氢氟烃的制造方法,其制品及其用途

    公开(公告)号:CN1701056A

    公开(公告)日:2005-11-23

    申请号:CN200480001220.0

    申请日:2004-09-09

    CPC classification number: C07C17/206 C07C19/08

    Abstract: 使卤代甲烷混合物和氟化氢,在气相中在氟化催化剂的存在下在单一的反应带中反应,将生成的气体导入蒸馏塔中进行分离精制后,获得2种或2种以上的氢氟烃。根据本发明,可以有利于工业地制造在半导体器件的制造工艺中可以作为蚀刻气体或清洗气体而使用的,高纯度的氢氟烃类、特别是氟代甲烷、二氟甲烷。

    氟甲烷的制备方法和产品

    公开(公告)号:CN101023051A

    公开(公告)日:2007-08-22

    申请号:CN200580031247.9

    申请日:2005-09-01

    Abstract: 本发明涉及使氯甲烷和氟化氢在气相中在氟化催化剂存在下反应,将所得的含有氯甲烷和氯化氢的混合物加入蒸馏塔中,用于作为塔顶馏分分离和提纯氯甲烷和氯化氢。所以,可以有效地制备高纯度的HFC-41,其适合作为半导体蚀刻气体。

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