公开(公告)号：CN110514877A

公开(公告)日：2019-11-29

申请号：CN201910818916.0

申请日：2019-08-30

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 杨树明 ,  程碧瑶 ,  李少博 ,  杨晓凯 ,  王飞

IPC: G01Q70/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/22 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种大长径比探针的组装方法，该探针包括原子力显微镜探针以及位于针尖的纳米结构，该探针的组装方法为：首先将原子力显微镜探针进行亲水处理，然后将亲水处理后的原子力显微镜探针放置于分散有一维纳米材料的混合溶液中进行组装，得到大长径比探针，并且通过调整一维纳米材料混合溶液的浓度，能够得到不同大长径比的探针。本发明提供的大长径比探针的组装方法，简单易行，不需要复杂昂贵的设备，节约成本。对高深宽比复杂微细结构的测量具有高精度的测量能力。本发明克服了当前使用原子力普通硅探针对高深宽比微细结构成像易产生成像假象的问题。

公开(公告)号：CN110233182A

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201910572336.8

申请日：2019-06-28

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 杨树明 ,  吉培瑞 ,  王一鸣 ,  杨晓凯

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/09 ,  H01L31/028 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种复合结构双吸收层石墨烯探测器及其制备工艺。该探测器包括二氧化硅基底、石墨烯纳米带、金属电极、纳米光栅天线、金属量子点、金属膜环带片和透明粘合剂。通过亚波长纳米光栅天线对光束进行耦合传导同时产生等离子体共振，提高接收效率并增强光电响应；通过金属量子点激发表面等离子体激元，产生表面等离子体共振增强光电响应；通过金属膜环带片对入射光束聚焦，使得入射光能量集中作用在探测区域，增强光电响应。采用正反两面探测器结构，正面与背面同时接收并转换成光电流，有效增大了接收面积，进一步了提高光电响应。相应的制备工艺操作简单，可靠性强。本发明有助于突破石墨烯弱光子能量探测的技术瓶颈。