公开(公告)号：CN108449702A

公开(公告)日：2018-08-24

申请号：CN201810151536.1

申请日：2018-02-14

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A·沃瑟 ,  C·阿伦斯 ,  A·德厄 ,  G·梅茨格-布吕克尔 ,  J·斯特拉塞

IPC: H04R19/04

Abstract: 微型机电麦克风可以包括：参考电极，布置在所述参考电极的第一侧并且能够通过待检测的声音移动的第一膜，以及布置在与参考电极的第一侧相对的所述参考电极的第二侧上并且能够通过待检测的声音移动的第二膜。第一膜和第二膜中的一个的、通过声音相对于参考电极移动的区域，不取决于其相对于参考电极的位置，该区域可以包括平坦部分以及邻近该平坦部分并且在膜的与第一膜和第二膜中另一个的重叠区域中布置的波纹部分。

公开(公告)号：CN109678105B

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN201811217950.4

申请日：2018-10-18

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： G·梅茨格-布吕克尔 ,  A·德厄 ,  U·赫科勒 ,  J·斯特拉塞 ,  A·沃瑟

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  H04R19/04

Abstract: 本公开的实施例涉及封闭通向空腔的进入开口的方法和具有封闭元件的MEMS部件。该方法具有以下步骤：提供具有第一层结构的层布置和与第一层结构邻接地布置的空腔，其中第一层结构具有通向空腔的进入开口；执行CVD层沉积以便在具有进入开口的第一层结构上形成具有层厚度的第一覆盖层；和执行具有第一子步骤和第二子步骤的HDP层沉积以便在第一覆盖层上形成第二覆盖层，其中在第一子步骤中，在第一覆盖层上发生衬垫材料层的沉积，其中在第二子步骤中，在进入开口的区域中实现衬垫材料层的以及第一覆盖层的局部背向溅射，并且其中第一子步骤和第二子步骤交替地且多次重复地执行。

公开(公告)号：CN112343801B

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202010721059.5

申请日：2020-07-24

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： M·塞德尔 ,  A·德厄 ,  D·弗鲁赫特尔 ,  W·克莱因 ,  U·克鲁宾 ,  J·斯特拉塞 ,  M·沃布尔

IPC: F04B43/04 ,  F04B53/10 ,  F04B49/06 ,  F04B49/22

公开(公告)号：CN112340692A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN202010787920.8

申请日：2020-08-07

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A·沃瑟 ,  S·巴曾 ,  W·克莱因 ,  J·斯特拉塞

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明的实施例总体上涉及MEMS器件。一种微机电系统(MEMS)器件包括布置在基底之上的柔性膜和布置在柔性膜之上的第一背板。第一背板包括面向柔性膜的第一多个凸出部。MEMS器件还包括布置在柔性膜处的多个特征，其中多个特征中的每个特征与第一多个凸出部中对应的一个凸出部相关联。

公开(公告)号：CN109525928A

公开(公告)日：2019-03-26

申请号：CN201811089999.6

申请日：2018-09-18

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： A·德厄 ,  U·克鲁宾 ,  G·梅茨格-布吕克尔 ,  J·斯特拉塞 ,  J·瓦格纳 ,  A·沃瑟

IPC: H04R19/04

Abstract: 本申请涉及一种MEMS麦克风。该MEMS麦克风可以包括：声音检测单元以及阀。声音检测可以包括：第一膜；与第一膜间隔布置的第二膜；被提供在第一膜和第二之间的低压区域，在该低压区域中存在与常压相比较小的气压；至少部分地布置在低压区域中的反电极；以及声通孔，该声通孔在声音检测单元的厚度方向上延伸穿过声音检测单元。阀被被提供在声通孔处，并且设置成能够取多个阀状态，其中每个阀状态对应于所述声通孔对于声音的一个预设透射度。