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公开(公告)号：CN110747434B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201911233546.0
申请日：2019-12-05
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种分体式导电陶瓷舟，属于金属热蒸发技术领域，装置包含石墨加热器和石墨陶瓷舟两部分；石墨加热器为长方体，石墨加热器中间部分为连续的折回板条，石墨加热器两端顶部均设有U型凸台，两个U型凸台的U型开口相向设置，石墨加热器的两端与电源进行连接；石墨陶瓷舟为长方体板，上部设有凹槽，凹槽用于盛融化的金属料，石墨陶瓷舟底部轮廓与石墨加热器两个U型凸台内的轮廓一致。陶瓷舟的加热部分可以单独进行设计，热器电路的横截面积整体变小，故陶瓷舟加热部分的电阻增大，增加陶瓷舟加热部分的电阻，从而增加陶瓷舟加热的稳定性。
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公开(公告)号：CN108863443B
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201810753176.2
申请日：2018-07-10
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种平面复合加热器的制备方法，制备方法包括：(1)平面加热器的基体为热解氮化硼基体，将热解氮化硼基体表面打磨至基体表面粗糙度为Ra：0.5～4.0微米；然后涂覆一层厚度为10‑300μm的热解石墨涂层，涂覆过程中控制温度为1200‑1700℃，压力为100‑1000Pa，表面加工花纹，将加工完花纹后的基本再次装入CVD反应炉内，涂覆一层厚度为10‑300μm热解氮化硼涂层，冷却，即得平面复合加热器。本发明制备的平面复合加热器可以在1500℃以内连续升温降温400‑600次不起层、不分层，有效地提高了加热器的使用寿命，并且加热效率保持在90％以上，加热均匀性可以控制在10℃以内。
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公开(公告)号：CN112318220A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202010918642.5
申请日：2020-09-04
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种夹持杆表面清洗方法，在超声清洗过程中创造性地加入金刚砂，利用金刚砂在超声振动的作用下与夹持杆表面充分、全方位、立体地摩擦接触下，利用其强大的接触摩擦力有效地去除残渣和毛刺，使夹持杆表面能够达到一个较高的洁净度标准，相比传统方法而言，大大提高了洁净度标准，使夹持杆达到无残渣及毛刺的地步。本发明夹持杆表面清洗方法，在金刚砂与夹持杆的超声清洗过程中，还能够增加夹持杆的表面粗糙度，夹持杆在后期进行蒸镀作业时不易起层，提高了产品合格率。
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公开(公告)号：CN112317457A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011028555.9
申请日：2020-09-27
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种氧化铝陶瓷制品的清洗方法，包括步骤如下：(1)将氧化铝陶瓷制品表面采用氢氧焰烧灼，然后冷却；(2)将冷却后的氧化铝陶瓷制品用无水乙醇浸泡；(3)将无水乙醇浸泡后的氧化铝陶瓷制品用去离子水超声波清洗、去离子水冲洗，即完成氧化铝陶瓷制品的清洗。本发明的氧化铝陶瓷的清洗方法，针对含单质碳的污染物，采用了1100℃‑1500℃氢氧焰烧灼工艺，有效去除氧化铝陶瓷表面含碳污染物，提高清洗效率，提高氧化铝陶瓷表面洁净度的同时，不会对陶瓷制品有损伤。
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公开(公告)号：CN112264647A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202010919999.5
申请日：2020-09-04
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种弧型夹持杆的加工方法，该方法包括1)先利用刀具切削出长方体形氮化硼毛坯；2)将毛坯安装在铣床上，利用磨削刀具对毛坯的六个面磨削铣平加工出T型面；3)将加工出T型面的毛坯上下颠倒，再次安装在铣床上，利用铣床磨具将高度方向的余量磨削掉，得到T型夹持杆成品；4)将T型夹持杆成品上下颠倒，再次安装在铣床上，利用弧形刀具将T型夹持杆的小端加工出凹弧面；5)将步骤4)加工后的T型夹持杆成品上下颠倒，再次安装在铣床上，利用拉削刀具将T型夹持杆的大端加工出凸弧面，最终得到弧型夹持杆成品。本发明实现了弧型夹持杆加工的国产化，保证了加工精度要求，实现慢波电路的可靠装配。
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公开(公告)号：CN110938801B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201911287026.8
申请日：2019-12-14
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于蒸镀设备上的金属点源及其应用，包括：金属加热器连接于保温板内壁，保温板外设有冷却水套，冷却水套底部连接有底环，大托板位于底环内并通过底环底部的小托板支撑连接，大托板上方设置有底板，底板支撑连接所述的保温板；外接电极和热电偶分别贯穿连接法兰，外接电极顶端与金属加热器底端电连接，热电偶顶端位于保温板内部，冷却水管的上下两端分别与冷却水套、连接法兰连接。本发明中电热丝只设置在侧面，且采用分区加热的方式，加热区域的热量可以精确控制，加热更加均匀。本发明中只在点源上口位置对坩埚进行支撑，避免坩埚其它部位通过绝缘片和支撑架进行热传导，从而控温更加精确均匀。
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公开(公告)号：CN111809164A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010569716.9
申请日：2020-06-20
申请人： 山东国晶新材料有限公司
IPC分类号： C23C16/44
摘要： 本发明涉及一种提高石墨炉具清理效率的处理方法，该方法包括(1)石墨材质炉具机械加工控制表面粗糙度；(2)确定炉具上主要沉积部位；(3)对沉积部位的炉具表面进行粗抛光，控制一定的粗糙度；(4)粗抛后再进行精抛光，控制一定的粗糙度。本发明提高石墨炉具清理效率的处理方法，能够准确识别炉具表面涂层沉积部位，严格控制此类部位的表面粗糙度，通过降低表面粗糙度，在降低涂层与炉具表面的粘结性的同时又能保证涂层在炉内不会因自然剥落而影响产品的沉积；使炉具清理效率提高50％-70％，炉具损耗速率降低30％-50％，产品良品率提升1-2倍。
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公开(公告)号：CN110592557B
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201910998143.9
申请日：2019-10-21
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器，属于加热器技术领域，装置包含PBN基体、PG涂层电路以及PBN涂层保护层；PBN基体内部中空，PBN基体内壁上设有PG涂层电路，PG涂层电路与PBN基体的内表面贴合，PBN涂层保护层附于PG涂层电路上，通过化学气相沉积制备PBN基体，通过雕刻沉积PG涂层制备电路，最终得到内表面加热的加热器，大幅度提高加热器加热的均匀性，热量损失小，耗能低。
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公开(公告)号：CN107793172B
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201711174889.5
申请日：2017-11-22
申请人： 山东国晶新材料有限公司
IPC分类号： C04B35/83 , C04B35/622 , C04B41/85
摘要： 本发明提供一种长纤碳陶紧固件的制备方法，包括步骤：将长纤维无纬布和短纤维网胎交替铺层，相邻长纤维无纬布层间纤维方向的夹角为90°，每铺设一层短纤维网胎针刺一遍，编制成三维针刺预制体；于前驱体气体中，通过压差式化学气相渗透增密至1.4g/cm3～1.5g/cm3，得C/C复合体；然后在保护气体下进行高温热处理；最后置于硅粉中进行高温熔融渗硅，经机械加工成型制得密度在2.2～2.4g/cm3的长纤碳陶紧固件。本发明的方法制备周期短，残余孔隙率低，增密幅度快，成本低，绿色环保；制备得到的碳陶材质紧固件强度高，体积密度大，耐高温、耐腐蚀性能较好。
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公开(公告)号：CN110016652B
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201910292057.6
申请日：2019-04-12
申请人： 山东国晶新材料有限公司
IPC分类号： C23C16/34 , C23C16/455 , H01J9/00
摘要： 本发明涉及一种用于制作夹持杆的热解氮化硼板材的制备方法及其应用，属于化学气相沉积技术领域，包括(1)设计板材的模具，材质为石墨，形状为长方体，模具的长宽面和侧面上均开设有多条均匀分布的凹槽(2)将模具打磨，使得表面粗糙度Ra在0.5～4mm之间；(3)将打磨好的模具装入CVD反应炉内竖直悬挂，将模具沿中心位置旋转，在温度1850～2100℃，压力30～300Pa条件下，以氮气作为载气，将NH3：BCl3按流量比为1：1～10：1的比例通入到反应炉内，进行热解氮化硼板材的沉积；(4)进行控温降温，热解氮化硼板材出炉，加工成加持杆。本发明的制备方法得到的板材，具有低翘曲、层结构规整且连续的优点。
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