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公开(公告)号：CN101922925B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201010202983.9
申请日：2010-06-10
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明公开了一种圆度测量设备，包括：旋转台，被测量物体被装载于该旋转台上；接触型触针，该接触型触针被构造成倾斜地接触被测量物体的基本上圆形的被测量表面；保持件，该保持件被构造成在预定行程范围内保持所述触针，使得所述触针的倾斜角可变；位移探测器，该位移探测器被构造成探测所述触针的倾斜角的位移，该位移是由触针和被测量表面之间的接触所造成；以及控制器，该控制器被构造成：基于位移探测器的输出估计触针顶端的位置；以及将该位置的最佳行程范围指示给保持件。
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公开(公告)号：CN108931225B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201810510846.8
申请日：2018-05-24
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供一种表面性状测量装置，其中，更换测量器容易且安全。能够通过将测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器来更换测量器。测量器包括支架，并且支架包括用于将信号传送到测量器和从测量器接收信号以及对测量器给电的第一连接器。驱动机构部包括支撑框架，支架可拆卸地安装到支撑框架，并且支撑框架包括电连接到第一连接器的第二连接器。在第一连接器与第二连接器连接的状态下，信号在第一连接器与第二连接器之间传送和接收，第二连接器对第一连接器给电。第一连接器和第二连接器能够热插拔。即，当测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器时，测量器和驱动机构部能够在通电的情况下被插入和移除。
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公开(公告)号：CN111089528A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201911018660.1
申请日：2019-10-24
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 中山树
Abstract: 本发明提供一种表面性状测定装置及其控制方法，抑制测定臂的落下从而使触针不与测定对象发生撞击。表面性状测定装置具有以能够进行圆弧运动的方式被支承的测定臂、设置于测定臂的顶端的触针、检测测定臂的位移的位移检测器以及对测定臂向圆弧运动方向施力来施加测定力的测定力施加单元(音圈马达)。控制装置具备输出用于指示测定力的朝向和大小的测定力指令的中央控制部以及对由测定力施加单元产生的测定力的朝向和大小进行控制的测定力控制部。测定力控制部对来自位移检测器的位移检测信号进行监视，在测定臂的位移速度超过规定阈值的情况下，施加反馈以使测定力施加单元产生将测定臂的顶端向上方抬起的方向的力。
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公开(公告)号：CN107796352A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710775342.4
申请日：2017-08-31
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 一种圆度测量装置，包括：角度检测器，用于检测载物台相对于X轴方向的当前转动角度；操纵杆(外部操作器)，用于指示载物台的转动轴线的操作量；定心控制器，用于根据操作量和转动角度来计算CX轴移动量和CY轴移动量，并且基于所计算出的CX轴移动量和CY轴移动量来移动CX轴移动机构和CY轴移动机构；以及水平调整控制器，用于根据操作量和转动角度来计算LX轴倾斜量和LY轴倾斜量，并且基于所计算出的LX轴倾斜量和LY轴倾斜量来移动LX轴移动机构和LY轴移动机构。
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公开(公告)号：CN102679938B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201210059458.5
申请日：2012-03-08
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 中山树
IPC: G01B21/20
Abstract: 一种表面形貌测量装置，其包括：具有能够摆动的测量臂、设置于测量臂的末端的一对触针和被构造成检测测量臂的摆动量的检测单元的触针位移检测器；被构造成在其上载置被测量物体的台架；和被构造成引起检测器和台架之间的相对运动的相对运动机构。该装置包括：被构造成在测量臂在一个摆动方向上被施力的姿态和测量臂在另一个摆动方向上被施力的姿态之间转换测量臂的姿态的姿态转换机构；和被构造成当通过姿态转换机构转换测量臂的姿态时，将测量臂的姿态转换的转换速度控制为预定的速度的速度控制机构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102679938A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210059458.5
申请日：2012-03-08
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 中山树
IPC: G01B21/20
Abstract: 一种表面形貌测量装置，其包括：具有能够摆动的测量臂、设置于测量臂的末端的一对触针和被构造成检测测量臂的摆动量的检测单元的触针位移检测器；被构造成在其上载置被测量物体的台架；和被构造成引起检测器和台架之间的相对运动的相对运动机构。该装置包括：被构造成在测量臂在一个摆动方向上被施力的姿态和测量臂在另一个摆动方向上被施力的姿态之间转换测量臂的姿态的姿态转换机构；和被构造成当通过姿态转换机构转换测量臂的姿态时，将测量臂的姿态转换的转换速度控制为预定的速度的速度控制机构。
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公开(公告)号：CN101922925A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010202983.9
申请日：2010-06-10
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明公开了一种圆度测量设备，包括：旋转台，被测量物体被装载于该旋转台上；接触型触针，该接触型触针被构造成倾斜地接触被测量物体的基本上圆形的被测量表面；保持件，该保持件被构造成在预定行程范围内保持所述触针，使得所述触针的倾斜角可变；位移探测器，该位移探测器被构造成探测所述触针的倾斜角的位移，该位移是由触针和被测量表面之间的接触所造成；以及控制器，该控制器被构造成：基于位移探测器的输出估计触针顶端的位置；以及将该位置的最佳行程范围指示给保持件。
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公开(公告)号：CN111121597B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN201911044129.1
申请日：2019-10-30
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 中山树
Abstract: 本发明提供一种表面性状测定方法和表面性状测定装置，不利用测定臂的位移速度的监视以及施加于测定臂的测定力的控制就能够防止在测定时臂落下。使用表面性状测定装置，该表面性状测定装置具有被支承为以使触针(12)沿上下方向产生位移的方式自如摆动的臂(11)和使臂(11)转动来将触针(12)保持在规定高度的臂升降机(20)，将臂升降机(20)配置为能够将臂(11)保持在下限高度(L3)的状态，该下限高度(L3)为从规定的测定高度(L1)起的向下规定的落下量(F)的位置，之后，将臂(11)配置在下限高度(L3)且使触针(12)接触被测定物(W)，在该状态下对被测定物(W)的表面性状进行测定。
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公开(公告)号：CN107796352B
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201710775342.4
申请日：2017-08-31
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 一种圆度测量装置，包括：角度检测器，用于检测载物台相对于X轴方向的当前转动角度；操纵杆(外部操作器)，用于指示载物台的转动轴线的操作量；定心控制器，用于根据操作量和转动角度来计算CX轴移动量和CY轴移动量，并且基于所计算出的CX轴移动量和CY轴移动量来移动CX轴移动机构和CY轴移动机构；以及水平调整控制器，用于根据操作量和转动角度来计算LX轴倾斜量和LY轴倾斜量，并且基于所计算出的LX轴倾斜量和LY轴倾斜量来移动LX轴移动机构和LY轴移动机构。
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公开(公告)号：CN111121597A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911044129.1
申请日：2019-10-30
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 中山树
Abstract: 本发明提供一种表面性状测定方法和表面性状测定装置，不利用测定臂的位移速度的监视以及施加于测定臂的测定力的控制就能够防止在测定时臂落下。使用表面性状测定装置，该表面性状测定装置具有被支承为以使触针(12)沿上下方向产生位移的方式自如摆动的臂(11)和使臂(11)转动来将触针(12)保持在规定高度的臂升降机(20)，将臂升降机(20)配置为能够将臂(11)保持在下限高度(L3)的状态，该下限高度(L3)为从规定的测定高度(L1)起的向下规定的落下量(F)的位置，之后，将臂(11)配置在下限高度(L3)且使触针(12)接触被测定物(W)，在该状态下对被测定物(W)的表面性状进行测定。
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