得所述基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构。
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公开(公告)号：CN103145093B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201310085087.2
申请日：2013-03-18
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种具有高深宽比梳齿间隙硅微惯性器件的制备方法，涉及微惯性器件。提供简单、可保证电学特性且成本低的一种具有高深宽比梳齿间隙硅微惯性器件的制备方法。加工梳状结构的硅微惯性器件半成品主体结构；加工与硅微惯性器件半成品主体结构配合的带凹槽的封装盖；制备高深宽比的梳齿间隙；制备硅微惯性器件成品。先将原本的固定梁制备成悬浮梁，然后通过施加反向电压，在静电吸合的作用下，使悬浮梁移动定位，自热形成高深宽比梳齿间隙。简单易操作，而且加工中所需的刻蚀、键合等工艺已非常成熟，不需要高精密的刻蚀仪器或者繁杂的沉积方法就可以获得高深宽比的梳齿间隙，而且因为不需要重复刻蚀等步骤，梳齿间隙的均匀性可以很好地保证。
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公开(公告)号：CN103926026A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201410182582.X
申请日：2014-05-04
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种内嵌式高温无线压力传感器，涉及一种压力传感器。设有压力敏感膜、传感器上盖板、电容上下极板、电感线圈、传感器基座与压力参考腔；传感器上盖板上开有方形槽，构成压力敏感膜，传感器上盖板背面制作有电容上极板；传感器基座上开有回形槽，电容下极板与电感线圈制作在传感器基座上，电容下极板上表面与电感线圈上表面平齐，而电感线圈制作在回形槽中；电容上极板、电容下极板与电感线圈均由掺杂金属的硅制作而成，电容上极板与电容下极板构成平行板电容器，电容上极板与电感线圈上分别引出上下层导线，传感器上盖板与传感器基座键合，上下层导线紧密接触，使得电容上极板、电感线圈与电容下极板串联构成标准RLC回路并形成压力参考腔。
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