侦测晶圆位置的方法及设备
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114171417A

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN202010945511.6

    申请日:2020-09-10

    发明人: 陈彦羽 吕明修

    IPC分类号: H01L21/66 H01L21/68 H01L21/67

    摘要: 一种侦测晶圆位置的方法和系统。旋转台以较快的转速在一方向上旋转,以带动被放置在旋转台上且外缘包含对位特征的待测晶圆旋转,同时侦测器侦测待测晶圆的外缘,以产生侦测结果给控制器,每一侦测结果对应旋转台的一旋转角度。当对位特征经过侦测器后,旋转台以较慢的转速反向旋转,以带动待测晶圆反向旋转,同时侦测器侦测反向旋转的待测晶圆的外缘,以产生侦测结果给控制器。当对位特征再次经过侦测器时,旋转台停止旋转,控制器根据累积的侦测结果和对应的旋转角度,推估待测晶圆的偏心位置以及对位特征的位置。由此节省侦测时间。

    用于滚珠轴承的滚珠保持器

    公开(公告)号:CN111288085B

    公开(公告)日:2022-02-15

    申请号:CN201811506994.9

    申请日:2018-12-10

    IPC分类号: F16C33/38 F16C33/66

    摘要: 本发明有关于一种用于滚珠轴承的滚珠保持器,其包含有一个第一环部、一个第二环部、多个第一肋部及多个第二肋部,所述第一肋部以等间隔排列方式设于第一环部,使得相邻二个第一肋部之间形成一个第一弧形凹槽,所述第二肋部以等间隔方式设于第二环部,使得相邻二个第二肋部之间形成一个第二弧形凹槽。此外,所述第一肋部以一对一的方式叠设于所述第二肋部,使得所述第一弧形凹槽、第二弧形凹槽之间为一对一地对应而分别形成一个滚珠容置槽。借此,本发明的滚珠保持器可以共享于以油脂或油气进行润滑的滚珠轴承,以增加使用上的便利性。

    滚珠螺杆预压衰退判定方法

    公开(公告)号:CN113834595A

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN202010510843.1

    申请日:2020-06-08

    发明人: 林育新

    IPC分类号: G01L5/24 G01M7/02 G06F17/14

    摘要: 一种滚珠螺杆预压衰退判定方法,借由一讯号连接一第一感测单元的计算机装置来实施,所述第一感测单元周期性地传送一相关于所述循环配件中之滚珠振动的振动讯号至所述计算机装置,并包含:(A)根据所接收到的至少一振动讯号,获得一振动时域数据;(B)根据所述振动时域数据,获得至少一笔对应所述振动时域数据的振动子频域数据;(C)对于每一振动子频域数据,获得一相关于所述振动子频域数据的振动特征向量;(D)根据所述振动特征向量、多个振动参考向量及一预压检测范围,获得一预压判定结果;(E)根据所述预压判定结果,判定所述滚珠螺杆之预压是否已衰退。

    脚踏控制装置
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111324171B

    公开(公告)日:2021-10-15

    申请号:CN201811543752.7

    申请日:2018-12-17

    发明人: 郭子维 柯丞唐

    IPC分类号: G05G1/38 A61B90/00

    摘要: 本发明提供一种脚踏控制装置,包括一方位基座、一踏板、一感测模块以及一传动机构。踏板连接于方位基座且可相对于方位基座偏摆;感测模块包括一第一感测器及一第二感测器;传动机构连接于踏板及感测模块,且传动机构包括一传动杆及一摆动杆。传动杆连接于踏板;摆动杆连接于传动杆,且摆动杆的延伸方向独立于传动杆的延伸方向。

    夹持机构
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111281725B

    公开(公告)日:2021-10-08

    申请号:CN201811492573.5

    申请日:2018-12-07

    发明人: 陈彦钧

    IPC分类号: A61G13/10 B25B11/00

    摘要: 本发明有关于一种夹持机构,其包含有一个支撑座、一个把手、一个夹持单元及一个锁制单元,其中的把手枢设于支撑座,夹持单元具有一个设于支撑座的上夹座、一个设于支撑座的下夹座与一个设于支撑座的滑块,至于锁制单元具有一个设于支撑座的止滑块与一个设于支撑座的锁杆。因此,当把手下压时会先带动锁杆对止滑块进行解锁,使滑块可以移动,接着滑块被把手推动之后将下夹座往上推顶,使上夹座、下夹座夹住手术床的一条边轨,最后在把手的复位过程中会带动锁杆对止滑块进行上锁,使滑块产生定位,以防止意外松脱。

    机械运作设备的电气保护装置

    公开(公告)号:CN110391647B

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN201810366437.5

    申请日:2018-04-23

    发明人: 张顺凯 黄彦舜

    IPC分类号: H02H9/00 H02H3/00

    摘要: 本发明的电气保护装置用于机械运作设备的控制器,且包括电路板、前级保护电路及后级保护电路。前级保护电路及后级保护电路形成于电路板上。前级保护电路连接电源及控制器的前级。前级保护电路有电气保护条件,用以在电源的瞬间突波能量超过电气保护条件时,阻挡瞬间突波能量进入控制器。后级保护电路连接前级保护电路及控制器的后级。在瞬间突波能量发生时后级保护电路的反应速度较前级保护电路的反应速度慢。本发明的电气保护装置可有效阻隔瞬间突波能量以避免机械运作设备的电子系统损坏。

    可用于多牙口循环的冷却式滚珠螺杆装置

    公开(公告)号:CN111365432B

    公开(公告)日:2021-09-21

    申请号:CN201811586363.2

    申请日:2018-12-25

    发明人: 庄裕纬 甘嘉伦

    IPC分类号: F16H25/22 F16H57/04

    摘要: 一种可用于多牙口循环的冷却式滚珠螺杆装置,包含螺杆、螺帽单元及至少一个冷却架桥单元。所述螺杆具有数个外导螺纹部,所述螺帽单元透过数个滚珠组螺设于所述螺杆,且包括两个端部、数个回流通道组及冷却通道组,所述回流通道组各具有内导螺纹部、轴向通孔及两个循环端件,所述冷却通道组的其中两个围绕轴线间隔设置的冷却流道之间供其中一个轴向通孔设置,所述冷却架桥单元包括桥接件,所述桥接件具有架桥主体,以及两个连接于所述架桥主体的连接管,所述架桥主体对应于其中一个循环端件且跨置于两个冷却流道之间。利用所述冷却架桥单元的设置能适于多牙口滚珠螺杆,且能达到冷却目的。

    滚珠螺杆的回流组件
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113404829A

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN202010186656.2

    申请日:2020-03-17

    IPC分类号: F16H25/22

    摘要: 一种滚珠螺杆的回流组件,该滚珠螺杆包括一个螺帽座、多个滚动件,及一个形成于该螺帽座内侧以供所述滚动件循环滚转的滚槽,该滚槽具有一个流出段及一个流入段,该回流组件包含一个回流件、一个回转槽、一个安装槽,及一个感测模组,该回流件设置于该螺帽座,该回转槽穿过该回流件且两相反端分别对应该流出段及该流入段,该回转槽包括一个连通该流出段且绕一个参考点回转的回转段,及一个连接该回转段及该流入段的导出段,该安装槽形成于该回流件且相对位于该回转段外侧,该感测模组设置于该安装槽内,并能于该回流件受力变形而于两相反侧受压时输出一个警告信号,而能达到安全防护的效果。

    视觉导引机器手臂校正方法

    公开(公告)号:CN112238453B

    公开(公告)日:2021-08-31

    申请号:CN201910654284.9

    申请日:2019-07-19

    IPC分类号: B25J9/16

    摘要: 本发明公开了一种视觉导引机器手臂校正方法,是用在一机器手臂,其运用步骤A)操作条件设定:B)放置校正目标:C)移动操作工具中心点:D)移动影像传感器:E)定位记号影像分析:F)影像与真实距离的校正:G)计算影像校正数据:H)计算影像传感器坐标系补偿量。让本发明提供的视觉导引机器手臂校正方法,不限于特定校正目标,如位图,而只需在校正目标内指定定位记号即可进行校正操作,可让校正操作省时。此外,通过影像分析方式判断坐标位置,也可以且减少因人为判断所产生的目视误差。

    扰油润滑的谐波减速机
    20.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110067844B

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN201810058810.0

    申请日:2018-01-22

    发明人: 钟克育 江智煜

    IPC分类号: F16H49/00 F16H1/32 F16H57/04

    摘要: 本发明公开了一种扰油润滑的谐波减速机,包含:一刚轮,轴向贯穿一容置孔,该容置孔的内周面具有一内环齿及一刚轮扰油区;一输出轴承,具有一外环及一内环,该外环固接于该刚轮一端;一柔轮,具有一底壁及一周壁,该周壁的外周面上具有一外环齿及一柔轮扰油区,该柔轮置于该刚轮的容置孔内;一波产生器,为椭圆形外廓,迫入于该柔轮的周壁内,使该柔轮的周壁外廓呈椭圆形;一压板,用以将该柔轮的底壁与该输出轴承的内环进行连接而呈同动;一扰油器,具有一环形部及若干扰油部,该环形部被压接于该柔轮的底壁与该输出轴承的内环间呈同动,所述扰油部位于该刚轮的刚轮扰油区与该柔轮的柔轮扰油区内;借以达到增进润滑、减少磨耗、缩减体积等功效。