一种基于MEMS工艺薄膜应变热导率测试装置及方法

    公开(公告)号:CN108844990A

    公开(公告)日:2018-11-20

    申请号:CN201810317787.2

    申请日:2018-04-10

    IPC分类号: G01N25/20

    摘要: 本发明公开了一种基于MEMS工艺薄膜应变热导率测试装置及方法,包括在外屏蔽罩下方设有的加热台,在外屏蔽罩内设有载物台,在载物台上设有压电测试装置,在压电测试装置上放置有测试片;在外屏蔽罩内壁设有温度传感器和通气孔;通过压电测试装置的压电驱动部件施加位移,压电测试装置的带动连接片,将位移施加到测试片使得镀有薄膜的测试片上的薄膜产生应变,应变大小为施加位移与应变片的设计大小比值确定。通过控制进给位移来控制薄膜应变的大小,通过向测试电极通入交流电流,通过读取从测试电极采集的3ω谐波的成分的大小并进过推导公式计算得到待测薄膜的热导率。此方法简单,完全满足测量薄膜不同应变下不同温度下的热导率的要求。

    光学元件亚表面损伤的化学刻蚀测量方法、辅助实验装置及试验方法

    公开(公告)号:CN107907086A

    公开(公告)日:2018-04-13

    申请号:CN201711132418.8

    申请日:2017-11-15

    IPC分类号: G01B21/18 G01N1/32

    CPC分类号: G01B21/18 G01N1/32

    摘要: 本发明涉及光学元件亚表面损伤的化学刻蚀测量方法、辅助实验装置及试验方法,该方法通过测量刻蚀过程中样品的粗糙度,绘制粗糙度轮廓随刻蚀时间的演化关系曲线,来得到亚表面损伤深度值。利用化学刻蚀辅助装置,实现对光学元件的刻蚀、清洗和烘干过程,并在清洗过程加入超声震荡仪辅助清洗,在烘干过程加入吹风机与电机辅助烘干。本发明能够快速、准确地测量出亚表面损伤深度,且设计了一套刻蚀辅助装置,装置操作简单、效率高、危险性低,而且能有效减少刻蚀过程中产生的沉积物,大大降低了其对刻蚀及测量的影响。

    一种基于半导体气敏传感器阵列检测呼出气体装置

    公开(公告)号:CN106841325A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201710035117.7

    申请日:2017-01-18

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: 本发明公开了一种基于半导体气敏传感器阵列检测呼出气体装置,包括:呼出气体收集模块、信号发生模块、信号处理模块和模式识别模块;呼出气体通过预热处理和温湿度检测后,进行定量收集;呼出气体与对气体具有选择性的半导体气敏传感器阵列的气体敏感薄膜发生反应,致使阻值变化对应电压信号变化;信号处理模块将电压信号进行放大、滤波等处理后进行模数转换;模式识别模块使用模式识别方法对所采集的数据进行训练和识别。该装置能实现呼出气体的多种敏感气体同步分析,具有体积小、功耗低、准确性高、实时检测等优点,适用于医疗辅助诊断和健康情况监测。

    无动力捕获装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN105347182B

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201510866866.5

    申请日:2015-11-30

    IPC分类号: B66C1/42

    摘要: 本发明公开了一种无动力捕获装置及其使用方法,该装置包括箱体,起吊架穿过箱体,在起吊架上固设有齿条,箱体内设有可转动的轴,轴上固设有齿轮,齿轮与齿条啮合连接;在箱体底部设有至少两个相对布置的摇板,摇板的外侧与箱体通过铰接件铰接;轴与连杆的一端固定连接,在摇板上设有滑槽,滑块位于滑槽内,连杆的另一端通过销钉与滑块铰接,由连杆的摆动驱动摇板的开合。本发明提供的一种无动力捕获装置,能够利用重力使捕获物凸起卡入到捕获口内,实现无需动力的将水面设备捕获。

    封闭空间内空气质量监测及净化装置

    公开(公告)号:CN103170240B

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201310061339.8

    申请日:2013-02-27

    IPC分类号: B01D53/86 B01D53/72 B01D53/30

    摘要: 本发明公开了一种封闭空间内空气质量监测及净化装置,包括由光触媒模块、置于光触媒模块上侧面上方的紫外光模块、置于光触媒模块侧面的风扇,其特征在于,光触媒模块置于相互平行的前板与后板之间;紫外光模块、风扇与一个监测与控制模块的控制输出端相连接,该监测与控制模块的输入端则与一个空气探测模块相连接,空气探测模块由安装在后板里面的气体传感器组成,气体传感器至少包括两个,分别用于探测甲醛、氧气的浓度;前板外面设有显示器与监测与控制模块的显示输出端相连接,所述监测与控制模块置于光触媒模块与后板之间。

    一种用于氧传感器的TiO2敏感层结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN103018309B

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201210521345.2

    申请日:2012-12-06

    IPC分类号: G01N27/409

    摘要: 本发明涉及一种用于氧传感器的TiO2敏感层结构及其制备方法,TiO2敏感层结构通过网状处理,可抑制裂纹产生和裂纹的传播,有效的减少了热应力产生的裂纹,表面与体积比的提高,有利于氧气的吸附从而增加了TiO2敏感层敏感性和减少响应时间。本发明TiO2敏感层制备方法是在有加热丝的硅基片上进行,首先在加热丝上制备出绝缘层,在绝缘层上制备叉指电极,然后在叉指电极上制备TiO2薄膜,用反应离子刻蚀把TiO2薄膜做出网状结构。

    一种硬脆性高精元件亚表面损伤程度的表征方法

    公开(公告)号:CN103163154A

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN201310044339.7

    申请日:2013-02-04

    IPC分类号: G01N21/95

    摘要: 本发明公开了一种硬脆性高精元件亚表面损伤程度的表征方法,其特征在于,用两块样品作腐蚀试验,由第一块样品获得抛光沉积层的纵向去除速率,然后对第二块样品腐蚀中即可精确获得腐蚀时间及厚度,使第二块样品亚表面微裂纹完全暴露出来,最后使用共聚焦显微镜对第二样品亚表面损伤进行快速准确的观测及计算;建立高精元件亚表面损伤微裂纹的表征参数。

    一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法

    公开(公告)号:CN102530841A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201210014024.3

    申请日:2012-01-17

    IPC分类号: B81C1/00

    摘要: 本发明公开一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法,其特征在于,以高精光学玻璃元件为研究对象,在采用不同形状压头显微硬度计制作出不同压痕形状和压痕阵列图案的机械加工方法基础上,结合湿法腐蚀工艺,采用不同浓度的BOE溶液(HF和NH4F溶液的混合液)对样品进行不同时间间隔的腐蚀,从而产生出不同形状和不同高深宽比结构的高精光学玻璃微结构。