公开(公告)号：CN101519794A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200910118209.7

申请日：2009-02-25

Applicant: 揖斐电株式会社

Inventor： 加藤秀树 ,  鹿野治英 ,  安藤友行 ,  安田正弘

IPC: C30B15/10 ,  C04B35/83

CPC classification number: C30B15/10 ,  C04B35/6269 ,  C04B35/83 ,  C04B37/008 ,  C04B2235/5256 ,  C04B2235/616 ,  C04B2237/361 ,  C04B2237/704 ,  C04B2237/76 ,  C04B2237/78 ,  C30B35/002 ,  D04C1/02 ,  Y10T117/10

Abstract: 本发明涉及坩埚保持部件及其制造方法。本发明提供一种用于保持容纳硅熔融物的石英坩埚的坩埚保持部件。所述坩埚保持部件包含网状体和基质，所述网状体通过编织多根绳股而形成，所述绳股各自包含多根碳纤维，所述基质充填在所述碳纤维之间的空隙中。所述网状体具有三轴编织结构，该结构包含：在与所述网状体的中心轴相同的平面内对齐的多根纵向绳股；沿相对于所述中心轴倾斜第一角度的第一方向对齐的多根第一绳股；和沿相对于所述中心轴倾斜第二角度的第二方向对齐的多根第二绳股，其中，所述第二角度与所述第一角度相同。所述第一方向与所述第二方向相对于所述中心轴相反。