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公开(公告)号:CN306929128S
公开(公告)日:2021-11-09
申请号:CN202130077791.9
申请日:2021-02-03
申请人: 朗姆研究公司
设计人: 亚伦·布莱克·米勒 , 雷切尔·E·巴策尔 , 亚伦·德宾 , 维韦卡南丹·克里希纳斯瓦米
摘要: 1.本外观设计产品的名称:喷头(高密度孔型)。2.本外观设计产品的用途:本外观设计产品用于将反应剂输送到用于生产硅晶片的沉积室或蚀刻室。3.本外观设计产品的设计要点:在于本外观设计产品的形状、图案及其结合。4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。