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公开(公告)号：CN104848826B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201510087881.X
申请日：2015-02-25
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明涉及一种形状测量设备和形状测量误差校正方法。计算器包括第一滤波器、第二滤波器和加法装置。所述第一滤波器将基于从标尺到被测物放置部的第一频率传递特性对由标尺检测到的移位台的移位进行校正得到的值输出为第一校正值。所述第二滤波器将基于从端部球到端部球移位检测器的第二频率传递特性对所述第一校正值进行校正得到的值输出为第二校正值。所述加法装置通过将所述第二校正值与由所述端部球移位检测器检测到的所述端部球的移位相加来计算测量值。
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公开(公告)号：CN107782222A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710743552.5
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B5/008
Abstract: 本发明涉及坐标校正方法和坐标测定装置。前级校正步骤包括：将测定探头(300PR)配置于驱动机构(220PR)；限制测定触头(306PR)；分别获取移动量(Mpr)和探头输出(Ppr)；生成用于校正探头输出(Ppr)的由线性校正元素(ALE)和非线性校正元素(ANLE)构成的前级校正矩阵(AA)。后级校正步骤包括：将测定探头(300)配置于驱动机构(220)；限制测定触头(306)；分别获取移动量(M)和探头输出(P)；生成用于校正探头输出(P)的由线性校正元素(BLE)构成的中间校正矩阵(BB)；利用基于中间校正矩阵(BB)和前级校正矩阵(AA)生成的后级校正矩阵(EE)校正探头输出(P)。
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公开(公告)号：CN103808238A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201310566473.3
申请日：2013-11-14
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B5/20
CPC classification number: G01B5/008 , G01B21/045
Abstract: 一种形状测量机和用于校正形状测量误差的方法，该形状测量机包括用于支持包含尖端球体的扫描探测器的滑块。标尺单元检测滑块的位移。尖端球体位移检测单元检测尖端球体的位移。计算单元包括校正滤波器和加法器，并且根据滑块和尖端球体的位移来计算测量值。校正滤波器输出校正值，其中该校正值是通过基于从标尺单元到尖端球体的频率传递特性的逆特性来校正尖端球体位移检测单元所检测到的尖端球体的位移而获得的。加法器通过将标尺单元所检测到的滑块的位移和校正值相加来计算测量值。
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公开(公告)号：CN105277148B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201510425447.8
申请日：2015-07-17
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B15/04
CPC classification number: G01B21/045 , G01B5/008
Abstract: 本发明提供一种形状测定装置的测定误差的校正方法以及形状测定装置。在具备通过设置于测针(12)的一端并与被测定物(球B)接触的顶端球(14)来进行仿形测定的仿形测头(10)的形状测定装置中，通过顶端球位移检测部(11)检测仿形测头(10)的顶端球(14)的位移，检测使被测定物(B)和仿形测头(10)相对地移动的移动机构的位移，计算顶端球(14)接触被测定物(B)的接触方向与上述测针(12)的轴向之间所形成的角度(θ)，将根据上述角度(θ)对通过顶端球位移检测部(11)检测出的顶端球(14)的位移进行校正所得到的值作为校正值进行输出，将上述校正值和上述移动机构的位移相加来计算测定值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104864827B
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201510081931.3
申请日：2015-02-15
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及一种坐标测量机和坐标测量机的校正矩阵计算方法。第一校正分量计算处理单元基于第一检测值和第二检测值来计算校正矩阵的对角分量。通过如下测量来获得第一检测值和第二检测值：使校准基准体和探测器在校准基准体的表面的法线方向上彼此相对地移动，以使得测量端部与校准基准体的表面在一点处相接触。第二校正分量计算处理单元基于第三检测值和第四检测值来计算校正矩阵的非对角分量。在测量端部的中心与校准基准体的基准点或基准线之间的相对距离维持恒定的情况下、通过使用测量端部对校准基准体的表面的扫描测量来获得第三检测值和第四检测值。
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公开(公告)号：CN105588533A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201510753225.9
申请日：2015-11-06
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B21/045 , G01B21/20
Abstract: 本发明提供一种形状测定装置以及形状测定方法。形状测定装置具备包括具有前端球的测针和安装有测针的测头主体的仿形测头、支承仿形测头并被设置为能够移动的滑动件、检测滑动件的移动量的标尺部、检测前端球的位移量的前端球位移检测部以及使用滑动件移动量、前端球位移量以及校正用过滤器来计算测定值的运算部，运算部具有校正用过滤器设定单元，该校正用过滤器设定单元使用通过仿形测头的校准处理检测出的滑动件移动量和前端球位移量来计算校正矩阵的对角成分，基于该对角成分计算校正用过滤器的校正系数，从而对校正用过滤器进行设定。
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公开(公告)号：CN104864827A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510081931.3
申请日：2015-02-15
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B5/008 , G01B21/042 , G01B21/045 , G01B21/00 , G01B5/00
Abstract: 本发明涉及一种坐标测量机和坐标测量机的校正矩阵计算方法。第一校正分量计算处理单元基于第一检测值和第二检测值来计算校正矩阵的对角分量。通过如下测量来获得第一检测值和第二检测值：使校准基准体和探测器在校准基准体的表面的法线方向上彼此相对地移动，以使得测量端部与校准基准体的表面在一点处相接触。第二校正分量计算处理单元基于第三检测值和第四检测值来计算校正矩阵的非对角分量。在测量端部的中心与校准基准体的基准点或基准线之间的相对距离维持恒定的情况下、通过使用测量端部对校准基准体的表面的扫描测量来获得第三检测值和第四检测值。
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公开(公告)号：CN104848826A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510087881.X
申请日：2015-02-25
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B5/008 , G01B5/016 , G01B21/045 , G01B21/20
Abstract: 本发明涉及一种形状测量设备和形状测量误差校正方法。计算器包括第一滤波器、第二滤波器和加法装置。所述第一滤波器将基于从标尺到被测物放置部的第一频率传递特性对由标尺检测到的移位台的移位进行校正得到的值输出为第一校正值。所述第二滤波器将基于从端部球到端部球移位检测器的第二频率传递特性对所述第一校正值进行校正得到的值输出为第二校正值。所述加法装置通过将所述第二校正值与由所述端部球移位检测器检测到的所述端部球的移位相加来计算测量值。
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公开(公告)号：CN101769704B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201010002203.6
申请日：2010-01-06
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B21/045
Abstract: 一种三坐标测量机，具备：测头，其构成为能够在一定的范围内移动，具有测量触头；移动机构，其移动测头；以及控制装置，其控制移动机构。控制装置具备根据移动机构的移动量以及测头的移动量来算出测量触头的位置的测量值算出部(53)。测量值算出部(53)具备：校正参数算出部(531)，其根据测量被测量物时的测量条件算出用于校正测头的移动量的校正参数；校正部(532)，其根据校正参数对测头的移动量进行校正；以及移动量合成部(533)，其通过对移动机构的移动量和由校正部(532)校正后的测头的移动量进行合成来算出测量触头的位置。
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