公开(公告)号：CN113463018A

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202110612639.5

申请日：2017-09-27

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 小幡胜也 ,  曾根康子 ,  穗刈久实子

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H01L51/56

Abstract: 提供一种蒸镀掩模，其包括树脂掩模和金属层，所述树脂掩模具有与要蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部，所述金属层局部地位于所述树脂掩模的一面上。

公开(公告)号：CN107709602B

公开(公告)日：2020-10-13

申请号：CN201680036462.6

申请日：2016-06-29

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 武田利彦 ,  穗刈久实子 ,  曾根康子 ,  小幡胜也

IPC: C23C14/04 ,  B23K26/382 ,  C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明提供蒸镀掩模的制造方法，其包括：准备在用于得到树脂掩模的树脂板的一侧的面上设置有金属掩模、在该树脂板的另一侧的面上设置有以JIS Z‑0237:2009为基准的剥离强度为0.0004N/10mm以上且低于0.2N/10mm的保护片的蒸镀掩模准备体，相对于蒸镀掩模准备体，从金属掩模侧向树脂板照射激光，在该树脂板形成与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部，从形成有与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部的树脂掩模将保护片剥离。

公开(公告)号：CN109689922A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201780055858.X

申请日：2017-09-27

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 小幡胜也 ,  曾根康子 ,  穗刈久实子

IPC: C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/04 ,  C23C16/44 ,  H01L27/3244 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/50 ,  H01L51/5012 ,  H05B33/10

Abstract: 提供一种蒸镀掩模，其包括树脂掩模和金属层，所述树脂掩模具有与要蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部，所述金属层局部地位于所述树脂掩模的一面上。