制造六氟乙烷的方法及其用途

    公开(公告)号:CN1839108A

    公开(公告)日:2006-09-27

    申请号:CN200480023821.1

    申请日:2004-08-09

    Abstract: 一种制造六氟乙烷的方法,包括将含有各具有两个碳原子的氯化合物的粗制六氟乙烷蒸馏以便将六氟乙烷作为顶流从蒸馏塔顶部馏出并将含有氯化合物的六氟乙烷混合物作为底流从蒸馏塔底部分离的步骤,和在氟化催化剂的存在下、在300至500℃的温度下将底流与氟化氢在气相中接触以便将氯化合物氟化的步骤。该方法提供了可主要在半导体器件生产过程中用作清洁气体的六氟乙烷。

    氟甲烷的制备方法和产品

    公开(公告)号:CN100562510C

    公开(公告)日:2009-11-25

    申请号:CN200580031247.9

    申请日:2005-09-01

    Abstract: 本发明涉及使氯甲烷和氟化氢在气相中在氟化催化剂存在下反应,将所得的含有氯甲烷和氯化氢的混合物加入蒸馏塔中,用于作为塔顶馏分分离和提纯氯甲烷和氯化氢。所以,可以有效地制备高纯度的HFC-41,其适合作为半导体蚀刻气体。

    氢氟烃的制造方法,其制品及其用途

    公开(公告)号:CN1330615C

    公开(公告)日:2007-08-08

    申请号:CN200480001220.0

    申请日:2004-09-09

    CPC classification number: C07C17/206 C07C19/08

    Abstract: 使卤代甲烷混合物和氟化氢,在气相中在氟化催化剂的存在下在单一的反应带中反应,将生成的气体导入蒸馏塔中进行分离精制后,获得2种或2种以上的氢氟烃。根据本发明,可以有利于工业地制造在半导体器件的制造工艺中可以作为蚀刻气体或清洗气体而使用的,高纯度的氢氟烃类、特别是氟代甲烷、二氟甲烷。

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