光调制器
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107924075B

    公开(公告)日:2021-03-05

    申请号:CN201680045508.0

    申请日:2016-08-03

    IPC分类号: G02F1/025 G02F1/225

    摘要: 提供一种抑制因由掩模板偏离等引起的pn结位置的偏离而产生的相位调制时的啁啾且波形品质良好的光调制器。光调制器具备:用于施加一对差动信号电压的两根RF电极;提供固定电位的至少一根固定电位用电极;与所述RF电极或固定电位用电极相接的第一导电型半导体层和第二导电型半导体层;以及光调制部,形成有以从一根光波导分支出来并沿着作为所述第一和第二导电型半导体层的边界的pn结部的方式配置的两根光波导,其特征在于,所述半导体层和电极配置为:由所述两根光波导中的所述pn结部的位置与设计值的偏离导致的相位变化的积分量,在两根光波导之间相等。

    光调制器
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108780235A

    公开(公告)日:2018-11-09

    申请号:CN201780017852.3

    申请日:2017-03-14

    IPC分类号: G02F1/015 G02F1/025

    CPC分类号: G02F1/015 G02F1/025

    摘要: 在现有技术的具有CPW电极构造的双电极的Si光调制器中,调制频率特性会因在两个接地电极传输的返回电流相位差而劣化。为了防止该劣化,缩短调制器长度而在相位差产生前使信号传输结束、或减小光波导pn结部电容与不经由RF电极以及光波导的接地电极间电容的差,来减小相位差。但是,当调制器长度缩短时,向光波导的施加电场会减少,调制效率会降低。空气桥、电线布线与CMOS兼容处理不匹配。本发明的光调制器具备配置于基板内的RF电极与光波导之间的、连接两个接地电极的桥布线。通过桥布线,CPW的两个接地电极间的电位相等,会消除由向RF电极的高频电信号感应出的在两个接地电极传输的返回电流相位差。能制作抑制高频特性劣化的Si光调制器。也能解决制作工序的在注入时掩模偏离的问题。