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公开(公告)号：CN104931032B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201510362795.5
申请日：2015-06-26
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/574
CPC classification number: G01C19/574
Abstract: 本发明涉及一种单锚定点四质量块MEMS谐振式陀螺仪，该陀螺仪包括基板层和位于基板层上方的结构层，结构层包括：中心对称结构的支撑架，一端键合到基板层上、另一端固定连接于支撑架对称中心的锚定支撑柱和以锚定支撑柱为中心对称均匀分布在支撑架四周、并分别通过悬臂梁连接到支撑架上的四个质量块，每个质量块均能够在支撑架平面内产生“主模态”振动，或“次模态”振动，或同时产生“主模态”和“次模态”振动；基板层上还设置有固定电容极板，每个质量块内部设置有可动电容极板，固定电容极板与可动电容极板对应组合，形成与每个质量块相对应的驱动电容、驱动检测电容、检测电容和/或力平衡电容。本发明在角速度传感器领域有很高的应用价值。
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公开(公告)号：CN106092073A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610390871.8
申请日：2016-06-02
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/00
CPC classification number: G01C19/00
Abstract: 本发明提供了一种微机械陀螺寻北仪。本发明提出的基于旋转调制技术的微机械陀螺寻北仪，采用了无线供电、无线通信传输的技术方案，内置式的一体化结构设计，实现了所述数字信号采集板与所述数字信号处理板之间的无线通信、以及无线供电。相对于现有技术，所述基于旋转调制技术的微机械陀螺寻北仪采用内置式一体化设计，省去了导电滑环与机械限位机构，大大减小了寻北仪的体积、及成本。
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公开(公告)号：CN105606083A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201610128649.0
申请日：2016-03-08
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/574
CPC classification number: G01C19/574
Abstract: 本发明涉及一种外支撑四质量块MEMS谐振式陀螺仪，该陀螺仪包括基板层和位于基板层上方的结构层，结构层包括拥有四对称轴的八边形平面框架结构的支撑架，四根沿以支撑架对称中心为圆心的圆周对称均匀分布在支撑架外侧的锚定支撑柱，四个沿以支撑架对称中心为圆心的圆周对称均匀分布在支撑架内侧的质量块，四个分别设置在四个质量块与支撑架之间的驱动检测单元和四个分别设置在四个质量块远离支撑架一侧的驱动单元；相对的两个质量块完全相同，每个质量块接近支撑架的一侧设置有驱动检测电容可动极板、远离支撑架的一侧设置有驱动电容可动极板，质量块能在支撑架平面内产生“主模态”振动，或者产生“次模态”振动，或者同时产生“主模态”和“次模态”振动。
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公开(公告)号：CN1299427C
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN03157391.6
申请日：2003-09-19
Applicant: 清华大学
IPC: H02N1/00
Abstract: 用于微机械传感器的半频驱动及闭环方法，属于微机械传感器的控制技术领域。为了克服现有方法中电耦合和引入的l/f噪声的影响，本发明公开了一种用于微机械传感器的半频驱动方法，其特征在于：在静电式差动驱动器的两个驱动电极上，施加两路纯交流电压进行驱动，且所述两路电压相差90°，其频率为动子振动频率的一半。该方法可消除由驱动电压到传感器检测输出的电耦合，并能减小由驱动电压上引入的l/f噪声的影响，并针对这种驱动方法利用小范围内作近似的的办法消除电压到静电力的非线性影响，实现了闭环控制。
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公开(公告)号：CN1299231C
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200410047920.5
申请日：2004-06-11
Applicant: 清华大学
IPC: G06K9/00
Abstract: 本发明涉及活体虹膜图像采集方法及采集装置，属于生物特征识别和自动身份鉴别技术领域。包括摄像头不断传输采集到的动态图像；若中间部分图像的灰度值低于周围图像的灰度值，则确认为是眼睛图像；统计眼睛图像灰度值，找到灰度值最低区域中心点为初始瞳孔中心；若满足；检测到灰度差大于所述设定的灰度差阈值；检测灰度的梯度值超过所述设定的灰度的梯度阈值，再检测初始瞳孔中心坐标是否处于图像中心位置三个条件；则可开始采集；前后自动移动摄像头，采集一系列不同焦平面的眼睛图像进行图像质量评估，确定质量最好的虹膜图像。本发明采集的图像清晰度比较高，在虹膜图像区域的特征纹理非常明显，而且没有照明光斑噪声，不需要额外的后续处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112209332B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN201910619306.8
申请日：2019-07-10
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种单片六轴IMU的双面电极制作及圆片级真空封装方法。本发明方法所形成的整体结构包括基底层、器件层和盖帽层，在基底层上实现多层互联结构，优化走线布局，减小寄生电容，便于后续和外部电路之间的连接；器件层包括敏感结构、硅柱以及硅墙，硅柱用于连接盖帽层上的与基底层金属电极；硅墙分别与基底层和盖帽层键合形成真空封闭腔室。本发明方法将真空封装与MEMS敏感结构的加工合并，避免对裸芯片二次真空封装时可能带来的污染，同时可实现双面电极制作，为非平面运动信号的检测提供可能。
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公开(公告)号：CN112287488B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202011228319.1
申请日：2020-11-06
Applicant: 清华大学
IPC: G06F30/17 , G06F119/14
Abstract: 本发明涉及一种用于微机电器件的非线性弹性约束结构及约束方法，包括如下部件：若干固定体和一梁长约束体；若干直梁，若干所述直梁的第一端分别与若干所述固定体一一对应连接，若干所述直梁的第二端分别与所述梁长约束体连接；当所述直梁与所述梁长约束体连接的端点发生位移时，所述梁长约束体和所述固定体约束所述直梁在长度方向发生变形。本发明的非线性弹性约束结构与线性弹性约束结构相比，在相同的外力冲击下，可以减小可动部分的位移，避免可动部分与保护挡块碰撞，或减小碰撞时的撞击力，更好地保护器件微结构。
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公开(公告)号：CN114640311A
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202210281006.5
申请日：2022-03-22
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种基于最小均方误差算法的解调电路及方法，其包括：C/V转换电路，用于将接收到的电容式传感器信号转换成电压信号，该电压信号为抵消基础电容值后的电压信号；基于LMSD的数字解调电路，接收C/V转换电路传输至的抵消基础电容值后的电压信号，用于对接收到的电压信号进行迭代解调；自循环数字控制电路，用于根据数字解调电路幅值分量大小调节抵消电容阵列电容大小。本发明对敏感结构的基础电容值进行部分抵消，通过改进后的LMSD迭代获得精度更高的信号解调结果。本发明可以广泛应用于电容式惯性传感器信号处理领域。
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公开(公告)号：CN112947667A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110276278.1
申请日：2021-03-15
Applicant: 清华大学
IPC: G05F1/567
Abstract: 本发明涉及一种带隙基准电压源电路，其包括：核心电路、负反馈环路、电流镜结构和启动电路；所述核心电路用于产生带隙电压，其输入端与所述启动电路连接，所述核心电路的输出端与所述电流镜结构连接，通过所述电流镜结构增大电压源电路的输出驱动能力；并在所述核心电路与所述启动电路、所述电流镜结构之间设置有所述负反馈环路，由所述负反馈环路保证输出电压的稳定性。本发明的带隙基准电压源通过CMOS工艺进行加工，该电压源电路在降低输出噪声的基础上，能有效增大带载能力、降低输出电压温度系数，具有输出噪声低、温度系数低、输出驱动能力大的优点。本发明可以广泛在微电子学与固体电子学领域的超大规模集成电路中应用。
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公开(公告)号：CN108844531B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201810303836.7
申请日：2018-04-03
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/567
Abstract: 本发明公开了一种高Q值微机电陀螺的快速起振控制方法及装置，其中，方法包括以下步骤：通过自激振荡方式用预设幅值的驱动信号驱动高Q值微机电陀螺，使微机电陀螺的振动频率趋近于自然频率和微机电陀螺的幅值趋近于设定值，并获取自然频率估计值；当陀螺的振动状态达到预设条件时，将自然频率估计值作为初始频率，并通过锁相环方式驱动微机电陀螺，以使得微机电陀螺的振动频率锁定至自然频率和微机电陀螺的幅值稳定于设定值。该方法可以在仅了解高Q值微机电陀螺自然频率大致散布范围的情况下，使其快速起振并精确地锁定至自然频率稳幅工作，并且有效提高高Q值微机电陀螺驱动控制鲁棒性。
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