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公开(公告)号:CN109986776A
公开(公告)日:2019-07-09
申请号:CN201910280996.9
申请日:2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种面向微小结构件的精密制造工艺方法,属于快速成型技术领域。所述一种面向微小结构件的精密制造工艺方法包括微结构刻划工序、试件模板制备工序、模板预处理工序、模板镀脱模剂工序、成型材料配置工序、压电微喷工序、微滴沉积成型工序和脱模工序。该微小结构件的精密制造工艺具有操作方便、价格低廉且设备使用和维护成本低、成型速度快、成型分辨率高、工作噪音低及满足多种材料喷射成型要求的优点,在生物医疗、航空航天、材料、化学以及微电子器件等领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号:CN109985739A
公开(公告)日:2019-07-09
申请号:CN201910280495.0
申请日:2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种面向表面微小结构成型的三自由度精密操作装置及其激励方法,属于快速成型技术领域。该操作装置包括精密驱动机构(1)、压电微喷射器(2)、轨迹刻划组件(3)和成型目标面(4);通过精密驱动机构(1)和轨迹刻划组件(3)在成型目标面(4)上进行轨迹刻划,通过刻划的轨迹对压电微喷射器(2)喷射出的微滴进行引导,以便在成型目标面(4)上实现高质量的表面微小结构成型。该操作装置具有结构简单、价格低廉且设备使用和维护成本低、成型速度快、成型分辨率高、工作噪音低小及满足多种材料喷射成型需求的优点,在生物医疗、航空航天、材料、化学以及微电子器件等领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号:CN110206993B
公开(公告)日:2021-01-05
申请号:CN201910451103.2
申请日:2019-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于无阀压电微泵的轴承主动微冗余润滑机构,属于主动微冗余润滑技术领域。本发明解决了现有的主动润滑机构结构复杂,难以嵌入进轴承系统内;以及现有的基于压电微喷射的主动微冗余润滑需要较为复杂的背压系统,占用空间体积大的的问题。环形定位槽的槽底同轴开设有环形油槽,微泵入口端盖沿其周向开设有若干通孔,微泵出口端盖与所述微泵入口端盖结构相同且相对设置,微泵腔体设置在微泵入口端盖上的环形定位槽与微泵出口端盖上的环形定位槽之间,铜基体及压电陶瓷由内至外依次同轴套设在微泵腔体上,微泵出口端盖上的若干通孔与轴承组件之间对应通过若干内导油管连通,轴承组件与两组润滑组件通过紧固螺母及第一轴段的端面实现轴向定位。
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公开(公告)号:CN110038763B
公开(公告)日:2020-07-14
申请号:CN201910418914.2
申请日:2019-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种可喷射大粘度流体的悬臂梁式压电微喷机构,包括底座、多孔蓄液结构、柔性薄膜、铜片、压电陶瓷、上盖板、铜片压板和喷嘴,在底座上表面左侧开设有液体储液池,右侧开设有安装槽,在安装槽底部开设有流体流通槽,液体储液池依次通过储液池出口及流体流道入口与流体流通槽连通,多孔蓄液结构设置在液体储液池内,柔性薄膜设置在定位槽内且完全覆盖流体流通槽,上盖板约束柔性薄膜的法向向外的自由度,铜片贴在柔性薄膜的上,压电陶瓷贴在铜片上,铜片压片穿过上盖板后压紧在铜片的左端形成悬臂梁结构,喷嘴开设在底座下表面且与流体通道连通,柔性薄膜与底座之间围成容纳大粘度流体的封闭腔体。本发明能实现高压大粘度流体的喷射。
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公开(公告)号:CN110206993A
公开(公告)日:2019-09-06
申请号:CN201910451103.2
申请日:2019-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于无阀压电微泵的轴承主动微冗余润滑机构,属于主动微冗余润滑技术领域。本发明解决了现有的主动润滑机构结构复杂,难以嵌入进轴承系统内;以及现有的基于压电微喷射的主动微冗余润滑需要较为复杂的背压系统,占用空间体积大的的问题。环形定位槽的槽底同轴开设有环形油槽,微泵入口端盖沿其周向开设有若干通孔,微泵出口端盖与所述微泵入口端盖结构相同且相对设置,微泵腔体设置在微泵入口端盖上的环形定位槽与微泵出口端盖上的环形定位槽之间,铜基体及压电陶瓷由内至外依次同轴套设在微泵腔体上,微泵出口端盖上的若干通孔与轴承组件之间对应通过若干内导油管连通,轴承组件与两组润滑组件通过紧固螺母及第一轴段的端面实现轴向定位。
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公开(公告)号:CN110142163A
公开(公告)日:2019-08-20
申请号:CN201910440012.9
申请日:2019-05-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种应用于压电微喷机构的恒压背压系统,包括芯轴、挡板、注液接头、供液套筒、压缩弹簧、注液活塞、销轴、恒力弹簧、移动活塞和柔性波纹套筒,所述芯轴为中空结构,所述挡板、注液接头、供液套筒和移动活塞顺次设置在芯轴内,所述挡板设置在芯轴的一端,注液接头的一端伸入挡板内,且与挡板固定连接。本发明在无需外部控制和驱动的情况下可实现无源稳压供液,同时能够抵消微管道的压强损耗,实现稳定的微小压强液体的供应,液体在经过微管道的传输至外围压电微喷腔体内,且在压电微喷腔体不工作时不会使流体从喷口溢出,满足大部分压电微喷机构对供液压强的要求,本发明满足真空注油工艺要求,可以应用于航天航空相关技术领域。
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公开(公告)号:CN109973365A
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201910280999.2
申请日:2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵及其泵送方法,属于流体机械领域。阀腔盖板、泵腔盖板和泵体依次连接,两个阀腔弹性薄膜布置于两个阀腔盖板通孔底部,两个阀腔弯振换能器末端与两个阀腔弹性薄膜表面中心位置刚性连接,泵腔弹性薄膜设置于泵腔盖板通孔底部,泵腔弯振换能器首端通过弯振换能器连接件固定在泵腔盖板内,泵腔弯振换能器末端与泵腔弹性薄膜下表面刚性连接,两个阀腔环形密封圈均通过阀腔盖板和两个阀腔弹性薄膜压紧在泵体上,泵腔环形密封圈通过泵腔盖板和泵腔弹性薄膜压紧固定在泵体下。本发明采用的压电换能器振子具有输出力大、响应速度快及无电磁干扰等优点,能够实现较大的压力和流量的微量液体传递。
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公开(公告)号:CN110052357B
公开(公告)日:2021-06-15
申请号:CN201910402647.X
申请日:2019-05-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种应用于高粘度流体喷射的阀门可调式压电微喷机构,属于微液滴喷射领域。本发明解决了现有的能够实现高粘度流体喷射的压电微喷机构对喷口的开闭控制以及对所喷射液滴的大小控制成本高的问题。它包括预紧端盖、压电叠堆、弹性膜片、锥头、喷嘴及微喷腔体,预紧端盖盖设在微喷腔体上方且与微喷腔体外壁螺纹连接,压电叠堆竖直设置在预紧端盖内,微喷腔体的顶端为开口端,底端沿竖直方向开设有螺纹孔,所述喷嘴为竖直穿设在螺纹孔内的空心圆柱体,且与微喷腔体螺纹连接,所述弹性膜片水平固设在微喷腔体的上部,所述锥头位于微喷腔体内且与喷嘴同轴设置,锥头大端与压电叠堆底端之间通过弹性膜片固接,锥头的小端直径小于喷嘴的内径设置。
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公开(公告)号:CN109973365B
公开(公告)日:2020-06-23
申请号:CN201910280999.2
申请日:2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种采用压电换能器激励的多腔体双向压电泵及其泵送方法,属于流体机械领域。阀腔盖板、泵体和泵腔盖板依次连接,两个阀腔弹性薄膜布置于两个阀腔盖板通孔底部,两个阀腔弯振换能器末端与两个阀腔弹性薄膜表面中心位置刚性连接,泵腔弹性薄膜设置于泵腔盖板通孔顶部,泵腔弯振换能器首端通过弯振换能器连接件固定在泵腔盖板内,泵腔弯振换能器末端与泵腔弹性薄膜下表面刚性连接,两个阀腔环形密封圈均通过阀腔盖板和两个阀腔弹性薄膜压紧在泵体上,泵腔环形密封圈通过泵腔盖板和泵腔弹性薄膜压紧固定在泵体下。本发明采用的压电换能器振子具有输出力大、响应速度快及无电磁干扰等优点,能够实现较大的压力和流量的微量液体传递。
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公开(公告)号:CN110001049A
公开(公告)日:2019-07-12
申请号:CN201910280496.5
申请日:2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B29C64/112 , B29C64/307 , B29C64/386 , B29C64/393 , B33Y10/00 , B33Y40/00 , B33Y50/00 , B33Y50/02
Abstract: 本发明提出一种结构表面微小结构成型工艺方法,所述一种结构表面微小结构成型工艺方法包括结构表面特征分析、试剂材料配备、路径规划、压电微喷装置、试剂材料沉积、涂层检测和形成表面微小结构步骤;通过对成型目标面的结构表面特征分析为试剂材料配备提供参考;通过路径规划在成型目标面上刻划出期望的目标轨迹,将在目标轨迹的约束下引导液滴扩散,提升液体扩散的均匀一致性。该成型工艺具有操作简便、价格低廉、成型速度快、成型分辨率高、工作噪音低小及满足多种材料喷射成型要求的优势,有望对生物医疗、航空航天、材料、化学及微电子等领域的发展产生积极的推动作用。
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