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公开(公告)号：CN103808260B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201310544698.9
申请日：2013-11-05
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 约尔格·德雷谢尔 , 马库斯·迈斯纳 , 拉尔夫·约尔格尔 , 伯恩哈德·默施 , 托马斯·卡埃尔贝雷尔
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01D5/26 , G01B11/24 , G01D5/3473
Abstract: 本发明涉及一种光学位置测量装置。这一装置包括第一整体量具，该第一整体量具具有第一测量分度并且可移动地沿第一测量方向布置。第一整体量具在沿第一测量方向的至少一个定义的位置处具有空间上受限的第一标记，该第一标记与第一测量分度不同。另外，位置测量装置包括第二整体量具，该第二整体量具具有第二测量分度并且可移动地沿第二测量方向布置。第二整体量具在至少一个位置处具有第二参考标记，该第二参考标记只在第一整体量具位于沿第一测量方向的那个由第一标记预定的定义的位置时才能用于在第二整体量具的参考位置处产生至少一个第二参考信号。
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公开(公告)号：CN103246172B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201310005111.7
申请日：2013-01-07
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 约尔格·德雷谢尔 , 马库斯·迈斯纳 , 拉尔夫·约尔格尔 , 伯恩哈德·默施 , 托马斯·卡埃尔贝雷尔
CPC classification number: G01B11/002 , G01D5/34746 , G03F7/70775 , H01L21/67259 , H01L21/681
Abstract: 本发明涉及一种用于检测对象相对于基准系统的位置的装置。该对象在此至少沿两个正交的、第一和第二主运动轴线相对于基准系统可运动地布置。位置测量装置为了检测对象相对于基准系统的位置而包括至少两个、沿第一主运动轴线布置的、二维量具和四个用于光学地扫描这些量具的扫描单元。此外设有至少四个附加的扩展扫描单元，它们沿第一主运动轴线布置在四个扫描单元之间。
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公开(公告)号：CN104515468A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410525795.8
申请日：2014-10-08
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 约尔格·德雷谢尔 , 罗伯特·克尔纳 , 马库斯·迈斯纳
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B11/14 , G01B9/02049 , G01B9/02083 , G01D5/38
Abstract: 本发明涉及一种用于检测两个能彼此相对运动的物体的光学位置测量装置，带有量具，其与两个物体中的一个连接；以及用于扫描量具的扫描系统，其与两个物体中的另一个连接。通过扫描系统能沿着物体的横向的第一移动方向和竖直的移动方向同时确定位置。在扫描系统的侧面上构成两个扫描光路，在其中能分别从干涉的子光束在输出侧上产生相移信号组。通过扫描系统还构成至少一个第三扫描光路，通过第三扫描光路能沿着物体的横向的第二移动方向确定位置。光源的射束通过第一光导体和全部三个扫描光路共同的耦合输入光学件输送给扫描系统。在三个扫描光路中产生的干涉的子光束能通过共同的耦合输出光学件耦合输入到第二光导体中，其将光束输送给探测装置。
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公开(公告)号：CN104511794A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410525163.1
申请日：2014-10-08
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 约尔格·德雷谢尔 , 凯蒂·多德德斯-伊登 , 伯恩哈德·默施
CPC classification number: G01B11/14 , B23Q3/18 , G03F7/70775
Abstract: 本发明涉及一种用于相对于工件定位工具的装置，具有用于容纳工件的能运动的工作台，其中在加工工件期间该工作台在两个主运动方向上运动，还具有一个或者多个平面的量具，其位置固定地围绕工具布置并且沿主运动方向的平面扩展，还具有用于检测工作台相对于量具的位置的探针头，其安装在工作台的至少三个角中，其中利用探针头能在六个自由度上确定工作台的位置。在角中的至少一个之内，存在一个或者多个具有总共至少三个测量轴线的、用于在三个独立的空间方向上进行3D位置检测探针头。在此测量轴线的灵敏度矢量为了3D位置检测既不平行于XZ平面也不平行于YZ平面。以这种方式，当在主运动方向上运动工作台时，所有的测量轴线都提供周期性的信号。
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公开(公告)号：CN107017179A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201610839193.9
申请日：2016-09-21
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 约尔格·德雷谢尔 , 马库斯·迈斯纳 , 拉尔夫·约尔格尔 , 伯恩哈德·默施 , 托马斯·卡埃尔贝雷尔
CPC classification number: G03F7/00 , G01D5/266 , G01D5/30 , G03F7/70775 , H01L21/67011 , G01B11/002 , H01L22/12
Abstract: 本发明涉及一种具有位置测量装置的X‑Y工作台，具有工作台，其布置在相对于固定的地面能在工作台平面的两个相互垂直的方向中的一个上运动的载体上，并且其能在该载体上在两个方向中的另一个上运动，从而使工作台能总体上在与固定的地面平行的平面中定位。为了在两个方向中的每个上进行位置测量，扫描头分别发送穿过沿着工作台的边缘固定的透射的刻度的光。光由相对于布置在工作台上方的加工工具地点固定的反射的刻度经由透射的刻度反射回到扫描头。在载体上布置有扫描头的两个组，从而在工作台的中间部位中使两个组与透射的刻度配合，然而在工作台的两个边缘部位中仅有这些组中的一个与透射的刻度配合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103258769B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201310049208.8
申请日：2013-02-07
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 约尔格·德雷谢尔 , 马库斯·迈斯纳 , 拉尔夫·约尔格尔 , 伯恩哈德·默施 , 托马斯·卡埃尔贝雷尔
IPC: H01L21/68
CPC classification number: G01B11/002 , G01B11/14 , H01L21/67138 , H01L21/67144 , H01L21/6715 , H01L21/68 , H01L21/681 , Y10T29/49778 , Y10T29/54
Abstract: 本发明涉及用于将加工工具相对于工件定位的一种装置和一种方法。在此，目标校准标记和工件布置在第一目标上。在工件上还布置有工件校准标记。在相对于第一目标沿着至少一个运动方向能运动地布置的第二目标上布置有加工工具，通过该加工工具能探测目标校准标记。此外，在其上还布置有校准传感器，通过该校准传感器能探测目标校准标记和工件校准标记。此外在第二目标上还布置有能扫描的整体量具，该整体量具沿着至少一个运动方向延伸。在第一目标上布置有至少两个用于对整体量具进行扫描的扫描单元，以便这样沿着运动方向确定在第一和第二目标之间的相对位置，其中，两个扫描单元具有定义的偏差。
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公开(公告)号：CN105300278A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510307095.6
申请日：2015-06-05
Applicant: 约翰内斯·海德汉博士有限公司
Inventor： 约尔格·德雷谢尔 , 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 拉尔夫·约尔格尔 , 托马斯·卡埃尔贝雷尔 , 马库斯·迈斯纳 , 伯恩哈德·默施 , 埃尔温·施潘纳
CPC classification number: G01B11/14 , G01B9/02015 , G01D5/266 , G01D5/345 , G01D5/34707
Abstract: 本发明涉及一种光学位置测量装置，获取能彼此相对地沿至少一个测量方向运动地布置的第一和第二整体量具的相对位置。在分离光栅处由光源发射的光束分离成至少两个子射束。子射束在经过扫描光路时经历不同偏振光学作用。不同偏振的子射束在合并光栅处重新合并后，能从合成光束中产生多个相位偏移的取决于偏移的扫描信号。在分离和重新合并间的子射束的扫描光路中未布置偏振光学构件。为在子射束上产生不同偏振光学作用，锥形入射的照明光束作用到分离光栅上，其中入射的照明光束在垂直测量方向的平面中以不同于0°的角度延伸且入射面通过分离光栅的光栅法线和照明光束入射方向张开。分离和重新合并间的子射束的扫描光路设计为关于入射面镜面对称。
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公开(公告)号：CN104515467B
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201410525165.0
申请日：2014-10-08
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 约尔格·德雷谢尔 , 马库斯·迈斯纳
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B11/14 , G01B9/00 , G01D5/34715 , G01J1/0403
Abstract: 本发明涉及一种光学的位置测量装置，包括量具和能相对所述量具沿着至少一个测量方向运动的扫描单元，其中，在量具与扫描单元之间设计扫描光路，该扫描光路用于产生与移动相关的信号。保护罩布置成能沿着垂直于量具‑平面的轴线运动，使得在至少一种工作模式下，该保护罩尽可能地环绕扫描单元与量具之间的扫描光路。
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公开(公告)号：CN104515468B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201410525795.8
申请日：2014-10-08
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
Inventor： 沃尔夫冈·霍尔扎普费尔 , 约尔格·德雷谢尔 , 罗伯特·克尔纳 , 马库斯·迈斯纳
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B11/14 , G01B9/02049 , G01B9/02083 , G01D5/38
Abstract: 本发明涉及一种用于检测两个能彼此相对运动的物体的光学位置测量装置，带有量具，其与两个物体中的一个连接；以及用于扫描量具的扫描系统，其与两个物体中的另一个连接。通过扫描系统能沿着物体的横向的第一移动方向和竖直的移动方向同时确定位置。在扫描系统的侧面上构成两个扫描光路，在其中能分别从干涉的子光束在输出侧上产生相移信号组。通过扫描系统还构成至少一个第三扫描光路，通过第三扫描光路能沿着物体的横向的第二移动方向确定位置。光源的射束通过第一光导体和全部三个扫描光路共同的耦合输入光学件输送给扫描系统。在三个扫描光路中产生的干涉的子光束能通过共同的耦合输出光学件耦合输入到第二光导体中，其将光束输送给探测装置。
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公开(公告)号：CN103512493B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201310240064.4
申请日：2013-06-17
Applicant: 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司
CPC classification number: G01B11/14 , G01D5/38 , G03F7/70775
Abstract: 本发明涉及一种位置测量装置，其用于检测两个机器组件的相对位置，机器组件至少沿第一和第二主运动方向在移动平面中相对彼此可运动地布置。位置测量装置包括至少一个量具，该量具布置在第一机器组件上。在第二机器组件上布置有至少六个扫描单元，该扫描单元用于在移动平面中在至少两个测量方向上光学扫描量具。在此，每个测量方向对应于至少两个扫描单元。在移动平面中的分别一个测量方向的扫描单元非点对称式地相对于第二机器组件的中心布置。
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