臭氧供给装置以及臭氧供给方法

    公开(公告)号:CN108473306B

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN201680076340.X

    申请日:2016-11-14

    摘要: 臭氧供给装置包括臭氧产生器(2)、吸附塔(3)、待机部(7)、减压装置(8)、臭氧供给部(9)、低温制冷剂循环器(5)和控制部(10),所述控制部(10)使生成的臭氧化气体吸附于冷却后的吸附剂(4),将吸附于吸附剂(4)的臭氧化气体解吸并浓缩,控制部(10)使自吸附塔(3)的吸附剂(4)解吸出来的臭氧化气体在待机部(7)待机的待机状态时的吸附塔(3)内的压力低于吸附时的吸附塔(3)内的压力。

    臭氧产生装置以及臭氧产生装置机组

    公开(公告)号:CN113646260A

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN201980094120.3

    申请日:2019-04-17

    IPC分类号: C01B13/11

    摘要: 目的在于即使为了增加臭氧生成量而增加放电单元的数量也抑制臭氧产生装置的大型化。一种臭氧产生装置(1),具备:圆柱状的多个放电单元(2),通过放电使臭氧产生;散热器(3),具有在与放电单元的轴向正交的方向上多个放电单元排列而被插入的插入孔;以及冷却器,输出对散热器进行冷却的制冷剂,其中,冷却器输出制冷剂的方向为与多个放电单元排列的方向平行的方向。

    臭氧供给装置以及臭氧供给方法
    24.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113614031A

    公开(公告)日:2021-11-05

    申请号:CN201980094536.5

    申请日:2019-03-29

    IPC分类号: C01B13/10

    摘要: 在之前的供给工序时残留的高浓度臭氧在接下来的吸附工序时漏出而被废弃。因此,本发明具备:第一吸附解吸塔(3a)及第二吸附解吸塔(3b);将从第一吸附解吸塔(3a)排出的气体向装置外排出的排气用气体回路(R0);使从所述第一吸附解吸塔(3a)排出的气体通过第二吸附解吸塔(3b)之后向装置外部排出的吸附回收用气体回路(R1);切换排气用气体回路(R0)和吸附回收用气体回路(R1)的流路的回路切换器(5);以及根据第一吸附解吸塔(3a)的状态和第二吸附解吸塔(3b)的状态控制回路切换器(5)的开闭的控制部(6)。

    臭氧供给装置及臭氧供给方法
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112203974A

    公开(公告)日:2021-01-08

    申请号:CN201880089807.3

    申请日:2018-06-07

    IPC分类号: C01B13/10

    摘要: 进行使吸附解吸塔(4)的第一吸附解吸区域(5a)及第二吸附解吸区域(5b)吸附在臭氧产生部(2)中产生的臭氧化气体的吸附动作、使臭氧化气体从第一吸附解吸区域(5a)解吸并由第二吸附解吸区域(5b)吸附而回收的浓缩动作以及一边输送来自原料气体源(1a)的原料气体一边使利用第二吸附解吸区域(5a)回收的臭氧化气体解吸并从第一吸附解吸区域(5a)供给到吸附解吸塔(4)的外部的供给动作。

    臭氧产生装置
    26.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107207251B

    公开(公告)日:2019-10-01

    申请号:CN201680008753.4

    申请日:2016-02-04

    IPC分类号: C01B13/11 C02F1/78

    摘要: 本发明是一种臭氧产生装置,具备:放电部,其使在形成于两个电极间的放电空间流过的原料气体放电来产生臭氧;以及冷却部,其对由放电产生的热量进行散热,其中,原料气体的至少一部分为将液化原料气化而得到的气体,冷却部具备:第一冷却部,其供第一制冷剂与两个电极中的至少一方的电极接触地流过;以及第二冷却部,其设于比第一冷却部靠放电部的原料气体流经的下游侧的位置,供第二制冷剂与两个电极中的至少一方的电极接触地流过,并将冷能源作为液化原料,向第二冷却部流入的第二制冷剂的温度被设定为比向第一冷却部流入的第一制冷剂的温度低的温度。