基于MEMS扫描微镜的双通过光栅单色仪光路结构

    公开(公告)号:CN106017673A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610308908.8

    申请日:2016-05-10

    Applicant: 天津大学

    CPC classification number: G01J3/1804 G01J3/1838 G02B26/0833

    Abstract: 本发明属于光谱测量仪器领域,为提供一种基于MEMS扫描微镜的双通过光栅单色仪光路结构。本发明‑基于MEMS扫描微镜的双通过光栅单色仪光路结构,由光环形器,光纤信号输入端口,入射光纤端口,准直与聚焦镜,MEMES微镜,光栅,平面反射镜和出射光纤端口组成;光纤信号输入端口连接光环行器的第一端口,光信号经过光环行器的第二端口从入射光纤端口进去自由空间,经过双胶合透镜准直以后照射到MEMS微镜上,MEMS微镜将光信号反射到光栅上进行第一次衍射分光,紧接着平面反射镜将光信号按原路反射回光栅进行第二次衍射,最后进入入射光纤端口。本发明主要应用于光谱测量仪器设计制造。

    分光器
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105980819A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201580007227.1

    申请日:2015-02-03

    Abstract: 本发明的分光器(1A)具有分光单元(2A)、(2B)、(2C)。分光单元(2A)具有的光通过部(21A)、反射部(11A)、共通反射部(12)、分光部(40A)和光检测部(22A),从Z轴方向看时,沿着基准线(RL1)排列。分光单元(2B)具有的光通过部(21B)、反射部(11B)、共通反射部(12)、分光部(40B)和光检测部(22B),从Z轴方向看时,沿着基准线(RL2)排列。分光单元(2C)具有的光通过部(21C)、反射部(11C)、共通反射部(12)、分光部(40C)和光检测部(22C),从Z轴方向看时,沿着基准线(RL3)排列。基准线(RL1)与基准线(RL2)、(RL3)交叉。

    全息光栅及阴型光栅和复制光栅

    公开(公告)号:CN1117285C

    公开(公告)日:2003-08-06

    申请号:CN00133647.9

    申请日:2000-11-30

    Abstract: 一种全息光栅,其中相对在光致抗蚀层2上,按照大于所需槽的深度的值通过曝光方式形成的衍射光栅图形,沿与抗蚀图形的刻线方向相垂直,并且相对主板的法线方向的斜上的方向,借助按照O2/(CF4+O2)在0.1~0.9的比例范围而适当混合的CF4与O2的混合气体,进行蚀刻处理,直至光致抗蚀层2完全消失,直接在光学玻璃主板1上,刻线而形成所需深度的槽。该全息光栅具有耐久性,漫射光值优良,衍射效率较高,并且较宽波段的衍射变化较小。

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