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公开(公告)号：CN103808260A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201310544698.9
申请日：2013-11-05
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 约尔格·德雷谢尔 , 马库斯·迈斯纳 , 拉尔夫·约尔格尔 , 伯恩哈德·默施 , 托马斯·卡埃尔贝雷尔
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01D5/26 , G01B11/24 , G01D5/3473
Abstract: 本发明涉及一种光学位置测量装置。这一装置包括第一整体量具，该第一整体量具具有第一测量分度并且可移动地沿第一测量方向布置。第一整体量具在沿第一测量方向的至少一个定义的位置处具有空间上受限的第一标记，该第一标记与第一测量分度不同。另外，位置测量装置包括第二整体量具，该第二整体量具具有第二测量分度并且可移动地沿第二测量方向布置。第二整体量具在至少一个位置处具有第二参考标记，该第二参考标记只在第一整体量具位于沿第一测量方向的那个由第一标记预定的定义的位置时才能用于在第二整体量具的参考位置处产生至少一个第二参考信号。
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公开(公告)号：CN107017179B
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN201610839193.9
申请日：2016-09-21
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 约尔格·德雷谢尔 , 马库斯·迈斯纳 , 拉尔夫·约尔格尔 , 伯恩哈德·默施 , 托马斯·卡埃尔贝雷尔
Abstract: 本发明涉及一种具有位置测量装置的X‑Y工作台，具有工作台，其布置在相对于固定的地面能在工作台平面的两个相互垂直的方向中的一个上运动的载体上，并且其能在该载体上在两个方向中的另一个上运动，从而使工作台能总体上在与固定的地面平行的平面中定位。为了在两个方向中的每个上进行位置测量，扫描头分别发送穿过沿着工作台的边缘固定的透射的刻度的光。光由相对于布置在工作台上方的加工工具地点固定的反射的刻度经由透射的刻度反射回到扫描头。在载体上布置有扫描头的两个组，从而在工作台的中间部位中使两个组与透射的刻度配合，然而在工作台的两个边缘部位中仅有这些组中的一个与透射的刻度配合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105300278B
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201510307095.6
申请日：2015-06-05
Applicant: 约翰内斯·海德汉博士有限公司
Inventor： 约尔格·德雷谢尔 , 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 拉尔夫·约尔格尔 , 托马斯·卡埃尔贝雷尔 , 马库斯·迈斯纳 , 伯恩哈德·默施 , 埃尔温·施潘纳
Abstract: 本发明涉及一种光学位置测量装置，获取能彼此相对地沿至少一个测量方向运动地布置的第一和第二整体量具的相对位置。在分离光栅处由光源发射的光束分离成至少两个子射束。子射束在经过扫描光路时经历不同偏振光学作用。不同偏振的子射束在合并光栅处重新合并后，能从合成光束中产生多个相位偏移的取决于偏移的扫描信号。在分离和重新合并间的子射束的扫描光路中未布置偏振光学构件。为在子射束上产生不同偏振光学作用，锥形入射的照明光束作用到分离光栅上，其中入射的照明光束在垂直测量方向的平面中以不同于0°的角度延伸且入射面通过分离光栅的光栅法线和照明光束入射方向张开。分离和重新合并间的子射束的扫描光路设计为关于入射面镜面对称。
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公开(公告)号：CN105444708B
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201510614273.X
申请日：2015-09-23
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 约尔格·德雷谢尔 , 乌尔里希·比希尔迈耶
IPC: G01B21/00
CPC classification number: G01D18/00 , G01D18/008
Abstract: 本发明涉及一种用于在具有量具的位置测量系统中修正误差的方法，量具由至少一个扫描单元扫描，其中，为量具上限定了数量的修正点分别提供修正值，这些修正值从在测量工作之前完成的校准中获取，并且在测量工作时用于修正所测定的位置值。在校准时获取的修正值为了测量工作被压缩。
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公开(公告)号：CN104511794B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201410525163.1
申请日：2014-10-08
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 约尔格·德雷谢尔 , 凯蒂·多德德斯-伊登 , 伯恩哈德·默施
CPC classification number: G01B11/14 , B23Q3/18 , G03F7/70775
Abstract: 本发明涉及一种用于相对于工件定位工具的装置，具有用于容纳工件的能运动的工作台，其中在加工工件期间该工作台在两个主运动方向上运动，还具有一个或者多个平面的量具，其位置固定地围绕工具布置并且沿主运动方向的平面扩展，还具有用于检测工作台相对于量具的位置的探针头，其安装在工作台的至少三个角中，其中利用探针头能在六个自由度上确定工作台的位置。在角中的至少一个之内，存在一个或者多个具有总共至少三个测量轴线的、用于在三个独立的空间方向上进行3D位置检测探针头。在此测量轴线的灵敏度矢量为了3D位置检测既不平行于XZ平面也不平行于YZ平面。以这种方式，当在主运动方向上运动工作台时，所有的测量轴线都提供周期性的信号。
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公开(公告)号：CN105444708A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510614273.X
申请日：2015-09-23
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 约尔格·德雷谢尔 , 乌尔里希·比希尔迈耶
IPC: G01B21/00
CPC classification number: G01D18/00 , G01D18/008
Abstract: 本发明涉及一种用于在具有量具的位置测量系统中修正误差的方法，量具由至少一个扫描单元扫描，其中，为量具上限定了数量的修正点分别提供修正值，这些修正值从在测量工作之前完成的校准中获取，并且在测量工作时用于修正所测定的位置值。在校准时获取的修正值为了测量工作被压缩。
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公开(公告)号：CN104515467A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410525165.0
申请日：2014-10-08
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 约尔格·德雷谢尔 , 马库斯·迈斯纳
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B11/14 , G01B9/00 , G01D5/34715 , G01J1/0403
Abstract: 本发明涉及一种光学的位置测量装置，包括量具和能相对所述量具沿着至少一个测量方向运动的扫描单元，其中，在量具与扫描单元之间设计扫描光路，该扫描光路用于产生与移动相关的信号。保护罩布置成能沿着垂直于量具-平面的轴线运动，使得在至少一种工作模式下，该保护罩尽可能地环绕扫描单元与量具之间的扫描光路。
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