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公开(公告)号：CN111128806A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911388369.3
申请日：2019-12-30
申请人： 荆门微田智能科技有限公司
发明人： 曹七芳
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，包括机架、分别设于机架左右两端的左滑台转移机构和右滑台转移机构，以及多个挂具机构、并排设于机架上且位于左滑台转移机构和右滑台转移机构之间的第一保持轨道和第二保持轨道，第一保持轨道转动设有第一移料轨道，第二保持轨道转动设有第二移料轨道，还包括清洗槽和清洗干燥槽，清洗槽和清洗干燥槽均位于第一保持轨道或第二保持轨道的下方，清洗干燥槽的两内侧壁上设有喷气组件，喷气组件用于对经过清洗后的晶圆进行干燥处理；本发明利用左、右滑台转移机构，第一、二移料轨道以及第一、二保持轨道相互配合实现挂具机构循环，从而可以连续进行晶圆的清洗干燥处理，提高生产效率，适合自动化生产。
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公开(公告)号：CN111069169A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201911388370.6
申请日：2019-12-30
申请人： 荆门微田智能科技有限公司
发明人： 曹七芳
摘要： 本发明公开了一种轨道式晶圆清洗干燥整机流水线，包括机架、分别设于机架左右两端的左滑台转移机构和右滑台转移机构，以及多个挂具机构、并排设于机架上且位于左滑台转移机构和右滑台转移机构之间的第一保持轨道和第二保持轨道，第一保持轨道转动设有第一移料轨道，第二保持轨道转动设有第二移料轨道，还包括清洗槽和清洗干燥槽，清洗槽和清洗干燥槽均位于第一保持轨道或第二保持轨道的下方，清洗干燥槽的两内侧壁上设有喷气组件，喷气组件用于对经过清洗后的晶圆进行干燥处理；本发明利用左、右滑台转移机构，第一、二移料轨道以及第一、二保持轨道相互配合实现挂具机构循环，从而可以连续进行晶圆的清洗干燥处理，提高生产效率，适合自动化生产。
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公开(公告)号：CN111006005A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911345825.6
申请日：2019-12-24
申请人： 荆门微田智能科技有限公司
发明人： 曹七芳
IPC分类号： F16H57/04
摘要： 本发明公开了一种底部加压供油式的自润滑雨刷电机，包括齿轮箱体、箱体上盖、油底槽、驱动电机、主动涡轮、从动齿轮、传动蜗杆、雾化喷头及加压柱塞泵；油底槽连接在齿轮箱体的底部，齿轮箱体设有回油孔；主动涡轮与传动蜗杆、从动齿轮均啮合，主动涡轮设有偏心连接部，偏心连接部的中心轴线与主动涡轮的中心轴线不在同一直线上；加压柱塞泵包括进油端和出油端和活塞，活塞的一端与偏心连接部连接，进油端与储油腔连接，出油端与雾化喷头连接。本发明能够实现润滑油的循环使用，延长添加润滑油的间隔时间，使用更方便；同时将润滑油转变为雾状，进而可以增大润滑油的接触面积，使润滑的范围更大，润滑效果更好，延长自润滑雨刷电机的使用寿命。
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公开(公告)号：CN110925581A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911372439.6
申请日：2019-12-27
申请人： 荆门微田智能科技有限公司
发明人： 曹七芳
摘要： 本发明公开了一种可实现润滑油循环利用的自润滑雨刷电机，包括壳体、上盖、储油槽、驱动电机、雾化喷头、输入涡轮、输出齿轮、动力蜗杆及齿轮加压泵，壳体设有回油孔，动力蜗杆套接有油泵驱动齿，驱动电机与动力蜗杆的一端传动连接，输出齿轮转动连接在容置槽上，输入涡轮的一端转动连接在容置槽上，输入涡轮与动力蜗杆、输出齿轮均啮合，齿轮加压泵设于壳体内，齿轮加压泵上转动连接有油泵从动齿，齿轮加压泵用于将第一腔体内的润滑油吸入并加压后泵送至雾化喷头内；本发明能够实现润滑油的循环利用，延长添加润滑油的间隔时间，降低使用成本，使用更方便；同时将润滑油变成雾状形态，增大润滑油的接触面积，润滑效果更好，使用寿命更长。
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