水质评价方法、用该方法的超纯水评价装置及制造系统

    公开(公告)号:CN1987457B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200610168085.X

    申请日:2006-12-18

    Abstract: 本发明提供水质评价方法、使用该水质评价方法的超纯水评价装置以及备有该超纯水评价装置的超纯水制造系统,所述水质评价方法以对硅物质的影响度作为指标、简易且高灵敏度地对作为制造半导体或液晶用的洗涤水而使用的超纯水的腐蚀性进行评价。使超纯水制造装置制造的超纯水等试样水与硅物质接触,测定与该硅物质接触后的试样水的溶解氢浓度,算出相对于与该硅物质接触前的上述试样水的溶解氢浓度的提高部分,基于该溶解氢浓度的提高部分,判断所述试样水是否具有腐蚀硅表面的性质。

    过氧化氢水处理装置
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102361824A

    公开(公告)日:2012-02-22

    申请号:CN201080013120.5

    申请日:2010-03-30

    Abstract: 本发明提供一种即使是含有%级的较高浓度的过氧化氢的排水,也可连续运转且进行稳定且有效率的处理的构成简易且较为小型的过氧化氢水处理装置。本发明的过氧化氢水处理装置,其使被处理水与过氧化氢分解催化剂接触,将该被处理水中的过氧化氢分解成氧和水,从而,获得处理水,其特征在于,具有:过氧化氢分解反应器(2),其具有该被处理水的导入口与处理水的排出口,在内部被填充有过氧化氢分解催化剂(1);及气液分离器(3),其中导入该过氧化氢分解反应器(2)的流出水,并且,该气液分离器(3)是由在上部连接排气配管(13)、在下部连接排水配管(14)的筒状容器(4)所构成,在该筒状容器(4)的侧部导入前述流出水。

    水质评价方法、用该方法的超纯水评价装置及制造系统

    公开(公告)号:CN1987457A

    公开(公告)日:2007-06-27

    申请号:CN200610168085.X

    申请日:2006-12-18

    Abstract: 本发明提供水质评价方法、使用该水质评价方法的超纯水评价装置以及备有该超纯水评价装置的超纯水制造系统,所述水质评价方法以对硅物质的影响度作为指标、简易且高灵敏度地对作为制造半导体或液晶用的洗涤水而使用的超纯水的腐蚀性进行评价。使超纯水制造装置制造的超纯水等试样水与硅物质接触,测定与该硅物质接触后的试样水的溶解氢浓度,算出相对于与该硅物质接触前的上述试样水的溶解氢浓度的提高部分,基于该溶解氢浓度的提高部分,判断所述试样水是否具有腐蚀硅表面的性质。

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