一种立方相Ca3Si合金及其制备方法

    公开(公告)号:CN106319269B

    公开(公告)日:2017-12-08

    申请号:CN201610935975.2

    申请日:2016-11-01

    Applicant: 福州大学

    Abstract: 本发明公开了一种立方相Ca3Si合金及其制备方法,包括以下步骤:(1)将Ca粉和Si粉按比例在Ar保护气氛下混合均匀,得到混合物;(2)将所述混合物,在Ar气保护气氛下放入球磨罐中,将球磨罐密封好,避免氧气进入;(3)将步骤(2)中准备好的球磨罐,放入球磨机中以一定的转速进行球磨,使粉末充分反应,得到均匀的混合粉体;(4)将步骤(3)中得到均匀的混合粉体取出,装入所需规格的不锈钢模具中,采用真空等离子烧结的方式进行真空烧结压片,即得立方相Ca3Si片状或块状合金材料。本发明具有工艺简单、操作容易、成本低等优势,所得的立方相Ca3Si片状或块状合金,产品纯度较高,结合紧密,有较好的产业化前景。

    一种Ca3Si薄膜的制备方法
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106480419A

    公开(公告)日:2017-03-08

    申请号:CN201610935012.2

    申请日:2016-11-01

    Applicant: 福州大学

    CPC classification number: C23C14/352 C23C14/0682 C23C14/14 C23C14/5806

    Abstract: 本发明公开了一种Ca3Si薄膜的制备方法。在本底真空度为6.5×10-4 Pa,工作气体为高纯Ar气,采用磁控溅射沉积法在绝缘衬底上进行双靶循环溅射,一靶位放Ca靶,电源选用射频电源;另一靶位放Si单质靶,电源选用直流电源;先镀Ca层,接着镀Si层,以此为一周期;按此周期循环多次,从而得到具有叠层结构的薄膜,最后采用原位热处理获得Ca3Si薄膜。本发明的磁控溅射法制备工艺具有工艺简单、成本低等优势,可满足大规模生产需要。

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