公开(公告)号：CN112267091B

公开(公告)日：2023-02-17

申请号：CN202010959943.2

申请日：2016-06-29

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 武田利彦 ,  穗刈久实子 ,  曾根康子 ,  小幡胜也

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H10K71/16 ,  H10K50/10

Abstract: 本发明提供蒸镀掩模的制造方法，其包括：准备在用于得到树脂掩模的树脂板的一侧的面上设置有金属掩模、在该树脂板的另一侧的面上设置有以JIS Z‑0237:2009为基准的剥离强度为0.0004N/10mm以上且低于0.2N/10mm的保护片的蒸镀掩模准备体，相对于蒸镀掩模准备体，从金属掩模侧向树脂板照射激光，在该树脂板形成与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部，从形成有与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部的树脂掩模将保护片剥离。

公开(公告)号：CN112267091A

公开(公告)日：2021-01-26

申请号：CN202010959943.2

申请日：2016-06-29

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 武田利彦 ,  穗刈久实子 ,  曾根康子 ,  小幡胜也

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H01L51/00 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供蒸镀掩模的制造方法，其包括：准备在用于得到树脂掩模的树脂板的一侧的面上设置有金属掩模、在该树脂板的另一侧的面上设置有以JIS Z‑0237:2009为基准的剥离强度为0.0004N/10mm以上且低于0.2N/10mm的保护片的蒸镀掩模准备体，相对于蒸镀掩模准备体，从金属掩模侧向树脂板照射激光，在该树脂板形成与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部，从形成有与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部的树脂掩模将保护片剥离。

公开(公告)号：CN112176284B

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN202010960637.0

申请日：2016-06-29

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 武田利彦 ,  穗刈久实子 ,  曾根康子 ,  小幡胜也

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H10K71/00 ,  H10K59/10

Abstract: 本发明提供蒸镀掩模的制造方法，其包括：准备在用于得到树脂掩模的树脂板的一侧的面上设置有金属掩模、在该树脂板的另一侧的面上设置有以JIS Z‑0237:2009为基准的剥离强度为0.0004N/10mm以上且低于0.2N/10mm的保护片的蒸镀掩模准备体，相对于蒸镀掩模准备体，从金属掩模侧向树脂板照射激光，在该树脂板形成与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部，从形成有与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部的树脂掩模将保护片剥离。

公开(公告)号：CN109328242B

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN201780037694.8

申请日：2017-06-27

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 川崎博司 ,  曾根康子 ,  穗刈久实子

IPC: C23C14/04 ,  C23C16/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 一种蒸镀掩膜，通过具有与所要蒸镀制作的图案对应的多个树脂掩膜开口部的树脂掩膜和具有金属掩膜开口部的金属掩膜以所述树脂掩膜开口部和所述金属掩膜开口部重合的方式层叠而成，在该蒸镀掩膜中，使俯视所述金属掩膜时的所述金属掩膜开口部的形状成为以多边形为基本形状，并且增加了使该多边形的整周的长度延长的延长部的形状。

公开(公告)号：CN112176284A

公开(公告)日：2021-01-05

申请号：CN202010960637.0

申请日：2016-06-29

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 武田利彦 ,  穗刈久实子 ,  曾根康子 ,  小幡胜也

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H01L27/32 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供蒸镀掩模的制造方法，其包括：准备在用于得到树脂掩模的树脂板的一侧的面上设置有金属掩模、在该树脂板的另一侧的面上设置有以JIS Z‑0237:2009为基准的剥离强度为0.0004N/10mm以上且低于0.2N/10mm的保护片的蒸镀掩模准备体，相对于蒸镀掩模准备体，从金属掩模侧向树脂板照射激光，在该树脂板形成与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部，从形成有与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部的树脂掩模将保护片剥离。

公开(公告)号：CN109328242A

公开(公告)日：2019-02-12

申请号：CN201780037694.8

申请日：2017-06-27

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 川崎博司 ,  曾根康子 ,  穗刈久实子

IPC: C23C14/04 ,  C23C16/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 一种蒸镀掩膜，通过具有与所要蒸镀制作的图案对应的多个树脂掩膜开口部的树脂掩膜和具有金属掩膜开口部的金属掩膜以所述树脂掩膜开口部和所述金属掩膜开口部重合的方式层叠而成，在该蒸镀掩膜中，使俯视所述金属掩膜时的所述金属掩膜开口部的形状成为以多边形为基本形状，并且增加了使该多边形的整周的长度延长的延长部的形状。

公开(公告)号：CN113463017A

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202110612638.0

申请日：2017-09-27

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 小幡胜也 ,  曾根康子 ,  穗刈久实子

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H01L51/00 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 提供一种蒸镀掩模，其包括树脂掩模和金属层，所述树脂掩模具有与要蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部，所述金属层局部地位于所述树脂掩模的一面上。

公开(公告)号：CN109689922B

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN201780055858.X

申请日：2017-09-27

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 小幡胜也 ,  曾根康子 ,  穗刈久实子

IPC: C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 提供一种蒸镀掩模，其包括树脂掩模和金属层，所述树脂掩模具有与要蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部，所述金属层局部地位于所述树脂掩模的一面上。

公开(公告)号：CN107709602A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680036462.6

申请日：2016-06-29

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 武田利彦 ,  穗刈久实子 ,  曾根康子 ,  小幡胜也

IPC: C23C14/04 ,  B23K26/382 ,  C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明提供蒸镀掩模的制造方法，其包括：准备在用于得到树脂掩模的树脂板的一侧的面上设置有金属掩模、在该树脂板的另一侧的面上设置有以JIS Z-0237:2009为基准的剥离强度为0.0004N/10mm以上且低于0.2N/10mm的保护片的蒸镀掩模准备体，相对于蒸镀掩模准备体，从金属掩模侧向树脂板照射激光，在该树脂板形成与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部，从形成有与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部的树脂掩模将保护片剥离。

公开(公告)号：CN113463029A

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202110612782.4

申请日：2017-09-27

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 小幡胜也 ,  曾根康子 ,  穗刈久实子

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/04 ,  H01L51/56 ,  H01L27/32

Abstract: 提供一种蒸镀掩模，其包括树脂掩模和金属层，所述树脂掩模具有与要蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部，所述金属层局部地位于所述树脂掩模的一面上。