公开(公告)号：CN106460190A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580033596.8

申请日：2015-06-19

申请人： TOTO株式会社

发明人： 岩泽顺一

IPC分类号： C23C24/04 ,  C04B41/87

CPC分类号： C04B35/505 ,  C04B35/62222 ,  C04B41/009 ,  C04B41/5045 ,  C04B41/87 ,  C04B2111/0025 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/762 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/781 ,  C04B2235/80 ,  C23C4/12 ,  C23C24/04 ,  Y02T50/6765 ,  C04B35/10 ,  C04B41/4545

摘要： 本发明的课题在于提供一种耐等离子体性构件，其特征在于，具备基材及层状结构物，层状结构物含有用气溶胶沉积法在前述基材表面形成的三氧化二钇多晶体并具有耐等离子体性，构成前述层状结构物的三氧化二钇多晶体具有立方晶和单斜晶混合存在的晶体结构，在构成前述层状结构物的三氧化二钇多晶体中，单斜晶相对于立方晶的比例为0％以上、60％以下，构成前述层状结构物的三氧化二钇多晶体的微晶尺寸为8nm以上、50nm以下。