公开(公告)号：CN115180934A

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202210855292.1

申请日：2022-07-19

申请人： 浙江大学 ,  杭州绿联研究院有限公司

发明人： 杜丕一 ,  吕爽 ,  马宁 ,  戴正冠 ,  樊谊军 ,  王宗荣 ,  何旭昭

IPC分类号： C04B35/26 ,  C04B35/622 ,  C04B35/624

摘要： 本发明公开了一种具有复合微结构的介电可调协同掺杂钡铁氧体薄膜，所述薄膜为由间隙型钡离子和取代型高价离子协同掺杂的钡铁氧体薄膜，具有由蠕虫状晶粒和团聚颗粒状晶粒组成的复合微结构，两种晶粒相相互隔离生长，所述薄膜中Ba2+离子占据晶格中的八面体和三角双锥间隙位，所述高价离子占据晶格中Fe3+离子所占据的4f1位，并形成有稳定的Fe3+/Fe2+缺陷对偶极子。所述薄膜，具有低调制电场介电可调性，介电调谐率为～60％，调制电压

公开(公告)号：CN112713238A

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN202011504188.5

申请日：2020-12-18

申请人： 浙江大学

发明人： 杜丕一 ,  田薇 ,  李谷尧 ,  吕爽 ,  王宗荣 ,  马宁

IPC分类号： H01L43/10 ,  H01L43/12

摘要： 本发明公开了一种具有(111)取向NZFO晶相柱阵列分布的BTO/NZFO复相多铁薄膜，首先通过溶胶‑凝胶法制得溶胶前驱体，接着在单晶硅基板上以旋涂方法制备首层薄膜，经过紫外臭氧预处理，再在快速升温炉中通过结合控制首层膜沉积厚度以及在高温下热处理，控制在首层膜层中实现包括分相、异相成核等过程，原位制备具有两相分离结构且NZFO结晶并具有(111)取向的诱导膜层，之后经过多步重复旋涂‑热处理过程获得复相膜，在复相膜上再覆盖BTO纯相膜以使其填充在NZFO晶相柱之间，本发明这种复相加单相的多层结构膜，成功实现了BTO/NZFO复相薄膜材料1‑3型微结构的原位形成，材料具有很高的磁电耦合效应。外加磁场作用下，在铁电相BTO居里点处获得高达40％的磁化突变，具有重要意义。