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公开(公告)号：CN114981943A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202180009531.5
申请日：2021-01-15
Applicant: ATIK株式会社 , ATONARP株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种用于稳定引入传感器的气流的系统，该系统包括传感器连接管和从传感器连接管开始分叉以便将部分气体排出而不是引入传感器的旁通管，且该系统相应地配置成每次在预定范围内都稳定地向传感器提供一部分内部气体，而不受处理室压力状态变化的影响。根据本发明，在用于半导体制造设备等的情况下，与连接到施加真空的处理室的传感器装置相连时，气流稳定系统可以在MS内部压力由于处理室的压力波动而突然发生变化时防止由于传感器装置分析值变化较大引起的分析值数据可靠性降低，提高了MS传感器装置的耐用性/寿命，降低了维修/保养的需求，从而减轻了管理负担。
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公开(公告)号：CN113631916A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202080024323.8
申请日：2020-03-24
Applicant: ATONARP株式会社
Inventor： 高桥直树 , 柏拉卡斯·斯里达尔·穆尔蒂
IPC: G01N27/62 , G01N27/622 , H01J49/02 , H01J49/14
Abstract: 提供一种对流入的样品气体(9)进行分析的气体分析装置(1)。气体分析装置具有：过滤器单元(20)，其对样品气体进行过滤；检测器单元(30)，其对过滤的结果进行检测；壳体(40)，其收纳这些单元；以及控制单元(60)，其对各单元的电位进行控制。控制单元包括清洁控制单元(61)，该清洁控制单元(61)将过滤器单元、检测器单元以及壳体的电位设定为清洁电位，该清洁电位为引入样品气体的供给源的工艺等离子体(75)或由等离子体生成单元(50)生成的等离子体(55)来作为清洁用的等离子体的电位。
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公开(公告)号：CN108352290B
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201680067410.5
申请日：2016-11-17
Applicant: ATONARP株式会社
Inventor： 柏拉卡斯·斯里达尔·穆尔蒂 , 阿弩普·R·赫格德 , 佐藤武
Abstract: 分析装置(1)具备：离子化单元(11)，其将分析对象的分子进行离子化；过滤单元(13)，其形成使由离子化单元生成的离子选择性地通过的场；检测器单元(14)，其检测通过了过滤单元的离子；离子驱动电路(61)，其以电的方式驱动离子化单元；场驱动电路(62)，其以电的方式驱动过滤单元；控制单元(22)，其控制离子驱动电路和场驱动电路的输出；温度检测单元(27)，其检测离子驱动电路和场驱动电路的温度；以及校正单元(22b)，其根据由温度检测单元检测出的温度来校正离子驱动电路和场驱动电路的输出设定。
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公开(公告)号：CN109844515A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201780061673.X
申请日：2017-10-04
Applicant: ATONARP株式会社
Inventor： K·R·马塔希尔
Abstract: 一种用于基于第一类型的传感器(104)的扫描输出来量化目标样本的组成的系统(106)包括参考数据库(202)、自定义数据库(204)和模块集。所述模块集包括：分析模型创建模块(206)，其创建所述第一类型的传感器的分析模型；样本处理模块(208)，其在标准压力条件下使用所述第一类型的传感器处理包括准确已知的组成的样本；分子分数估计模块(210)，其使用估计方法和所述分析模型估计所述样本的分子分数；分析模型优化模块(212)，其通过将所述样本的所述分子分数与所述样本的预定分子分数相比较优化所述分析模型；以及目标组成估计模块(214)，其使用利用了所述优化的分析模型的所述估计方法基于所述扫描输出来估计所述目标样本的组成。
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公开(公告)号：CN109171760A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811089193.7
申请日：2014-05-02
Applicant: ATONARP株式会社
Inventor： 柏拉卡斯·斯里达尔·穆尔蒂
IPC: A61B5/1455 , A61B5/00 , G01N21/65
Abstract: 本发明提供一种对生物体进行监视的监视器和系统。监视器(10)具有：探头(23)，其包括被安装于生物体表面(2)的观察窗(21)；单元(25)，其向经由观察窗(21)访问的生物体表面(2)的观察区域(3)的至少一部分照射激光；单元(27)，其从二维地分散于观察区域(3)的多个观测点的各个观测点检测由于激光照射而产生的散射光(28)；多普勒解析单元(51)和SORS解析单元(52)，其根据从多个观测点获得的散射光(28)从多个观测点中限定被判断为能够获得包含生物体内部的目标部分的信息的散射光的第一观测点；以及CARS解析单元(53)，其从第一观测点或其周围的观测点获取至少一个成分的分光光谱并根据该分光光谱的强度来输出表示生物体内部状态的第一信息。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108352290A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680067410.5
申请日：2016-11-17
Applicant: ATONARP株式会社
Inventor： 柏拉卡斯·斯里达尔·穆尔蒂 , 阿弩普·R·赫格德 , 佐藤武
Abstract: 分析装置(1)具备：离子化单元(11)，其将分析对象的分子进行离子化；过滤单元(13)，其形成使由离子化单元生成的离子选择性地通过的场；检测器单元(14)，其检测通过了过滤单元的离子；离子驱动电路(61)，其以电的方式驱动离子化单元；场驱动电路(62)，其以电的方式驱动过滤单元；控制单元(22)，其控制离子驱动电路和场驱动电路的输出；温度检测单元(27)，其检测离子驱动电路和场驱动电路的温度；以及校正单元(22b)，其根据由温度检测单元检测出的温度来校正离子驱动电路和场驱动电路的输出设定。
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公开(公告)号：CN104285142B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201380022414.8
申请日：2013-04-25
Applicant: ATONARP株式会社
Inventor： 柏拉卡斯·斯里达尔·穆尔蒂
IPC: G01N27/62
CPC classification number: G06F17/3053 , G01N27/62 , G01N27/622 , G01N27/624 , G06F17/30554
Abstract: 提供一种系统(40)，针对包含由传感器(61)得到的谱数据(ASD)的搜索请求提供与根据谱数据(ASD)估计出的上下文信息(Cx)相关联的内容(CC)。系统(40)具有：数据库(44)，其包含多个上下文信息(Cx)以及相对于多个上下文信息(Cx)分别进行了排序的多个已储备的谱数据(SSD)；对照单元(45a)，其计算已储备的谱数据(SSD)相对于所得到的谱数据(ASD)的评分；以及输出单元(46)，其按评分和次序从高到低的顺序进行选择的方式输出与上下文信息(Cx)相关联的内容(CC)。
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公开(公告)号：CN104395746B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201380027149.2
申请日：2013-09-04
Applicant: ATONARP株式会社
Inventor： 柏拉卡斯·斯里达尔·穆尔蒂
IPC: G01N27/68
CPC classification number: G01N27/68 , B01D19/0031 , B01D53/32 , B01D2053/221 , B01D2259/818 , G01N1/4005 , G01N27/40 , G01N27/624 , G01N2001/4011
Abstract: 本发明提供一种膜交换单元，其具有：第一分离膜(51)；经由第一分离膜与第二空间(22)相连接的第一空间(21)；第一路径(25)，其向第一空间(21)供给第一流体(载气)(39)，并利用从第一空间排出的第一流体将从第二空间透过第一分离膜而扩散到第一空间中的化学物质供给至离子检测器；以及设于第一空间中的第一离子化单元(71)。采用本发明，能够提供污染发生少且能够使离子检测器以高灵敏度动作的前处理系统。本发明适合用于FAIMS。
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公开(公告)号：CN103998914B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201280054527.1
申请日：2012-09-04
Applicant: ATONARP株式会社
Inventor： 柏拉卡斯·斯里达尔·穆尔蒂 , 今井彰
IPC: G01N1/22
CPC classification number: G01N1/2202 , G01N1/2226 , G01N15/06 , G01N27/622 , G01N27/624 , G01N2001/024 , G01N2001/028 , G01N2001/2229 , G01N2001/2241 , G01N2001/2285
Abstract: 提供一种包括气体采集装置和传感器的检查装置，该传感器检测通过气体采集装置采集到的气体中含有的化学物质。气体采集装置具备：空气供给单元，其形成空气幕，来覆盖包含检查的对象物的区域，形成与外界隔离的空间；采样单元，其采集隔离的空间内的气体；以及扩散气体供给单元，其向隔离的空间供给至少与采样单元的采集量相等的量的扩散用的气体，其中，采样单元包括配置在所隔离的空间内的立体地不同的位置的多个采样喷嘴。
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公开(公告)号：CN103201620B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201180052909.6
申请日：2011-08-31
Applicant: ATONARP株式会社
Inventor： 佐藤友美
CPC classification number: H01J37/08 , G01N1/38 , G01N27/624 , G01N2001/2893 , H01J49/022 , H01J49/04
Abstract: 提供一种使已离子化的物质沿第一方向迁移的迁移装置(30)。迁移装置(30)具有漂移管(50)，漂移管(50)包括构成轮廓的电极板(71)和(72)以及配置于管内的多个环形电极(60、61、62)。环形电极(60)形成使已离子化的物质沿轴向的第一方向行进的线性驱动用的第一交流电场。电极板(71)和(72)形成使已离子化的物质的行进方向偏转的不对称的第二交流电场。
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