用于从固体源递送试剂的系统

    公开(公告)号:CN101495190B

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN200680016777.0

    申请日:2006-03-09

    IPC分类号: A62B7/08 B01J7/00 A61L9/00

    摘要: 一种用于从其固体源递送试剂的系统(10),包括:一结构(16、22、24),被设置成通过所述结构的至少一部分将固体源材料(30)保持封闭,用于加热固体源材料并通过蒸发固体源材料从固体源材料中产生蒸气;热源(82),被设置成加热固体源材料,以实现所述蒸发;以及蒸气分配组件(52、54),被设置成从所述系统中排出蒸气。还描述了高传导性阀(1510),其适于用作用于试剂存储的分配控制阀以及分配容器,例如,容纳以低压分配的半导体制造试剂的容器。该高传导性阀包括阀体(1512),其中,进口和出口通道彼此基本垂直,它们的内部末端于阀室(1536)连通,该阀室包含有可选择性定位的阀元件,该阀元件可在完全打开位置与完全闭合位置之间移动。通过这种高传导性阀可以获得大约2.7至2.9的阀流量系数(Cv)值,这使得即使在极低压力的情况下(如20托以下),该阀也可获得优异的分配操作。

    一种高分子材料生产机器
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107670626A

    公开(公告)日:2018-02-09

    申请号:CN201711226130.7

    申请日:2017-11-29

    发明人: 姚瑶

    摘要: 本发明公开了一种高分子材料生产机器,其结构包括进料装置、反应装置、进料口、出料口、过滤网、第一电机和送料机构,所述进料装置的顶部设有进料口,所述进料装置的中间设有过滤网,所述过滤网的底部设有送料机构,所述送料机构的左部设有第二电机,所述送料机构的右部设有反应装置,所述反应装置的顶部设有第一电机,且所述第一电机的底部设有电机轴,所述电机轴的两侧分布有搅拌轴,所述反应装置的内部左侧设有消毒装置,所述反应装置的内部右侧设有加热装置,所述加热装置的内部分布有红外线加热装置,所述消毒装置的内部分布有紫外线消毒灯,所述反应装置的底部设有出料口。该高分子材料生产机器,提高反应的效率和质量,使用方便。

    一种生产石墨烯的双轴远红外反应釜

    公开(公告)号:CN107252667A

    公开(公告)日:2017-10-17

    申请号:CN201710488873.5

    申请日:2017-06-23

    发明人: 王纪中

    IPC分类号: B01J19/18

    摘要: 本发明涉及一种生产石墨烯的双轴远红外反应釜,属于压力容器技术领域。该反应釜包括反应釜本体、加热装置、搅拌器和反应釜支架,反应釜本体设置在反应釜支架上,反应釜本体可绕设置于反应釜支架上的中轴转动,反应釜可由第一伺服电机驱动沿顺时针方向旋转,反应釜本体外表面设有保温层,反应釜本体外周侧设置的远红外加热器;搅拌器设置在中轴的中心线上;搅拌器包括第二伺服电机、搅拌轴和搅拌桨;第二伺服电机设置在反应釜本体的顶部,搅拌器可在第二伺服电机的驱动下沿逆时针方向旋转。本发明通过反应釜本体与搅拌器相对旋转,增加内部反应釜的受热程度,使得加热更为均匀,避免局部受热时间过长,使得石墨烯的层键断裂,以此提高成品率。

    煅烧室和煅烧工艺
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103118978A

    公开(公告)日:2013-05-22

    申请号:CN201180046351.0

    申请日:2011-07-26

    发明人: M·弗金

    IPC分类号: C01B33/107

    摘要: 在可密封的坩埚中以搅拌方式来加热能够通过热分解产生有毒和/或腐蚀性气体的固体材料。搅拌棒支撑在向下延伸的轴上,这可使用唇缘密封件或其它机械密封件与铁磁密封件或旋转馈通的组合来实现。排空唇缘密封区,从而使少量的向上腐蚀性气体流不与铁磁流体的成分起有害反应。在用于煅烧氟硅酸钠以产生四氟化硅气体的工艺中,净化和/或清空所述唇缘密封件和铁磁流体密封区,以防止在初始干燥阶段期间吸收水。高纯度腐蚀性气体可通过在高温下分解前驱物固体产生,所述高纯度腐蚀性气体的合成工艺的优选实施例逐次使用干式真空泵和压缩机,以便在所述腐蚀性气体填充储存容器时对所述气体进行压缩。因此,防止水与四氟化硅起反应而产生腐蚀性的氟化氢气体。

    一种生产石墨烯的高效远红外反应釜

    公开(公告)号:CN107262000A

    公开(公告)日:2017-10-20

    申请号:CN201710488872.0

    申请日:2017-06-23

    发明人: 王纪中

    IPC分类号: B01J19/18

    摘要: 本发明涉及一种生产石墨烯的高效远红外反应釜,属于压力容器技术领域。该反应釜包括反应釜本体、加热装置、搅拌器和反应釜支架,反应釜本体设置在反应釜支架上,反应釜上端设有至少一个反应釜进料口,反应釜本体的下端设有一个反应釜出料口,反应釜本体外表面设有保温层,反应釜本体与保温层之间设置加热装置,加热装置包括绕反应釜本体外周侧设置的远红外加热器;搅拌器设置在反应釜本体的中心线上;搅拌器包括伺服电机、搅拌轴和搅拌桨;搅拌桨的叶片的外表面上涂敷有反射膜层。本发明通过设置在搅拌桨上的反射涂层,将光波反射,提高远红外加热器的热利用率,进而可以在一定程度上降低远红外加热器的运行功率,并提高生产效率。