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公开(公告)号：CN107782274A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710744125.9
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明涉及坐标测定装置和坐标校正方法。处理装置具有：坐标获取部，其在由限制单元限制了测定触头状态下由驱动机构使测定探头进行了移动时分别获取测定探头的移动量和探头输出；矩阵生成部，其根据坐标获取部的输出来生成由分别用于校正针对测定探头的移动量的线性校正元素和非线性校正元素构成的校正矩阵；以及探头输出校正部，其使用校正矩阵校正探头输出。坐标获取部在线性校正元素的数量与非线性校正元素的数量的合计数以上的测定点处分别获取测定探头的移动量和探头输出。由此，能够校正从测定探头输出的探头输出的非线性误差，因此能够高精度地求出被测定物的形状坐标。
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公开(公告)号：CN107782223A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710744168.7
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及坐标测定装置和坐标校正方法。处理装置具有：压入驱动机构控制部，其以使将相互正交的3个方向和测定力与2个方向的测定力互为反向的2个方向合起来的合计5个方向分别成为相对于校正基准体的表面而言的法线的方式，使测定触头在该5个方向上分别与该表面进行1点接触；仿形驱动机构控制部，其使测定触头在相互正交的3个平面上分别在校正基准体的表面进行往复移动；坐标获取部，其分别获取测定探头的移动量和探头输出；矩阵生成部，其生成校正矩阵；以及探头输出校正部，其使用校正矩阵校正探头输出。由此，能够改善从测定探头所输出的探头输出的在特定平面内的非对称的探头特性，因此能够高精度地求出被测定物的形状坐标。
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公开(公告)号：CN107782222B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201710743552.5
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B5/008
Abstract: 本发明涉及坐标校正方法和坐标测定装置。前级校正步骤包括：将测定探头(300PR)配置于驱动机构(220PR)；限制测定触头(306PR)；分别获取移动量(Mpr)和探头输出(Ppr)；生成用于校正探头输出(Ppr)的由线性校正元素(ALE)和非线性校正元素(ANLE)构成的前级校正矩阵(AA)。后级校正步骤包括：将测定探头(300)配置于驱动机构(220)；限制测定触头(306)；分别获取移动量(M)和探头输出(P)；生成用于校正探头输出(P)的由线性校正元素(BLE)构成的中间校正矩阵(BB)；利用基于中间校正矩阵(BB)和前级校正矩阵(AA)生成的后级校正矩阵(EE)校正探头输出(P)。
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公开(公告)号：CN101769704A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN201010002203.6
申请日：2010-01-06
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B21/045
Abstract: 一种三坐标测量机，具备：测头，其构成为能够在一定的范围内移动，具有测量触头；移动机构，其移动测头；以及控制装置，其控制移动机构。控制装置具备根据移动机构的移动量以及测头的移动量来算出测量触头的位置的测量值算出部(53)。测量值算出部(53)具备：校正参数算出部(531)，其根据测量被测量物时的测量条件算出用于校正测头的移动量的校正参数；校正部(532)，其根据校正参数对测头的移动量进行校正；以及移动量合成部(533)，其通过对移动机构的移动量和由校正部(532)校正后的测头的移动量进行合成来算出测量触头的位置。
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公开(公告)号：CN105588533B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201510753225.9
申请日：2015-11-06
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B21/045
Abstract: 本发明提供一种形状测定装置以及形状测定方法。形状测定装置具备包括具有前端球的测针和安装有测针的测头主体的仿形测头、支承仿形测头并被设置为能够移动的滑动件、检测滑动件的移动量的标尺部、检测前端球的位移量的前端球位移检测部以及使用滑动件移动量、前端球位移量以及校正用过滤器来计算测定值的运算部，运算部具有校正用过滤器设定单元，该校正用过滤器设定单元使用通过仿形测头的校准处理检测出的滑动件移动量和前端球位移量来计算校正矩阵的对角成分，基于该对角成分计算校正用过滤器的校正系数，从而对校正用过滤器进行设定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103808238B
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201310566473.3
申请日：2013-11-14
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B5/20
CPC classification number: G01B5/008 , G01B21/045
Abstract: 一种形状测量机和用于校正形状测量误差的方法，该形状测量机包括用于支持包含尖端球体的扫描探测器的滑块。标尺单元检测滑块的位移。尖端球体位移检测单元检测尖端球体的位移。计算单元包括校正滤波器和加法器，并且根据滑块和尖端球体的位移来计算测量值。校正滤波器输出校正值，其中该校正值是通过基于从标尺单元到尖端球体的频率传递特性的逆特性来校正尖端球体位移检测单元所检测到的尖端球体的位移而获得的。加法器通过将标尺单元所检测到的滑块的位移和校正值相加来计算测量值。
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公开(公告)号：CN105277148A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510425447.8
申请日：2015-07-17
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B15/04
CPC classification number: G01B21/045 , G01B5/008
Abstract: 本发明提供一种形状测定装置的测定误差的校正方法以及形状测定装置。在具备通过设置于测针(12)的一端并与被测定物(球B)接触的顶端球(14)来进行仿形测定的仿形测头(10)的形状测定装置中，通过顶端球位移检测部(11)检测仿形测头(10)的顶端球(14)的位移，检测使被测定物(B)和仿形测头(10)相对地移动的移动机构的位移，计算顶端球(14)接触被测定物(B)的接触方向与上述测针(12)的轴向之间所形成的角度(θ)，将根据上述角度(θ)对通过顶端球位移检测部(11)检测出的顶端球(14)的位移进行校正所得到的值作为校正值进行输出，将上述校正值和上述移动机构的位移相加来计算测定值。
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公开(公告)号：CN103673963A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310398126.4
申请日：2013-09-04
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B5/008 , G01B21/045
Abstract: 一种形状测量机和用于校正形状测量误差的方法，该形状测量机包括用于支持扫描探头的滑块。标尺单元检测所述滑块的位移。尖端球体位移检测单元检测尖端球体的位移。计算单元包括校正滤波器和加法器，并且根据所述滑块和所述尖端球体的位移，计算测量值，其中，所述校正滤波器包括第一和第二滤波器。所述第一滤波器基于从所述标尺单元到所述滑块的尖端的频率传递特性，校正所述滑块的位移。所述第二滤波器输出通过基于从所述滑块的尖端到所述尖端球体的频率传递特性来校正通过所述第一滤波器校正后的值而获得的值，作为校正值。所述加法器输出通过对所述校正值和所述尖端球体的位移进行相加所获得的测量值。
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公开(公告)号：CN107782223B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201710744168.7
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及坐标测定装置和坐标校正方法。处理装置具有：压入驱动机构控制部，其以使将相互正交的3个方向和测定力与2个方向的测定力互为反向的2个方向合起来的合计5个方向分别成为相对于校正基准体的表面而言的法线的方式，使测定触头在该5个方向上分别与该表面进行1点接触；仿形驱动机构控制部，其使测定触头在相互正交的3个平面上分别在校正基准体的表面进行往复移动；坐标获取部，其分别获取测定探头的移动量和探头输出；矩阵生成部，其生成校正矩阵；以及探头输出校正部，其使用校正矩阵校正探头输出。由此，能够改善从测定探头所输出的探头输出的在特定平面内的非对称的探头特性，因此能够高精度地求出被测定物的形状坐标。
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公开(公告)号：CN107782274B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201710744125.9
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明涉及坐标测定装置和坐标校正方法。处理装置具有：坐标获取部，其在由限制单元限制了测定触头状态下由驱动机构使测定探头进行了移动时分别获取测定探头的移动量和探头输出；矩阵生成部，其根据坐标获取部的输出来生成由分别用于校正针对测定探头的移动量的线性校正元素和非线性校正元素构成的校正矩阵；以及探头输出校正部，其使用校正矩阵校正探头输出。坐标获取部在线性校正元素的数量与非线性校正元素的数量的合计数以上的测定点处分别获取测定探头的移动量和探头输出。由此，能够校正从测定探头输出的探头输出的非线性误差，因此能够高精度地求出被测定物的形状坐标。
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