公开(公告)号：CN104076052B

公开(公告)日：2019-02-12

申请号：CN201410112835.6

申请日：2014-03-25

申请人： 日本株式会社日立高新技术科学

发明人： 广瀬龙介 ,  高桥春男 ,  的场吉毅 ,  田村浩一

IPC分类号： G01N23/223

摘要： 本发明提供荧光X射线分析装置，其能够通过比较简单的结构和控制来抑制输出强度的变动。该荧光X射线分析装置（1）具有：X射线源（2），其对试样S照射原级X射线；聚光元件（3），其会聚从X射线源照射的原级X射线，减小对于试样的照射面积；检测器（4），其对从被照射原级X射线的试样产生的荧光X射线进行检测；筐体（5），其收纳X射线源和聚光元件；温度传感器（6），其设置在X射线源和X射线源周围的至少一方；外气用扇（7），其在筐体上至少设置有一个，能够更换内部与外部的空气；以及控制部（C），其根据由温度传感器检测出的温度信息对外气用扇进行驱动，将X射线源周围的气氛温度调整为恒定的温度。

公开(公告)号：CN105548228B

公开(公告)日：2018-07-24

申请号：CN201510697826.2

申请日：2015-10-23

申请人： 日本株式会社日立高新技术科学

发明人： 广濑龙介 ,  高桥春男

IPC分类号： G01N23/223 ,  G01B15/02

CPC分类号： H01J35/16 ,  G01N23/223 ,  H01J35/06 ,  H01J35/08 ,  H05G1/02

摘要： 本发明提供X射线产生源和具有其的荧光X射线分析装置。该X射线产生源能够通过简易结构抑制X射线产生位置与用于限定X射线照射区域的机构的位置偏移，其具备对试样(S)照射一次X射线(X1)的X射线管球(2)、收纳X射线管球的壳体(3)、限制一次X射线对于试样的照射面积的X射线照射区域限定机构(4)、以及在壳体上保持X射线照射区域限定机构的机构保持部(5)，X射线管球具备筐体(6)、产生电子线的电子线源(7)、及基端固定在筐体上且在突出的前端部被照射电子线的靶部(8)，机构保持部具有在靶部的基端的正下方固定在壳体上的基端固定部(5a)、及从基端固定部沿着靶部的突出方向延伸并支承X射线照射区域限定机构的延伸支承部(5b)。