一种激光剥离材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN111534270B

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202010419211.4

    申请日:2020-05-18

    摘要: 本发明提供了一种激光剥离材料及其制备方法和应用,所述激光剥离材料以其总质量为100%计,包括主体树脂1‑40%、吸光剂0.1‑10%和溶剂55‑98%,所述主体树脂包括聚砜、聚酰胺、聚酰胺酸、聚酰亚胺、马来酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚苯并咪唑、聚丙烯腈、聚醚醚酮、聚苯醚砜、聚苯并噁唑、聚苯硫醚或聚醚酮中的任意一种或至少两种的组合。本发明所述的激光剥离材料耐化性好、耐热性优良,同时其对激光的吸收率高,可以实现低能量激光脱粘的技术效果,有效避免了激光对器件层的损伤。另外,本发明所述激光剥离材料应用于制备多层超薄柔性器件时,其剥离层厚度小,激光扫描后清洗容易,无材料残留。

    一种光刻胶的清洗方法
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113467201A

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN202110879426.9

    申请日:2021-08-02

    IPC分类号: G03F7/42

    摘要: 本发明提供一种光刻胶的清洗方法。所述清洗方法包括如下步骤:(1)将基板包含光刻胶的一面置于紫外光下老化,得到经老化处理的基板;(2)使用光刻胶清洗剂对步骤(1)得到的经老化处理的基板进行清洗,完成基板上光刻胶的清洗;所述光刻胶清洗液包括如下重量份数的组分:季胺氢氧化物1~20份、醇胺1~10份、表面活性剂0.01~10份和溶剂60~98份。本发明通过采用对包含光刻胶基板的先进行紫外光照射老化处理,再使用光刻胶清洗剂进行清洗的方法,在不增大光刻胶清洗剂碱性且不使用其他腐蚀抑制剂的情况下,完成基板上光刻胶的清洗,得到了表面无光刻胶残留、无腐蚀的基板。