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公开(公告)号:CN100461448C
公开(公告)日:2009-02-11
申请号:CN03823717.2
申请日:2003-06-09
申请人: 硅光机械股份有限公司
CPC分类号: B81C1/00293 , B81C2203/0136 , H03H3/08 , H03H9/02921 , H03H9/02984 , H03H9/1092 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49007 , Y10T29/49011 , Y10T29/4902 , Y10T29/4908 , Y10T428/12521
摘要: 所揭示的一个实施例涉及用于密封晶片上的非硅基器件的有效区域的方法(100)。该方法包括至少在非硅基器件的有效区域上提供(104)牺牲材料;在晶片上沉积(108)密封涂层,以使密封涂层覆盖牺牲材料;以及用目标气氛替换(112、114)牺牲材料。所揭示的另一个实施例涉及以晶片级密封的SAW器件(即,在管芯与晶片分离之前)。该器件包括要保护的有效区域;电接触区域(4);以及平版印刷形成的结构(24),它密封至少有效区域并留下至少一部分电接触区域(4)被暴露。
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公开(公告)号:CN1741378A
公开(公告)日:2006-03-01
申请号:CN200510095974.3
申请日:2005-08-29
申请人: 京瓷株式会社
CPC分类号: H03H3/08 , H03H9/02614 , H03H9/02921
摘要: 本发明涉及一种声表面波元件,在钽酸锂单晶体或铌酸锂单晶体所构成的、含氧量比化学计量比组成少的弱热电性的压电基板(1)上,形成氧化层(2),在其之上形成IDT电极(3)。因此,能够消除弱热电性的压电基板的热电效应所导致的微细电极的静电破坏,且不会发生频率特性的劣化。
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公开(公告)号:CN1242554C
公开(公告)日:2006-02-15
申请号:CN03149817.5
申请日:2003-07-25
申请人: 松下电器产业株式会社
CPC分类号: H03H9/02992 , H03H3/08 , H03H9/02921 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49007 , Y10T29/49128 , Y10T29/49144 , Y10T29/49156 , Y10T29/49794 , Y10T29/49798
摘要: 一种SAW元件,包括在压电基片上形成的多个叉指换能器电极、在其两侧配置的反射器电极以及从多个叉指换能器电极和多个反射器电极导引出的多个焊盘电极,多个焊盘电极具有不与SAW元件的外周区域直接对向的孤立焊盘电极和与外周区域直接对向的邻接焊盘电极,通过至少在切割工序前刻蚀除去连接了孤立焊盘电极与邻接焊盘电极的连接电极,防止因热电效应导致的放电的发生,防止电极的损伤。
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公开(公告)号:CN1689166A
公开(公告)日:2005-10-26
申请号:CN03823717.2
申请日:2003-06-09
申请人: 硅光机械股份有限公司
IPC分类号: H01L29/72
CPC分类号: B81C1/00293 , B81C2203/0136 , H03H3/08 , H03H9/02921 , H03H9/02984 , H03H9/1092 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49007 , Y10T29/49011 , Y10T29/4902 , Y10T29/4908 , Y10T428/12521
摘要: 所揭示的一个实施例涉及用于密封晶片上的非硅基器件的有效区域的方法(100)。该方法包括至少在非硅基器件的有效区域上提供(104)牺牲材料;在晶片上沉积(108)密封涂层,以使密封涂层覆盖牺牲材料;以及用目标气氛替换(112、114)牺牲材料。所揭示的另一个实施例涉及以晶片级密封的SAW器件(即,在管芯与晶片分离之前)。该器件包括要保护的有效区域;电接触区域(4);以及平版印刷形成的结构(24),它密封至少有效区域并留下至少一部分电接触区域(4)被暴露。
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公开(公告)号:CN1374756A
公开(公告)日:2002-10-16
申请号:CN02106497.0
申请日:2002-03-01
申请人: 株式会社村田制作所
发明人: 高峰裕一
IPC分类号: H03H9/15
CPC分类号: H03H9/0042 , H03H9/0061 , H03H9/02874 , H03H9/02913 , H03H9/02921 , H03H9/02992 , H03H9/14582 , H03H9/14591 , H03H9/6489
摘要: 一个表面声波器件包括用于生成一个表面声波和检测这一表面声波的交叉指型电极,它们提供在拥有压电特性的压电衬底上。配置了一个信号线,以连接于为不平衡侧电极的交叉指型电极。配置了平衡信号端,以连接于为平衡侧电极的交叉指型电极。一个地线提供在一个平衡信号端和相邻的信号线之间。地线使信号线和平衡的信号端之间所生产的电容最小化。因而,平衡信号端之间的平衡度明显得以改进。
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公开(公告)号:CN102754341B
公开(公告)日:2015-09-02
申请号:CN201180008814.4
申请日:2011-02-09
申请人: 京瓷株式会社
发明人: 田中宏行
CPC分类号: H03H9/02921 , H03H9/0038 , H03H9/0052 , H03H9/02535 , H03H9/02952 , H03H9/6436
摘要: 本发明提供一种弹性波装置。SAW装置(1)具有:基板(3);和在SAW的传播方向D1上彼此相邻的IDT电极(11B)及IDT电极(11A)。IDT电极(11B)具有:位于与传播方向D1正交的正交方向D2的一侧、与信号线连接的信号连接母线(17S);和位于正交方向D2的另一侧、与地线连接的接地母线(17G)。IDT电极(11A)具有:位于正交方向D2的另一侧、与信号线连接的信号连接母线(17S);和位于正交方向D2的一侧、与地线连接的接地母线(17G)。进而,SAW装置(1)具有位于IDT电极(11B)的接地母线(17G)与IDT电极(11A)的信号连接母线(17S)之间、且与接地母线(17G)、信号连接母线(17S)的任何母线都不连接的、位于基板(3)的主面的浮置部件(23)。
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公开(公告)号:CN102754341A
公开(公告)日:2012-10-24
申请号:CN201180008814.4
申请日:2011-02-09
申请人: 京瓷株式会社
发明人: 田中宏行
CPC分类号: H03H9/02921 , H03H9/0038 , H03H9/0052 , H03H9/02535 , H03H9/02952 , H03H9/6436
摘要: 本发明提供一种弹性波装置。SAW装置(1)具有:基板(3);和在SAW的传播方向D1上彼此相邻的IDT电极(11B)及IDT电极(11A)。IDT电极(11B)具有:位于与传播方向D1正交的正交方向D2的一侧、与信号线连接的信号连接母线(17S);和位于正交方向D2的另一侧、与地线连接的接地母线(17G)。IDT电极(11A)具有:位于正交方向D2的另一侧、与信号线连接的信号连接母线(17S);和位于正交方向D2的一侧、与地线连接的接地母线(17G)。进而,SAW装置(1)具有位于IDT电极(11B)的接地母线(17G)与IDT电极(11A)的信号连接母线(17S)之间、且与接地母线(17G)、信号连接母线(17S)的任何母线都不连接的、位于基板(3)的主面的浮置部件(23)。
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公开(公告)号:CN100593904C
公开(公告)日:2010-03-10
申请号:CN200510053543.0
申请日:2005-03-08
申请人: TDK株式会社
CPC分类号: H03H9/72 , H03H3/08 , H03H9/02921 , H03H9/02984 , H03H9/02992 , H03H9/0576 , H03H9/1071 , H03H9/725
摘要: 本发明提供可以抑制特性变坏的弹性表面波元件、弹性表面波装置、双工器以及弹性表面波元件的制造方法。本弹性表面波元件的特征在于,具有压电性基板和在压电性基板上形成的IDT电极,压电性基板的体积阻抗率大于等于3.6×1010Ω·cm,小于等于1.5×1014Ω·cm。这样的弹性表面波元件,具有体积阻抗率低的压电性基板,其体积阻抗率被降低到小于等于1.5×1014Ω·cm。所以,在这种弹性表面波元件上,由于可以抑制在IDT电极之间发生放电,所以可明显地抑制特性恶化的事态发生。另外,由于压电性基板的体积阻抗率大于等于3.6×1010Ω·cm,所以可避免IDT电极之间发生短路的事态发生。
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公开(公告)号:CN101595641A
公开(公告)日:2009-12-02
申请号:CN200880003074.3
申请日:2008-03-13
申请人: 株式会社村田制作所
IPC分类号: H03H9/145
CPC分类号: H03H9/02921 , H03H9/0071 , H03H9/02858 , H03H9/02881 , H03H9/14538 , H03H9/14594
摘要: 本发明提供一种弹性波元件。其可改善谐振频率附近的谐振特性,难以产生指状电极间的短路故障或绝缘性的变差。该弹性波元件(1)以与压电体相接的方式形成IDT电极(3),IDT电极(3)具有多个指状电极,该多个指状电极包括在弹性波传播方向上相邻并且连接于不同电位的第一、第二指状电极(31)、(32)和隔着配置于第一指状电极(31)的指状电极长度方向外侧的间隙(33)而对置的第一虚设指状电极(34),在间隙附近,在第一指状电极(31)以及第一虚设指状电极(34)之中的至少一个,以从至少一个指状电极的侧缘向弹性波传播方向突出的方式形成了第一凸部(11)~(14)指状电极。
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公开(公告)号:CN101305115A
公开(公告)日:2008-11-12
申请号:CN200680038885.8
申请日:2006-07-21
申请人: 山寿瑟拉密克斯株式会社
CPC分类号: H03H9/02921 , C30B29/30 , H03H9/02559 , H03H9/02897 , Y10T29/42
摘要: 本发明提供应力冲击和热冲击强的钽酸锂(LT)单晶或者铌酸锂(LN)单晶和具有由上述单晶制作的压电基板的弹性表面波滤波器及其制造方法。本发明的钽酸锂单晶或者铌酸锂单晶的特征在于,以0.002wt%以上0.1wt%以下的比例含有从铁、铜、锰、钼、钴、镍、锌、碳、镁、钛、钨、铟、锡、铼、钪、铑、钌、钯、银、铂、金、钇、钕、铱、锗、钡、铯、锶、镓、铈及其它的过渡元素中选择的至少一种以上的添加元素,具有优良的应力冲击特性和热冲击特性。
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