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公开(公告)号：CN101294984A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200810093555.X
申请日：2008-04-24
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种探针装置及检查装置，使薄膜探针的各触头与被检查体的电极确实地接触。该探针装置包括：固定于主体框架侧的探针基座，支承薄膜探针并使其与被检查体的电极进行电接触的探针块，在上述薄膜探针的各触头与被检查体的电极接触的状态下、以均匀的压力对该薄膜探针进行加压的加压机构；上述加压机构包括顶端加压部，该顶端加压部直接与上述薄膜探针接触，在该薄膜探针的各触头与上述被检查体电极接触的状态下，对该薄膜探针进行加压；上述顶端加压部由对上述薄膜探针进行加压的加压板、使利用该加压板施加的压力变均匀的弹性体、设置于上述薄膜探针的上述触头一侧且与上述弹性体互相结合使施加到上述各触头上的压力变均匀的支承薄膜构成。
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