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公开(公告)号：CN107816929B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201710822477.1
申请日：2017-09-13
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B5/20
Abstract: 圆度测量机(1)具有：基座；工作台(20)，其能够相对于基座进行旋转；探针(30)，其对载置于工作台(20)的工件(W)的表面进行检测；电动机(23)，其对工作台(20)进行旋转驱动；以及控制装置(50)，其对电动机(23)的旋转进行控制。控制装置(50)具有：启动电流检测部(541)，其能够检测电动机(23)的启动电流；以及加减速时间设定部(542)，其根据电动机(23)的启动电流来设定电动机(23)的加速时间和减速时间中的至少任一个。圆度测量机(1)能够将电动机(23)的加速时间或减速时间设定为与载置于工作台(20)的工件(W)的惯性矩相应的适当的长度。
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公开(公告)号：CN101893434B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201010189691.6
申请日：2010-05-24
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B5/201 , G01B21/047
Abstract: 一种圆度测定仪包括测头储放器和控制器。测头储放器可存放许多类型的测头，它们是按照测定标的各测定点的形状来制备的。测头储放器能够以每一测头可装在其上和可从其中取出的方式存放测头。此区域是根据转台和检测器驱动机构的操作范围来确定的。检测器驱动机构能够将检测器移动到测定区的外边。当给出测定指令时，控制装置进行测定标的圆度测定，同时控制转台和检测器驱动机构的操作。当给出测头替换指令时，控制装置在检测器主要装置与测头储放器之间进行测头替换操作，同时控制检测器驱动机构。
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公开(公告)号：CN101893434A
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN201010189691.6
申请日：2010-05-24
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B5/201 , G01B21/047
Abstract: 一种圆度测定仪包括测头储放器和控制器。测头储放器可存放许多类型的测头，它们是按照测定标的各测定点的形状来制备的。测头储放器能够以每一测头可装在其上和可从其中取出的方式存放测头。此区域是根据转台和检测器驱动机构的操作范围来确定的。检测器驱动机构能够将检测器移动到测定区的外边。当给出测定指令时，控制装置进行测定标的圆度测定，同时控制转台和检测器驱动机构的操作。当给出测头替换指令时，控制装置在检测器主要装置与测头储放器之间进行测头替换操作，同时控制检测器驱动机构。
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公开(公告)号：CN111089528B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN201911018660.1
申请日：2019-10-24
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 中山树
Abstract: 本发明提供一种表面性状测定装置及其控制方法，抑制测定臂的落下从而使触针不与测定对象发生撞击。表面性状测定装置具有以能够进行圆弧运动的方式被支承的测定臂、设置于测定臂的顶端的触针、检测测定臂的位移的位移检测器以及对测定臂向圆弧运动方向施力来施加测定力的测定力施加单元(音圈马达)。控制装置具备输出用于指示测定力的朝向和大小的测定力指令的中央控制部以及对由测定力施加单元产生的测定力的朝向和大小进行控制的测定力控制部。测定力控制部对来自位移检测器的位移检测信号进行监视，在测定臂的位移速度超过规定阈值的情况下，施加反馈以使测定力施加单元产生将测定臂的顶端向上方抬起的方向的力。
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公开(公告)号：CN103134458A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210476748.X
申请日：2012-11-21
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种表面形貌测量设备，其包括：测量臂表格，对于附接有具有不同质量的第二测量臂的各类型的测量臂，该测量臂表格存储整个测量臂的质量、从支撑点到触针的臂长以及测量臂在水平姿态的水平重心和竖直重心；测量臂指定部；倾角检测器，其检测检测器的倾角；和控制器，其从测量臂表格读出指定的测量臂的质量、臂长、水平重心和竖直重心，基于读出的信息和由倾角检测器检测到的倾角来计算测量臂在水平姿态的测量力与测量臂在倾斜姿态的测量力之间的差，并调节测量力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102749058A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201210117021.2
申请日：2012-04-19
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B5/0016 , G01B3/008 , G01B5/016 , G01B5/28
Abstract: 本发明提供一种表面性状测量仪。在该表面性状测量仪中，测量臂(24)包括：第1测量臂(24A)，其在壳体(28)内以旋转轴(23)为支点能够进行圆弧运动地支承在托架(22)上；以及第2测量臂(24B)，其借助装卸机构(25)以能够装卸的方式设置在该第1测量臂的顶端，在第2测量臂(24B)的顶端具有测针(26A、26B)；装卸机构配置在壳体内。用于检测测量臂的圆弧运动量的位移检测器(27)包括：标尺(27A)，其配置在测量臂上；以及检测头，其以与标尺相对的方式配置在托架(22)上；标尺的检测面配置在测量臂的轴线上并且配置在测量臂的圆弧运动面上。
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公开(公告)号：CN107044818B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201610866675.3
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种测量探头和测量探头系统。一种测量探头(124)，其用于对设为能够相对于其相对旋转的滚珠丝杠(102)的螺纹槽(102A)进行测量，其包括：测头(126)，其具有能够与螺纹槽(102A)接触的顶端部(126A)；径向移位机构(127)，其将测头(126)支承成能够沿着朝向滚珠丝杠(102)的轴心(O)的(X)方向移位；轴向移位机构(131)，其将测头(126)支承能够沿着轴心(O)的轴向(Z方向)移位；以及传感器(135、136)，其用于对测头(126)的由径向移位机构(127)和轴向移位机构(131)产生的移位进行检测。由此，能够高精度地测量设为能够相对于其相对旋转的工件的侧面的预定的位置。
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公开(公告)号：CN103134458B
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201210476748.X
申请日：2012-11-21
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种表面形貌测量设备，其包括：测量臂表格，对于附接有具有不同质量的第二测量臂的各类型的测量臂，该测量臂表格存储整个测量臂的质量、从支撑点到触针的臂长以及测量臂在水平姿态的水平重心和竖直重心；测量臂指定部；倾角检测器，其检测检测器的倾角；和控制器，其从测量臂表格读出指定的测量臂的质量、臂长、水平重心和竖直重心，基于读出的信息和由倾角检测器检测到的倾角来计算测量臂在水平姿态的测量力与测量臂在倾斜姿态的测量力之间的差，并调节测量力。
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公开(公告)号：CN102749058B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201210117021.2
申请日：2012-04-19
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B5/0016 , G01B3/008 , G01B5/016 , G01B5/28
Abstract: 本发明提供一种表面性状测量仪。在该表面性状测量仪中，测量臂(24)包括：第1测量臂(24A)，其在壳体(28)内以旋转轴(23)为支点能够进行圆弧运动地支承在托架(22)上；以及第2测量臂(24B)，其借助装卸机构(25)以能够装卸的方式设置在该第1测量臂的顶端，在第2测量臂(24B)的顶端具有测针(26A、26B)；装卸机构配置在壳体内。用于检测测量臂的圆弧运动量的位移检测器(27)包括：标尺(27A)，其配置在测量臂上；以及检测头，其以与标尺相对的方式配置在托架(22)上；标尺的检测面配置在测量臂的轴线上并且配置在测量臂的圆弧运动面上。
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公开(公告)号：CN103743373A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201310703818.5
申请日：2010-05-24
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B5/201 , G01B21/047
Abstract: 本发明公开了一种圆度测定仪，其包括测头储放器和控制器。测头储放器可存放许多类型的测头，它们按照测定标的各测定点的形状来制备。测头储放器能够以每一测头可装在其上和可从其中取出的方式存放测头。此区域根据转台和检测器驱动机构的操作范围来确定。检测器驱动机构能够将检测器移动到测定区的外边。当给出测定指令时，控制装置进行测定标的圆度测定，同时控制转台和检测器驱动机构的操作。当给出测头替换指令时，控制装置在检测器主要装置与测头储放器之间进行测头替换操作，同时控制检测器驱动机构。检测器驱动机构包括摆转驱动机构，摆转驱动机构促使第二滑动驱动机构在摆动方向上运动。
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