一种高深宽比微型气相色谱柱芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN106770854B

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201611184707.8

    申请日:2016-12-20

    IPC分类号: G01N30/60

    摘要: 本发明公开了一种高深宽比微型气相色谱柱芯片的制备方法,包括制作掩膜版;硅片预处理;进行匀胶光刻工艺,显影;然后再溅射一层金属铝作为掩蔽层,超声剥离,暴露出要刻蚀的通道,进行深干法刻蚀,调整垂直刻蚀和沉积保护的参数;将两片刻蚀图形完全相同的基片进行阳极键合,在键合完成的芯片双面溅射薄膜加热器和测温电阻用于色谱柱加热和温度调控;采用静态涂覆方法在微型色谱柱内部形成一层PDMS薄膜。该方法制备的微型气相色谱柱,侧壁陡直,深宽比大,在原有的刻蚀基础上将微型气相色谱柱的深宽比提高了一倍。其制备方法简单可靠,制备的微型色谱柱芯片灵敏度和分辨率更高。

    一种基于半导体气敏传感器阵列检测呼出气体装置

    公开(公告)号:CN106841325A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201710035117.7

    申请日:2017-01-18

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: 本发明公开了一种基于半导体气敏传感器阵列检测呼出气体装置,包括:呼出气体收集模块、信号发生模块、信号处理模块和模式识别模块;呼出气体通过预热处理和温湿度检测后,进行定量收集;呼出气体与对气体具有选择性的半导体气敏传感器阵列的气体敏感薄膜发生反应,致使阻值变化对应电压信号变化;信号处理模块将电压信号进行放大、滤波等处理后进行模数转换;模式识别模块使用模式识别方法对所采集的数据进行训练和识别。该装置能实现呼出气体的多种敏感气体同步分析,具有体积小、功耗低、准确性高、实时检测等优点,适用于医疗辅助诊断和健康情况监测。

    一种人体肺功能参数与呼气VOCs相结合的检测方法及装置

    公开(公告)号:CN110269620B

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN201910563517.4

    申请日:2019-06-26

    IPC分类号: A61B5/08 A61B5/087

    摘要: 本发明公开了一种人体肺功能参数与呼气VOCs相结合的检测方法及装置,包括:a.受试者将呼出气体经呼吸气罩和过滤器,将呼出气体中的水分与杂质过滤掉;b.实时监测呼气流速变化,生成呼气流速曲线;c.设备控制器判断呼气过程的前、中或者后期,进行阀门上下通道的启闭,将不相关呼气组分排出室外,将与肺泡交换的相关呼气组分通入气体传感器阵列的气室内部;设备控制器获得电压峰值变化曲线,通过电压峰值变化高度,计算出该呼气中的标志性VOCs气体实际浓度。该装置将肺功能参数与呼气VOCs成分、浓度参数两大参数结合进行预测、将数据用于评估疾病,其准确精度高,便于推广使用。

    一种基于半导体气敏传感器阵列检测呼出气体装置

    公开(公告)号:CN106841325B

    公开(公告)日:2019-10-11

    申请号:CN201710035117.7

    申请日:2017-01-18

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: 本发明公开了一种基于半导体气敏传感器阵列检测呼出气体装置,包括:呼出气体收集模块、信号发生模块、信号处理模块和模式识别模块;呼出气体通过预热处理和温湿度检测后,进行定量收集;呼出气体与对气体具有选择性的半导体气敏传感器阵列的气体敏感薄膜发生反应,致使阻值变化对应电压信号变化;信号处理模块将电压信号进行放大、滤波等处理后进行模数转换;模式识别模块使用模式识别方法对所采集的数据进行训练和识别。该装置能实现呼出气体的多种敏感气体同步分析,具有体积小、功耗低、准确性高、实时检测等优点,适用于医疗辅助诊断和健康情况监测。

    一种人体肺功能参数与呼气VOCs相结合的检测方法及装置

    公开(公告)号:CN110269620A

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201910563517.4

    申请日:2019-06-26

    IPC分类号: A61B5/08 A61B5/087

    摘要: 本发明公开了一种人体肺功能参数与呼气VOCs相结合的检测方法及装置,包括:a.受试者将呼出气体经呼吸气罩和过滤器,将呼出气体中的水分与杂质过滤掉;b.实时监测呼气流速变化,生成呼气流速曲线;c.设备控制器判断呼气过程的前、中或者后期,进行阀门上下通道的启闭,将不相关呼气组分排出室外,将与肺泡交换的相关呼气组分通入气体传感器阵列的气室内部;设备控制器获得电压峰值变化曲线,通过电压峰值变化高度,计算出该呼气中的标志性VOCs气体实际浓度。该装置将肺功能参数与呼气VOCs成分、浓度参数两大参数结合进行预测、将数据用于评估疾病,其准确精度高,便于推广使用。

    人体呼吸标志VOCs气体的分离检测方法、系统及应用

    公开(公告)号:CN114509527A

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202210138061.9

    申请日:2022-02-15

    IPC分类号: G01N30/88

    摘要: 本发明公开了一种人体呼吸标志VOCs气体的分离检测方法、系统及应用,包括载气吹扫、气体采样、进样分离、气体检测和测试清洗过程。通过六通阀分别连通载气瓶、微型色谱柱、传感器、样品袋、定量环、隔膜泵和单片机,构成载气吹扫通路、采集通路、进样分离通路和测试清洗通路,通过进样单元采集样品气体,气体流路单元运输样品,分离单元混合样品分离;传感单元检测由色谱柱分离的单一气体;将得到的色谱峰谱图进行特征提取,可在15min内进行实现人体呼吸中相应VOCs标志气体的识别和疾病初级筛查,检测误差精确在10%以内。

    一种用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法

    公开(公告)号:CN106568812B

    公开(公告)日:2020-03-17

    申请号:CN201610986306.8

    申请日:2016-11-09

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: 本发明公开了一种用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法,分别将盐酸溶液和钛酸四丁酯混合,然后加入油酸溶液,进行水热反应后,对产物反复进行清洗,干燥,退火,即得到纳米TiO2粉末;所得的纳米TiO2粉末与有机溶剂超声混合,得到乳白色的TiO2悬浮液;将所得的悬浮液均匀地喷涂在传感器芯片电极位置表面,然后将传感器芯片按照阶梯加热方式,退火;将传感器芯片焊接至TO管底座,将所得气敏元件置于密封气室中,对加热电极进行老化,即构建一种对Isoprene气体具有响应的气体传感器。该方法解决MEMS工艺和纳米技术不兼容的问题,制备方法简单可靠;可检测不同浓度的Isoprene气体,重复性好,响应快。

    一种微型气体富集器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107014666B

    公开(公告)日:2019-06-11

    申请号:CN201710170246.7

    申请日:2017-03-21

    IPC分类号: G01N1/40 B23P15/00

    摘要: 本发明公开了一种微型气体富集器及制备方法,包括一个填充层,一个覆盖在填充层上的封装层,在填充层上表面加工有对称分布的分流微型通道,通道内填充吸附颗粒;在封装层上开有与所述分流微型通道相连通的进气孔和出气孔,且出气孔处设有用于固定过滤层的沉孔;对应进气孔和出气孔处密封安装有进口转接管和出口转接管;在填充层上设置有SiO2介电层,SiO2介电层上分别设置一对快速加热元件和一对敏感测温元件。被富集气体自进口转接管进入,经过吸附颗粒的物理吸附作用,实现浓度富集,然后穿过过滤层并从出口转接管处排出。本发明富集器实现了微型化,具有高富集率、低功耗、低成本、易加工、材料稳定和易集成等特点;加热元件厚膜工艺简单、成本低。

    一种基于金属基片的微型填充式富集器及制备方法

    公开(公告)号:CN106568640B

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201610986295.3

    申请日:2016-11-09

    IPC分类号: G01N1/40

    摘要: 本发明公开了一种基于金属基片的微型填充式富集器及制备方法,包括自上而下依次分布的封装片、钎焊层、基片层和介电层,其中基片层上表面开有微型通道,微型通道内填充有吸附剂材料,基片层的侧面开有进口和出口,并分别与微细管道进行连接;被测气体自基片层的进口透过吸附剂材料的缝隙从基片层的出口通过;所述介电层上设置有一对加热元件和一对敏感元件。本发明使得富集器实现微型化、高富集率、低功耗、材料稳定、易于集成;相比较硅微基具有更好的导热性能,且其具有死体积小、热容小、功耗低、升温快等优点;加热元件采用厚膜工艺,工艺简单、成本低。