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公开(公告)号：CN1209765C
公开(公告)日：2005-07-06
申请号：CN03156366.X
申请日：2003-09-05
申请人： 清华大学
IPC分类号： G11B7/28
摘要： 只读光盘扫描投影复制方法及装置，属于光盘复制技术领域。为了解决现有技术中高密度光盘复制困难和新型的灰度分阶多阶只读光盘的复制问题，本发明提出了只读光盘扫描投影复制方法及装置，所述方法的主要步骤为：照明系统在母盘上形成照明光斑，母盘上处于照明区域的部分经过1∶1投影成像系统在待复制光盘表面的抗蚀剂、具有电锁特性的光致变色材料或感光剂上成像曝光。通过母盘和待复制只读光盘的同步旋转和直线进给运动完成对整张光盘的扫描投影复制。本发明可以实现无损复制，提高母盘的使用寿命，选用大的数值孔径，满足高密度光盘复制的需要。该技术不但适合传统的坑点边缘记录型只读光盘的复制，也适合新型的灰度分阶多阶只读光盘的复制。
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公开(公告)号：CN1176406C
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：CN02116681.1
申请日：2002-04-15
申请人： 清华大学
摘要： 阵列式集成电路扫描光刻用的工作台运动控制方法及系统属于微细工程，尤其涉及集成电路光刻扫描技术领域，其特征在于：计算机根据从激光干涉仪得到的工作台位置坐标信号，向脉冲计数器发出开始或停止计数信号。脉冲计数器把工作台一定位移内得到的脉冲数反馈回计算机，从而得到工作台的瞬间运动速度，工作台匀加速和匀减速运动中，对工作台一定位置的瞬间速度和标准速度进行比较；工作台匀速运动中，对两个相邻区间脉冲数获得的工作台运动速度和加速度进行计算，分别根据以上两种情况得到对工作台加速度或速度进行控制的信号，再分别通过调整电机驱动电压来控制工作台速度。它简单易行，控制精度高，保证工作台匀速段速度变化误差小于1%，提高了电路图形的光刻质量。
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公开(公告)号：CN1142546C
公开(公告)日：2004-03-17
申请号：CN01139829.9
申请日：2001-11-30
申请人： 清华大学
摘要： 基于相变材料的多阶存储光盘读写系统属于光存储技术领域，其特征在于，它含有：纵向写光路，横向读光路，位于读光路分光镜上方的直接相位检测装置及多阶光盘；写光路依次设置写激光器，准直透镜，分光镜和聚光镜；读光路依次设置读激光器，准直透镜，分光镜，Wollaston棱镜和写光路中的分光镜和聚光镜，写、读激光器各位于相应分光镜焦点上；直接相位检测装置含有：把输入光分为I、II两束的分光镜，依次向后设在光路I上的1/4波片、半波片、入射角为45度的偏振分光镜，依次设在光路II上的反射镜中密滤镜、半波片，入射角为45°的偏振分光镜，接收聚焦后的上述偏振分光镜输出的4重光的光电探测器。它可充分利用现有技术及工艺而提供一种结构简单，能实现高密度存储和高数据传输率的多阶光盘读写系统。
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公开(公告)号：CN1460997A
公开(公告)日：2003-12-10
申请号：CN03121143.7
申请日：2003-03-28
申请人： 清华大学
IPC分类号： G11B7/0045 , G11B7/125 , G11B7/26
摘要： 多阶母盘刻录的控制方法及刻录用的激光器驱动装置，属于母盘刻录中的微细工程技术领域。其特征在于，本控制方法是在传统的二阶母盘刻录控制方法的基础上，增加了多阶功率的选通控制和多阶功率的大小稳定控制，本发明还根据该控制方法设计了激光器驱动装置，它采用了一个能实现多阶功率选通和调节的驱动电路，该驱动电路含有一个由三极管电阻网络和差分运算放大器构成的功率选通调节电路和一个功率放大电路。本控制方法能够有效控制在母盘上进行的多阶刻录，本激光器驱动装置能够改变流过激光器的电流，使激光器发出不同功率的激光，从而在母盘感光层上刻录下不同灰度的信号，实现多阶刻录。
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公开(公告)号：CN1374564A
公开(公告)日：2002-10-16
申请号：CN02116681.1
申请日：2002-04-15
申请人： 清华大学
摘要： 阵列式集成电路扫描光刻用的工作台运动控制方法及系统属于微细工程,尤其涉及集成电路光刻扫描技术领域,其特征在于:计算机根据从激光干涉仪得到的工作台位置坐标信号,向脉冲计数器发出开始或停止计数信号。脉冲计数器把工作台一定位移内得到的脉冲数反馈回计算机,从而得到工作台的瞬间运动速度,工作台匀加速和匀减速运动中,对工作台一定位置的瞬间速度和标准速度进行比较;工作台匀速运动中,对两个相邻区间脉冲数获得的工作台运动速度和加速度进行计算,分别根据以上两种情况得到对工作台加速度或速度进行控制的信号,再分别通过调整电机驱动电压来控制工作台速度。它简单易行,控制精度高,保证工作台匀速段速度变化误差小于1%,提高了电路图形的光刻质量。
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公开(公告)号：CN1352456A
公开(公告)日：2002-06-05
申请号：CN01139830.2
申请日：2001-11-30
申请人： 清华大学
IPC分类号： G11B7/24
摘要： 具有多层可重写相变记录层的多层多阶光盘属于光学数据存储技术领域,其特征在于:盘有透明的衬底,激光从该衬底入射。该衬底支承着至少两个空间上被此隔开但紧靠的多层记录叠层,也可只支承一个多层记录叠层。每个叠层中都包括可重写相变材料制的有效记录层。所有记录叠层都位于光盘系统的物镜焦深范围内,通过调节激光的功率而在不同的记录叠层和记录叠层的组合上记录数据,就可实现多层多阶存储。它具有分层结构简单、存取读出容易、制造工艺简便等优点。
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公开(公告)号：CN1352454A
公开(公告)日：2002-06-05
申请号：CN01139829.9
申请日：2001-11-30
申请人： 清华大学
IPC分类号： G11B7/0037
摘要： 基于相变材料的多阶存储光盘读写系统属于光存储技术领域,其特征在于,它含有:纵向写光路,横向读光路,位于读光路分光镜上方的直接相位检测装置及多阶光盘;写光路依次设置写激光器,准直透镜,分光镜和聚光镜;读光路依次设置读激光器,准直透镜,分光镜,Wollastoh棱镜和写光路中的分光镜和聚光镜,写、读激光器各位于相应分光镜焦点上;直接相位检测装置含有:把输入光分为I、II两束的分光镜,依次向后设在光路I上的1/4波片、半波片、入射角为45度的偏振分光镜,依次设在光路II上的反射镜中密滤镜、半波片,入射角为45°的偏振分光镜,接收聚焦后的上述偏振分光镜输出的4重光的光电探测器。它可充分利用现有技术及工艺而提供一种结构简单,能实现高密度存储和高数据传输率的多阶光盘读写系统。
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公开(公告)号：CN100371094C
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200510130674.4
申请日：2005-12-21
申请人： 中国石油化工股份有限公司 , 清华大学
IPC分类号： B09C1/10
摘要： 一种石油污染土壤的原位生物修复方法，本发明属于石油污染土壤的原位生物修复技术。本发明的技术特征在于添加真菌—细菌液体混合微生物制剂，添加土壤结构改良剂、有机肥和无机营养物质，采用灌溉、翻耕、覆盖多孔地膜和保水保温的工程措施完成石油污染土壤的原位生物修复过程。本方法可以保证原位生物修复过程中微生物生长代谢的最佳条件，强化微生物在土壤中的迁移和营养物质等的传质过程，从而提高原位生物修复过程的效率。本发明在石油污染土壤的生物修复领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN1490804A
公开(公告)日：2004-04-21
申请号：CN03156366.X
申请日：2003-09-05
申请人： 清华大学
IPC分类号： G11B7/28
摘要： 只读光盘扫描投影复制方法及装置，属于光盘复制技术领域。为了解决现有技术中高密度光盘复制困难和新型的灰度分阶多阶只读光盘的复制问题，本发明提出了只读光盘扫描投影复制方法及装置，所述方法的主要步骤为：照明系统在母盘上形成照明光斑，母盘上处于照明区域的部分经过1∶1投影成像系统在待复制光盘表面的抗蚀剂、具有电锁特性的光致变色材料或感光剂上成像曝光。通过母盘和待复制只读光盘的同步旋转和直线进给运动完成对整张光盘的扫描投影复制。本发明可以实现无损复制，提高母盘的使用寿命，选用大的数值孔径，满足高密度光盘复制的需要。该技术不但适合传统的坑点边缘记录型只读光盘的复制，也适合新型的灰度分阶多阶只读光盘的复制。
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公开(公告)号：CN1349220A
公开(公告)日：2002-05-15
申请号：CN01139828.0
申请日：2001-11-30
申请人： 清华大学
摘要： 基于相变材料的多阶存储光盘信号的相位检测法属于光存储技术领域,其特征在于:使从光盘盘面到达探测器的干涉光成为依次相差π/2相位角的四重光,建立起要测的相位角φ与各重光光强的关系式;据此设计了直接相位检测装置,它含有:把激光束分为两条光路的分光镜,在每条光路上依次向后设置的1/4波片或中密滤镜、半波片以及入射角为45°的偏振分光影,接收两条光路上从各自的偏振分光镜输出后再经各聚光镜送达的各重光的光电探测器。光电探测器的输出电流与各重光的光强呈线性关系,因而由此可测得用上述各输出电流值计算并表示的相位角。它具有快速、灵敏、高效的优点。
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