离子源、操作离子源的方法、以及离子源系统

    公开(公告)号:CN1461036A

    公开(公告)日:2003-12-10

    申请号:CN03136854.9

    申请日:2003-05-23

    发明人: 木山俊昭

    IPC分类号: H01J27/02 H01J37/08

    CPC分类号: H01J27/04 H01J27/20

    摘要: 在一种离子源中,支承体以离子源凸缘为基础支承用于产生等离子体的等离子体产生室,在支承体内具有一空腔,该空腔设置在从等离子体产生室附近的一个位置到离子源凸缘附近的一个位置的范围内。所述空腔用作冷却介质通道,将冷却介质导入所述等离子体产生室附近的一个位置,从而冷却该等离子体产生室。所述等离子体产生室在离其很近的位置被冷却介质冷却。因此,等离子体产生室在产生等离子体时保持低温状态。