图案修正方法及图案修正装置

    公开(公告)号:CN101140364B

    公开(公告)日:2012-02-08

    申请号:CN200710148861.4

    申请日:2007-09-04

    CPC classification number: Y02W30/828

    Abstract: 本发明提供一种可用10μm左右的细线来修正断线缺陷部等、且缺陷部周围的污染小的图案修正方法。在所述图案修正方法中,在膜(3)的表面上照射激光来形成通孔(3a),使通孔(3a)的膜(3)表面侧的开口部与缺陷部(2a)空开规定间隙(G)地对置,在包括通孔(3a)在内的规定范围内将膜(3)推压在基板(1)上并通过通孔(3a)在缺陷部上涂敷修正浆液(12),以膜(3)的恢复力使膜(3)从基板(1)上剥离。因此,可抑制修正浆液(12)因毛细管现象而流入膜(3)与基板(1)之间。

    带旋转传感器的轴承及使用该轴承的电动机

    公开(公告)号:CN1621705A

    公开(公告)日:2005-06-01

    申请号:CN200310115752.4

    申请日:2003-11-28

    Abstract: 本发明涉及一种带旋转传感器的轴承及使用该轴承的电动机,其使泄漏磁通的输出信号的占空比变化量达到最小程度,即使在外加泄漏磁通的使用环境下,仍可获得稳定的传感器输出。在旋转侧的滚动轴承圈(32)上,设置按照N极、S极交替的方式进行磁特性磁化的受检测部(1)。按照与该受检测部(1)对置的方式,在固定侧的滚动轴承圈(33)上,设置磁性检测部(2)。该磁性检测部(2)由沿周向多个并排设置的模拟输出的磁性传感器(2a,2b)构成。设置将邻接的2个磁性传感器的差动输出作为1个相位量的编码信号而处理的差动输出发生机构(7)。

    轴承装置
    13.
    发明公开
    轴承装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN118922643A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202380030056.9

    申请日:2023-03-15

    Abstract: 轴承装置(1)具备包括外圈(3)、内圈(4)及转动体(8)的标准轴承(2)。轴承装置(1)具备:磁环(7),其固定于内圈(4);定子(5),其配置成与磁环(7)在标准轴承(2)的径向上相对,且固定于外圈(3);以及电路基板(13)。磁环(7)和定子(5)构成生成交流电力的发电机(G)。电路基板(13)包括:检测标准轴承(2)的状态的至少一个传感器;无线通信电路(18);以及电源电路(17),其将由发电机(G)生成的交流电力转换为直流电力。在外圈(3)的端部及内圈(4)的端部处形成的环状空间内,配置有磁环(7)、定子(5)以及电路基板(13)。

    转矩检测装置
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109313092B

    公开(公告)日:2021-05-11

    申请号:CN201780036824.6

    申请日:2017-06-07

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种转矩检测装置,其不需要初始设定时的机械的调整,另外在为简单的机构的同时,可进行稳定的转矩检测。转矩检测装置(1)包括可相互旋转的外圈(2)和内圈(3),检测作用于该外圈(2)和内圈(3)之间的转矩。包括弹性部件(4),该弹性部件(4)直接或间接地将外圈(2)和内圈(3)连接,对应于外圈(2)和内圈(3)的旋转位移而变形。角度传感器(40)检测外圈(2)和内圈(3)的旋转角。转矩获得机构(10)从由角度传感器(40)检测到的旋转角获得转矩。

    转矩检测装置
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109313092A

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201780036824.6

    申请日:2017-06-07

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种转矩检测装置,其不需要初始设定时的机械的调整,另外在为简单的机构的同时,可进行稳定的转矩检测。转矩检测装置(1)包括可相互旋转的外圈(2)和内圈(3),检测作用于该外圈(2)和内圈(3)之间的转矩。包括弹性部件(4),该弹性部件(4)直接或间接地将外圈(2)和内圈(3)连接,对应于外圈(2)和内圈(3)的旋转位移而变形。角度传感器(40)检测外圈(2)和内圈(3)的旋转角。转矩获得机构(10)从由角度传感器(40)检测到的旋转角获得转矩。

    涂布单元以及使用该涂布单元的图案修正装置

    公开(公告)号:CN102049366B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201010544371.8

    申请日:2010-11-03

    Inventor: 小池孝志

    Abstract: 一种涂布单元以及图案修正装置,其能以简单的结构迅速地进行预喷构件的退让和涂布元件的下降。所述涂布单元(19)包括:驱动装置(47),该驱动装置(47)在进行预喷动作时将预喷板(36)插入涂布部(20)与基板(1)之间,在预喷动作结束后,使预喷板(36)从涂布部(20)与基板(1)之间退让;以及X工作台(43)(仿形机构),该X工作台(43)随着插入预喷板(36)而使涂布部(20)上升,并随着预喷板(36)退让而使涂布部(20)下降。因此,能以简单的结构迅速地执行预喷板(36)的退让和涂布部(20)的下降。

    图案修正装置及图案修正方法

    公开(公告)号:CN102431289B

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201110261129.4

    申请日:2011-08-08

    Inventor: 小池孝志

    Abstract: 一种图案修正装置,即便在基板表面带电的情形下,也能以简单的结构正确地修正缺陷部。该图案修正装置是对形成于绝缘基板(6)表面的导电性图案(7)的开放缺陷部(7a)进行修正的装置,包括:对缺陷部(7a)喷射加湿气体以局部提高缺陷部(7a)及其附近的湿度的加湿喷嘴(11);以及在从加湿喷嘴(11)喷射加湿气体的期间,对缺陷部(7a)喷出修正墨水(2)的液滴(2a)的静电吸引型的喷墨喷嘴(1)。因此,不会受到缺陷部(7a)及其附近的静电的影响,能将修正墨水(2)涂布到缺陷部(7a)。

    轴承装置和电动垂直起降机
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117157469A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202280025699.X

    申请日:2022-03-28

    Abstract: 第一密封件(9)和第二密封件(10)通过夹入保持器(8)来将外圈(5)与内圈(6)之间的环状空间密闭。包括线圈(16)的定子(12)支承于第一密封件(9)并与磁环(13)相对。传感器(20)、无线通信电路(23)和电源电路(19)支承于第二密封件(10)。导线(11)将线圈(16)与电源电路(19)电连接。导线(11)具有配置在外圈(5)的外周面中沿轴承(2)的轴向延伸的槽(5b)内的部分。

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