公开(公告)号：CN1379277A

公开(公告)日：2002-11-13

申请号：CN02108754.7

申请日：2002-03-29

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 黄旷兆 ,  金佑炫

IPC: G02F1/136 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26

CPC classification number: H01L27/1288 ,  G02F1/136227 ,  G02F2001/136236 ,  H01L27/1214 ,  H01L29/66765 ,  Y10S438/949

Abstract: 一种液晶显示器阵列衬底的制造方法包括以下步骤:通过在一衬底上形成一金属材料,在该衬底上形成一选通线和一栅极;在该衬底上形成一选通绝缘层;在该选通绝缘层上形成一有源层和一欧姆接触层;在该衬底上形成一数据线、一源极和一漏极;通过在该衬底上淀积一绝缘材料形成一钝化层;通过对该钝化层制作图案形成一漏极接触孔,该漏极接触孔露出漏极的一部分;在该钝化层上形成一透明金属层;在该透明金属层上形成一阻光层;通过将一掩模设置在阻光层之上来执行一曝光过程,该掩模包括一阻光部分、一缝部分和一透光部分;通过对曝光的阻光层进行显影和对所曝光的透明金属层进行蚀刻,形成一象素电极。