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公开(公告)号:CN116977225A
公开(公告)日:2023-10-31
申请号:CN202311114227.4
申请日:2023-08-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种原位共焦显微二维图像畸变校正方法,它涉及一种二维图像畸变校正方法。本发明为了解决由于机械臂本身固有的振动,使共焦显微在成像过程中待测元件与显微测头之间发生相对位移,从而使显微成像带有振动畸变的问题。本发明的步骤包括步骤一、输入图像;步骤二、图像分块;步骤三、边缘提取;步骤四、振动拟合;步骤五、图像边缘去抖;步骤六、图像复原。本发明属于图像处理技术领域。
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公开(公告)号:CN111239153B
公开(公告)日:2023-09-15
申请号:CN202010056473.9
申请日:2020-01-18
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 南京恒锐精密仪器有限公司 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种轴向差动暗场共焦显微测量装置及其方法,其装置包括环形光照明模块、环形光扫描模块和差动共焦探测模块;通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测,有效分离样品反射信号与散射信号,获取纳米级亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息;通过差动共焦探测,提高了测量系统轴向的灵敏度、线性和信噪比,可显著抑制环境状态差异、光源光强波动和探测器电气漂移等引起的共模噪声。
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公开(公告)号:CN116596767A
公开(公告)日:2023-08-15
申请号:CN202310235932.3
申请日:2023-03-13
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 江苏锐精光电研究院有限公司
IPC: G06T5/00 , G06V10/30 , G06V10/762
Abstract: 本发明公开了一种基于改进噪声估计的LRA‑SVD自适应细节保留降噪算法,包括对亚表面缺陷图像进行噪声估计;利用噪声估计值以及LRA‑SVD算法对原始图像进行降噪;将原始图像与初步降噪算法做差,获得初始方法去噪图像;计算去噪图像与方法噪声之间的相关系数,如果相关系数大于阈值,则进行迭代正则化降噪过程:将方法噪声乘以一定的系数加入到去噪图像中作为新含噪图像;利用改进的噪声估计方法对新含噪图像进行噪声估计,利用噪声估计值和LRA‑SVD算法对新含噪图像降噪;利用原始图像与新降去图像做差;计算新去噪图像与新方法噪声之间的相关系数,如果相关系数小于阈值则停止迭代,获得降噪后的亚表面缺陷图像;否则进行新一轮正则化降噪。
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公开(公告)号:CN111239155B
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202010059128.0
申请日:2020-01-18
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 南京恒锐精密仪器有限公司 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种轴向差动暗场共焦显微测量装置及其方法,该装置包括环形光照明模块、环形光扫描模块和差动共焦探测模块;通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测,有效分离样品反射信号与散射信号,获取纳米级亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息;通过差动共焦探测,提高了测量系统轴向的灵敏度、线性和信噪比,可显著抑制环境状态差异、光源光强波动、探测器电气漂移等引起的共模噪声。
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公开(公告)号:CN116256377A
公开(公告)日:2023-06-13
申请号:CN202310242652.5
申请日:2023-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/19
Abstract: 本发明公开了基于圆二向色性的暗场共焦显微测量装置与方法,该装置包括圆二色性光束生成模块、环形光产生模块、光束扫描照明模块、暗场共焦探测模块;将线偏振光入射偏振光栅,同时产生第一偏振光和第二偏振光,并控制声光调制器将光束调制为脉冲形式,实现在同一周期内,偏振光交替进行照明。经由锥透镜组将光束调制成环形照明光束,同时利用互补孔径光阑,收集散射信号,并对第一偏振光和第二偏振光的收集散射信号进行差分。直接分析单一偏振态下的散射信号,可提取表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息;分析左右旋环形光照明下的散射信号差值,可获取微纳结构材料的光学手性信息,提升手性检测的灵敏度。
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公开(公告)号:CN115268028A
公开(公告)日:2022-11-01
申请号:CN202211046967.4
申请日:2022-08-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种平场远心扫描镜头,包括从物侧到像侧沿光轴依次设置的光阑、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜,第一透镜为具有正光焦度的正弯月透镜;第二透镜为具有负光焦度的负弯月透镜;第三透镜为具有负光焦度的弯月透镜;第四透镜为具有正光焦度的弯月透镜;第五透镜为具有正光焦度的双凸透镜。该扫描镜头在主光线在像面上的倾斜角度小于0.1°,各种像差得到很好矫正,扫描视场直径不小于150mm,且结构简单,设计合理,易于制造。
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公开(公告)号:CN113984771A
公开(公告)日:2022-01-28
申请号:CN202111121288.4
申请日:2021-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于矢量偏振光的深度学习暗场共焦显微测量装置与方法,属于光学精密测量技术领域。包括径向偏振光产生模块、旋转方向照明模块、明场超分辨共聚焦探测模块、暗场超分辨共聚焦探测模块;通过偏振转换器产生径向偏振光照明,同时利用互补孔径遮挡探测,有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号并进行双路同步收集,可同时获取亚波长级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息。
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公开(公告)号:CN113960010A
公开(公告)日:2022-01-21
申请号:CN202111125949.0
申请日:2021-09-24
Applicant: 江苏锐精光电研究院有限公司 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于涡旋光束的暗场共聚焦拉曼偏振光谱测量装置与方法,属于光学精密测量技术领域。本发明装置包括光纤双波长光照明模块、明场共聚焦模块、暗场偏振共焦拉曼光谱分析模块;通过光纤产生环形照明光束与互补孔径遮挡探测,有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号,可同时获取微米级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息;共聚焦拉曼光谱测量可对样品化学分子成分等性质进行三维检测分析;通过引入偏振信息测量,可以分析物质极性。
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公开(公告)号:CN109470143B
公开(公告)日:2020-07-28
申请号:CN201811496655.7
申请日:2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 外部光源高分辨力立体视觉测量系统与方法光学非接触三维测量领域,具体涉及一种利用立体视觉与扫描放大测量系统联用测量大尺度三维物体形貌、形变、位移等的装置和方法;该装置由两个外部光源高分辨力立体视觉单目测量装置及外部光源组成,每一个外部光源高分辨力立体视觉单目测量装置由扫描视觉模块组成;该方法首先将待测物体放置在本装置视场范围及清晰成像范围内;其次,利用扫描视觉模块逐点扫描整个物体;利用视觉三维成像原理对采集到的图片进行处理得到高分辨力的物体三维形貌;本发明可以显著提高大尺度视觉系统的测量分辨力。
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公开(公告)号:CN108072970B
公开(公告)日:2020-05-05
申请号:CN201711246969.7
申请日:2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京锐驰恒业仪器科技有限公司
Abstract: 本发明涉及一种变焦光镊光片显微成像装置和方法,属于光学显微成像与光学操控技术领域。该装置包括:光片照明模块、光片探测模块、光镊聚焦模块和光镊轴向调焦模块。本发明在常规光镊显微系统中增加由偏振分光镜、四分之一波片、低孔径物镜、管镜和平面反射镜组成的轴向调焦装置,实现光镊光片显微镜中光镊焦面的轴向移动,从而抓取悬浮样品实现轴向移动,完成光片三维层析扫描成像。
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