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公开(公告)号：CN112267091B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202010959943.2
申请日：2016-06-29
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模的制造方法，其包括：准备在用于得到树脂掩模的树脂板的一侧的面上设置有金属掩模、在该树脂板的另一侧的面上设置有以JIS Z‑0237:2009为基准的剥离强度为0.0004N/10mm以上且低于0.2N/10mm的保护片的蒸镀掩模准备体，相对于蒸镀掩模准备体，从金属掩模侧向树脂板照射激光，在该树脂板形成与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部，从形成有与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部的树脂掩模将保护片剥离。
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公开(公告)号：CN112267091A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202010959943.2
申请日：2016-06-29
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模的制造方法，其包括：准备在用于得到树脂掩模的树脂板的一侧的面上设置有金属掩模、在该树脂板的另一侧的面上设置有以JIS Z‑0237:2009为基准的剥离强度为0.0004N/10mm以上且低于0.2N/10mm的保护片的蒸镀掩模准备体，相对于蒸镀掩模准备体，从金属掩模侧向树脂板照射激光，在该树脂板形成与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部，从形成有与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部的树脂掩模将保护片剥离。
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公开(公告)号：CN115110027A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210638781.1
申请日：2019-03-20
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供一种蒸镀掩模，其在树脂掩模(20)上设置有金属层(10)，其中，上述树脂掩模(20)具有为了形成蒸镀图案所必要的开口部(25)，树脂掩模(20)含有树脂材料，金属层(10)含有金属材料，将树脂材料的玻璃化转变温度(Tg)加上100℃而得到的温度设为上限温度时，在以线性膨胀的比例为纵轴、以温度为横轴的线性膨胀曲线中，用树脂掩模(20)的线性膨胀曲线在温度25℃～上限温度的范围内的积分值除以金属层(10)的线性膨胀曲线在温度25℃～上限温度的范围内的积分值而得到的值在0.55以上且1.45以下的范围内。
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公开(公告)号：CN111886357B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN201980019365.X
申请日：2019-03-20
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供一种蒸镀掩模，其在树脂掩模(20)上设置有金属层(10)，其中，上述树脂掩模(20)具有为了形成蒸镀图案所必要的开口部(25)，树脂掩模(20)含有树脂材料，金属层(10)含有金属材料，将树脂材料的玻璃化转变温度(Tg)加上100℃而得到的温度设为上限温度时，在以线性膨胀的比例为纵轴、以温度为横轴的线性膨胀曲线中，用树脂掩模(20)的线性膨胀曲线在温度25℃～上限温度的范围内的积分值除以金属层(10)的线性膨胀曲线在温度25℃～上限温度的范围内的积分值而得到的值在0.55以上且1.45以下的范围内。
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公开(公告)号：CN110382731B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN201880015841.6
申请日：2018-03-30
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 一种蒸镀掩模，其将设置有金属掩模开口部的金属掩模、和在与上述金属掩模开口部重合的位置设置有与蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部的树脂掩模层叠而成，从上述金属掩模开口部露出的上述树脂掩模的表面的算术平均高度(Sa)为0.8μm以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111886357A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201980019365.X
申请日：2019-03-20
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供一种蒸镀掩模，其在树脂掩模(20)上设置有金属层(10)，其中，上述树脂掩模(20)具有为了形成蒸镀图案所必要的开口部(25)，树脂掩模(20)含有树脂材料，金属层(10)含有金属材料，将树脂材料的玻璃化转变温度(Tg)加上100℃而得到的温度设为上限温度时，在以线性膨胀的比例为纵轴、以温度为横轴的线性膨胀曲线中，用树脂掩模(20)的线性膨胀曲线在温度25℃～上限温度的范围内的积分值除以金属层(10)的线性膨胀曲线在温度25℃～上限温度的范围内的积分值而得到的值在0.55以上且1.45以下的范围内。
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公开(公告)号：CN112534080B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN201980051186.4
申请日：2019-08-05
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 蒸镀掩模的制造方法具备下述工序：树脂层形成工序，将树脂溶液涂布到基板的一个面上，由此在基板的一个面上形成树脂层；去除基板的至少一部分，由此在树脂层形成树脂层不与基板的一个面接触的非接触区域的工序；在树脂层形成非接触区域后，使树脂层与液体接触、或者将树脂层加热的工序；和树脂层加工工序，在使树脂层与液体接触、或者将树脂层加热的工序后，对树脂层进行加工，由此在树脂层形成第2开口部。
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公开(公告)号：CN112176284B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202010960637.0
申请日：2016-06-29
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模的制造方法，其包括：准备在用于得到树脂掩模的树脂板的一侧的面上设置有金属掩模、在该树脂板的另一侧的面上设置有以JIS Z‑0237:2009为基准的剥离强度为0.0004N/10mm以上且低于0.2N/10mm的保护片的蒸镀掩模准备体，相对于蒸镀掩模准备体，从金属掩模侧向树脂板照射激光，在该树脂板形成与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部，从形成有与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部的树脂掩模将保护片剥离。
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公开(公告)号：CN109328242B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201780037694.8
申请日：2017-06-27
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 一种蒸镀掩膜，通过具有与所要蒸镀制作的图案对应的多个树脂掩膜开口部的树脂掩膜和具有金属掩膜开口部的金属掩膜以所述树脂掩膜开口部和所述金属掩膜开口部重合的方式层叠而成，在该蒸镀掩膜中，使俯视所述金属掩膜时的所述金属掩膜开口部的形状成为以多边形为基本形状，并且增加了使该多边形的整周的长度延长的延长部的形状。
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公开(公告)号：CN112534080A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201980051186.4
申请日：2019-08-05
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 蒸镀掩模的制造方法具备下述工序：树脂层形成工序，将树脂溶液涂布到基板的一个面上，由此在基板的一个面上形成树脂层；去除基板的至少一部分，由此在树脂层形成树脂层不与基板的一个面接触的非接触区域的工序；在树脂层形成非接触区域后，使树脂层与液体接触、或者将树脂层加热的工序；和树脂层加工工序，在使树脂层与液体接触、或者将树脂层加热的工序后，对树脂层进行加工，由此在树脂层形成第2开口部。
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