-
公开(公告)号：CN220318013U
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202321973820.X
申请日：2023-07-25
申请人： 广东芯华镁半导体技术有限公司
发明人： 吴攀
摘要： 本实用新型旨在提供一种半导体晶圆镀铜槽结构，其包括镀槽组件、摇摆组件及外加热组件，镀槽组件包括外槽体及内槽体，内槽体内开设有电镀腔，内槽体上挂设有阴极挂具及阳极板，阴极挂具与阳极板位于电镀腔内，摇摆组件包括摆杆、摆板及摇摆驱动件，摆杆转动设置于外槽体上，摆板设置于摆杆上，且摆板位于阴极挂具及阳极板之间，并且摆板位于电镀腔内，摇摆驱动件与摆杆连接，摇摆驱动件用于带动摆杆转动，以使摆杆带动摆板在电镀腔内摆动，外加热组件包括储液箱、加热网、两个通管及两个循环泵，加热网设置于储液箱的底部，两个通管均与储液箱连通，其中的一个通管通过其中的一个循环泵与外槽体连通，另一个通管通过另一个循环泵与内槽体连通。
-
公开(公告)号：CN221727063U
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202323412279.8
申请日：2023-12-13
申请人： 广东芯华镁半导体技术有限公司
发明人： 吴攀
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，包括槽体、冰水机和热水器，所述冰水机和热水器之间设有两个连接管，两个所述连接管上分别固定连接有进水管和出水管，所述槽体的侧壁内开设有回形腔，本实用新型采用热水器将热水通过进水管向螺旋管和蛇形管内输送，最后经过出水管流出，以此形成热水循环，通过热传递的方式对槽体内的混合溶液加温，再通过冰水机向进水管内输送冷水，冷水经过螺旋管和蛇形管输送，最后通过出水管流出，以此形成冷水循环，通过热传递的方式对槽体内的混合溶液降温，螺旋管和蛇形管均设置在槽体的内部，便于对槽体内的混合溶液控温，从而提高槽体的降温效果。
-
公开(公告)号：CN221398129U
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202323532375.6
申请日：2023-12-22
申请人： 广东芯华镁半导体技术有限公司
发明人： 吴攀
摘要： 本实用新型属于半导体晶圆领域，尤其是一种半导体晶圆环保电金槽，针对现有的半导体晶圆在电镀过程中，不便于对晶圆进行快速定位，且不便于对晶圆进行均匀电镀的问题，现提出如下方案，其包括槽体，所述槽体的外侧固定安装有加热槽，加热槽的底部固定安装有底座，底座内开设有安装槽，加热槽的顶部固定安装有支架，支架的一侧连接有电控箱，加热槽的一侧连接有热水泵、过滤机和温控装置，槽体的两侧内壁分别连接有阴极和阳极，支架的顶部开设有安装口，安装口内滑动安装有安装座，本实用新型能够在使用过程中，便于对晶圆进行快速定位，且便于对晶圆进行均匀电镀，结构简单，使用方便。
-
公开(公告)号：CN221398048U
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202323484063.2
申请日：2023-12-19
申请人： 广东芯华镁半导体技术有限公司
发明人： 吴攀
摘要： 本实用新型属于半导体晶圆化学镍槽技术领域，尤其是一种半导体晶圆化学镍槽，针对现有技术中，由于药水长时间静态，导致药水沉淀，从而影响了化镀的质量的问题，现提出如下方案，其包括槽体，所述槽体内固定安装有放置架，槽体的底部内壁上且位于放置架的下方固定安装有防水箱，防水箱内转动连接有驱动杆，驱动杆的顶端固定连接有多边块，驱动杆上套设有复位弹簧，所述多边块的外壁上滑动连接有旋转轴，复位弹簧位于旋转轴内，所述驱动杆的顶端固定连接有螺旋叶片，所述槽体内设有往复机构。本实用新型结构简单，通过往复机构，使得对药水均匀搅拌，从而避免其沉淀，影响化镀的质量的情况，方便人们使用。
-
-
-
搜索结果
14 条记录 (耗时 0.04 秒)
